一种基于氧气等离子体蚀刻的PS小球循环刻蚀工艺

    公开(公告)号:CN113921392B

    公开(公告)日:2022-09-23

    申请号:CN202111033626.9

    申请日:2021-09-03

    Abstract: 本发明公开了一种基于氧气等离子体蚀刻的PS小球循环刻蚀工艺,包括如下步骤:对衬底进行清洗干燥;在衬底上沉积单层PS小球;将其置于氧气等离子体蚀刻机的真空腔室内,设定相关工艺参数;预设单位蚀刻周期为连续的15秒氧气等离子体激发时间与30秒停止激发时间,使用的单位蚀刻周期的数量为N,蚀刻总时长T=N*15秒;取出衬底,蒸镀金属层,进行有机溶剂清洗和干燥处理,完成模板转移后,可用于微纳结构的制造。本发明解决了传统PS小球蚀刻过程中PS小球易融化所导致的PS小球光刻易失效、模板转移困难、PS小球残留物难以祛除等系列难题,通过实现高质量PS小球蚀刻工艺,来实现更为复杂精细的微纳结构制造。

    一种ZnS碳量子点日盲紫外探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN108649082A

    公开(公告)日:2018-10-12

    申请号:CN201810347600.3

    申请日:2018-04-18

    Abstract: 本发明公开了一种ZnS碳量子点日盲紫外探测器及其制备方法,所述日盲紫外探测器包括ZnS量子点-碳量子点混合层。其制备方法是先分别制备ZnS量子点溶液和碳量子点溶液,然后将其按一定比例混合后通过印刷、滴涂或旋涂的方式在印有金属电极的基底上制成ZnS量子点-碳量子点混合层。本发明解决了基于ZnS量子点的日盲紫外探测器中,由于ZnS量子点载流子迁移率低而导致器件光电流、响应度和探测度偏低的问题,提供了一种ZnS碳量子点日盲紫外探测器及其制备方法,利用碳量子点作为载流子传输层,可以极大程度的提高探测器的光响应电流,从而提高响应度,达到提高器件性能的目的。

    一种基于PID传感器的医用呼出NO气体浓度测量分析装置

    公开(公告)号:CN218546613U

    公开(公告)日:2023-02-28

    申请号:CN202220353625.6

    申请日:2022-02-22

    Abstract: 本发明公开一种基于PID传感器的医用呼出NO气体浓度测量分析装置,包含电源模块、控制模块、传感器模块、气体采集模块和显示模块;电源模块为整个装置提供电力,通过导线与主控制器模块、传感器模块、屏幕模块相连;控制模块通过导线与传感器模块、屏幕模块相连,处理传感器采集的数据并控制显示模块;传感器模块用于测量待测气体成分数据,通过导线与主控制器模块相连;气体采集模块将呼入的待测气体经过干燥后送入传感器模块;显示模块对检测结果进行显示并和用户进行交互,通过导线与主控制器相连。本发明装置具有检测精度高、速度快、体积小的优点,满足医疗检测的精度要求。

    一种粮库气体检测装置

    公开(公告)号:CN218546607U

    公开(公告)日:2023-02-28

    申请号:CN202222839325.1

    申请日:2022-10-27

    Abstract: 本公开属于粮库气体检测技术领域,公开一种粮库气体检测装置,包括防尘罩,所述防尘罩的顶端外侧转动设置有转动环,所述转动环的两侧固定设置有支撑件,所述支撑件的下端固定设置有毛刷;所述支撑件的两端转动设置有转动轴,所述转动轴上固定套设有清洁布。当驱动源驱动,使得转动环转动带动支撑件以及转动轴一起转动,支撑件下端的毛刷对防尘罩上表面进行除尘。同时,驱动源使得转动轴上的清洁布绕防尘罩外侧面转动的同时还自转,进而对防尘罩表面进行除尘。

    一种基于狭缝表面等离激元效应的光学压力传感器

    公开(公告)号:CN207881870U

    公开(公告)日:2018-09-18

    申请号:CN201820340229.3

    申请日:2018-03-13

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于狭缝表面等离激元效应的光学压力传感器,所述光学压力传感器主要构成为:刻蚀有脊形波导阵列的基底,在其表面溅射一层金属膜,外部加上套筒保护器件内部结构。基底上的一维或二维金属阵列之间的间隙(gap)在特定频率光子激发下形成Gap-SPP。压力使基底发生形变,进而使阵列之间gap的大小改变,进而引起SPP波长的改变,将压力信号转为光学信号来检测。本实用新型基于SPP共振模式的变化来检测压力的变化。对比基于法泊腔压力传感器,本实用新型对光纤距离敏感膜的距离不敏感,因此可以减少温度的影响,同时易于加工制造。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种自动位移平台装置

    公开(公告)号:CN219039476U

    公开(公告)日:2023-05-16

    申请号:CN202223089304.9

    申请日:2022-11-17

    Abstract: 本实用新型公开了一种自动位移平台装置,属于自动检测领域,装置包括底板,所述底板的顶部一侧固定连接有支撑板,所述支撑板的顶部固定连接有顶板,所述顶板位于底板的正上方,所述底板顶部设有卡槽,所述顶板的底部固定连接有工业相机,所述工业相机的底部固定连接有光学镜头,所述顶板的底部设有红外光源,本申请通过控制器启动第一电动推杆,使得第二电动推杆在导轨上纵向移动,通过第二电动推杆使得U形板上的红外光源横向移动,从而使得红外光源位移范围控制在多孔细胞培养板的内部,测量时多孔细胞培养板每更换一次测量孔位就无需重新进行调整。

    一种高精度实时烟碱检测仪

    公开(公告)号:CN218726637U

    公开(公告)日:2023-03-24

    申请号:CN202222763711.7

    申请日:2022-10-19

    Abstract: 本实用新型公开了一种高精度实时烟碱检测仪,包括光源、气室、传感器以及显示装置,所述光源为红外光源,所述气室与光源以及传感器连接,所述传感器与显示装置连接,所述气室上设置有进气管以及出气管,所述进气管以及出气管均与气室固定连接且贯通气室,所述气室通过光纤与光源以及传感器连接,所述传感器通过杜绑线与显示装置连接,本实用新型属于气体监测技术领域;本实用新型能够对烟碱气体进行高精度实时检测。

    一种基于ESP32微控制器与多波长LED的简易光谱仪

    公开(公告)号:CN216525437U

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN202122619531.7

    申请日:2021-10-28

    Abstract: 本实用新型涉及一种基于ESP32微控制器与多波长LED的简易光谱仪,包括底板,所述底板的顶面设有光源驱动模块,所述光源驱动模块的上方设有信号采集模块,所述光源驱动模块和信号采集模块均信号连接有光谱显示模块,所述光谱显示模块为显示屏,此外,所述光源驱动模块和信号采集模块均信号连接有ESP32微控制器,进而使LED光谱仪具有测量和显示光谱的功能,所述ESP32微控制器固定在ESP32驱动板上,且信号连接有光敏传感器。通过基于国产上海乐鑫科技ESP32芯片的控制板,结合光电探测器与显示屏,完成RGB和红外及紫外光的测量和光谱显示,光源与ESP32通信实现驱动不同光源发光,光电传感器和光谱显示模块与ESP32通信实现数据采集、传输、处理和显示,总体低成本控制。

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