平板探测器及其制备方法、检测装置

    公开(公告)号:CN118841422A

    公开(公告)日:2024-10-25

    申请号:CN202410876712.3

    申请日:2024-07-01

    IPC分类号: H01L27/146 H04N25/67

    摘要: 本申请实施例提供一种平板探测器及其制备方法、检测装置,平板探测器包括衬底基板和多个像素单元,多个像素单元阵列排布于衬底基板,每个像素单元包括:电极层、薄膜晶体管以及光电转换层。薄膜晶体管设置在衬底基板的表面上,包括源极和漏极;电极层设置在薄膜晶体管背离衬底基板的一侧;光电转换层设置在电极层背离薄膜晶体管的一侧,光电转换层与电极层电连接;其中,任一像素单元的电极层与相邻的像素单元的源极电连接,本申请能够避免同一像素内的薄膜晶体管和光电转换层同时通电工作,由此,薄膜晶体管和光电转换层之间产生的寄生电容将会大大减少,从而降低平板探测器的检测信号噪声,从而使的平板探测器的信噪比较高,检测效果较好。

    探测基板及探测装置
    43.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118571883A

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN202410704126.0

    申请日:2024-05-31

    IPC分类号: H01L27/12 H01L27/144

    摘要: 本公开提供了一种探测基板及探测装置,涉及光电技术领域,探测基板,包括:衬底基板,以及设置在衬底基板一侧的探测区和非探测区,探测区包括多个探测单元,探测单元包括:薄膜晶体管;感光器件,位于薄膜晶体管远离衬底基板的一侧,包括依次层叠设置的第一电极、光电二极管以及第二电极,第一电极靠近薄膜晶体管设置,第一电极和第二电极分别与光电二极管连接,第一电极还与薄膜晶体管的第一极连接;第二电极背离衬底基板的表面上设置有绝缘层,在绝缘层与第二电极之间无其它膜层设置,在衬底基板上的正投影中,位于探测单元内的绝缘层没有设置过孔。