-
公开(公告)号：CN104619104A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201510084923.4
申请日：2015-02-16
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源系统，涉及一种13.5nm的极紫外光源。它为了解决常规的高功率EUV光源体积庞大、价格昂贵，不适合用作EUV光刻机各种部件的检测光源的问题。本发明中，主脉冲电源采用磁脉冲压缩网络对脉冲进行压缩陡化，主脉冲电源的高压电极和预脉冲电源的地电极共用一个电极，利用水冷系统对预脉冲高压电极和共用电极进行制冷，光学收集系统采用内嵌式Wolter I型收集系统，该系统包括10层收集镜，每层收集镜包括一个回转椭球面和一个回转双曲面，回转椭球面和回转双曲面具有一个公共几何焦点。本发明体积小，真空度高，且价格低，适合用作EUV光刻机各种部件的检测光源。
-
公开(公告)号：CN103237401A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310110968.5
申请日：2013-04-01
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： H05G2/00
摘要： 一种去除毛细管放电极紫外光刻光源中碎屑的除屑系统，它涉及一种去除极紫外光刻光源中碎屑的系统，以解决毛细管放电过程中产生的大量碎屑，会沉积在收集镜表面，破坏光学收集系统，而采用现有技术不能有效去除碎屑，去除效率较低的问题，它包括气瓶、连接管、喷气嘴、气体流量计和多个锥筒状金属箔片冷阱，气瓶的出口端通过气体流量计与连接管的一端连通，连接管的另一端与喷气嘴的一端连通，喷气嘴的另一端设置在位于毛细管的中心轴线上的放电光源辐射端处，且喷气嘴的轴线与毛细管的轴线相垂直，靠近毛细管的放电光源辐射端设置有套装在一起的多个锥筒状金属箔片冷阱。本发明用于去除毛细管放电极紫外光刻光源中的碎屑。
-
公开(公告)号：CN102706851A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201210218374.1
申请日：2012-06-28
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01N21/64
摘要： 一种同时测量多种组分信息的平面激光诱导荧光成像测量方法。它涉及能源动力及光电子学领域，它解决了现有方法只能测量一种组分，而不能完全反应流场和燃烧过程的缺陷。其步骤：将由n台激光器产生的激光进行合束变成一束激光，然后通过片状光束整形系统进行光束整形，用整形后的片状激光激发目标火焰中指定目标区域的组分信息，产生n个不同波长的荧光；依次通过聚焦透镜和光栅将n个不同波长的荧光从空间上分开，分别成像于面阵ICCD接收面的n个不同区域，收到的n个图像传输到计算机进行处理分析后会同时获得n种组分的空间分布信息。本发明可广泛应用于各种流场和燃烧过程的诊断，为燃烧学、流体力学以及燃烧技术的研究提供基础数据。
-
公开(公告)号：CN102496538A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201110385520.5
申请日：2011-11-28
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，属于极紫外光刻光源技术领域。它解决了在极紫外光刻光源中，需要通过改变毛细管的长度的方式来实现两个主脉冲电极之间的距离的改变的问题。它包括长度可调的主脉冲电极段、预脉冲电极段和放电电极段，预脉冲电极段为圆筒形，预脉冲电极段的一端固定连接放电电极段的一端，放电电极段的另一端的端面为凹球面；主脉冲电极段的一端从预脉冲电极段的另一端插入其内部，并与预脉冲电极段电连接，主脉冲电极段的另一端露在预脉冲电极段外部，且其末端具有尖端，所述放电电极段呈柱状，放电电极段的截面半径的范围为0.2mm～3.5mm。本发明作为一种极紫外光刻光源的放电电极。
-
公开(公告)号：CN100561635C
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN200710144906.0
申请日：2007-12-24
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 微波硫灯灯泡的制备方法，它涉及硫灯灯泡的制备方法。它解决了现有制备工艺不能保证灯泡内具有高真空度，而充入硫粉纯度及硫和Ar气的充入量不易控制，使制得的硫灯的发光亮度及效率、显色性和使用寿命都较低的问题。本发明的制备方法为：一、制备装置；二、加热抽真空，使装置内真空度维持在2～8×10-4Pa；三、将玻璃容器上方的凸出的玻璃尖砸裂；四、采用马弗炉将玻璃容器中的硫粉加温，使玻璃容器内的硫粉蒸发至石英灯泡内；五、待硫粉完全蒸发后冷却至室温，再将灯泡内抽真空并充入Ar气，即制得微波硫灯灯泡。本发明制得的灯泡其发光光谱接近于太阳光谱，显色指数达到82，由于灯泡内的高真空度和高纯度的硫显著地提高了灯泡的使用寿命。
-
公开(公告)号：CN101101335A
公开(公告)日：2008-01-09
申请号：CN200710072569.9
申请日：2007-07-25
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01T1/24
摘要： 一种纳秒级分辨率的X射线二极管，它涉及一种X射线二极管，为了解决现有的X射线二极管的结构复杂的问题。本发明由阳极金属网、阴极金属和偏压测量电路组成，所述的阳极金属网与阴极金属相对平行设置，偏压测量电路连接阴极金属，所述的偏压测量电路由第一电阻、第二电阻和电容组成，所述的第一电阻的一端连接阴极金属和电容的一端，电容的另一端连接第二电阻的一端，第二电阻的另一端接地，第一电阻的另一端作为偏压输入端和信号输出端。本发明简化了普通X射线二极管的结构，其可在较低真空度和偏压下工作。
-
公开(公告)号：CN112255213B
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN202011105867.5
申请日：2020-10-15
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种燃烧场双组分同步激发的测量装置及测量方法，属于燃烧组分可视化技术领域。燃烧器设置在两个激光发射器的中部，每个激光发射器与燃烧器之间均沿激光发射方向依次设有光束调制系统以及聚焦透镜，每套光束调制系统以及对应的聚焦透镜均与燃烧器的燃烧场共焦设置；ICMOS相机上加装有干涉滤光片，干涉滤光片与燃烧器的燃烧场配合设置；脉冲信号发生器与两个激光发射器信号传输连接，计算机与ICMOS相机信号传输连接。本发明非接触式测量，不干扰火焰结构，克服了高频激发条件下，CH基和OH基荧光谱线重叠的问题，时序上能够做到完全同步，装置简单，节约成本，提供了可用于燃烧不稳定性机理分析和预测的火焰结构和热释数据。
-
公开(公告)号：CN112255213A
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN202011105867.5
申请日：2020-10-15
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种燃烧场双组分同步激发的测量装置及测量方法，属于燃烧组分可视化技术领域。燃烧器设置在两个激光发射器的中部，每个激光发射器与燃烧器之间均沿激光发射方向依次设有光束调制系统以及聚焦透镜，每套光束调制系统以及对应的聚焦透镜均与燃烧器的燃烧场共焦设置；ICMOS相机上加装有干涉滤光片，干涉滤光片与燃烧器的燃烧场配合设置；脉冲信号发生器与两个激光发射器信号传输连接，计算机与ICMOS相机信号传输连接。本发明非接触式测量，不干扰火焰结构，克服了高频激发条件下，CH基和OH基荧光谱线重叠的问题，时序上能够做到完全同步，装置简单，节约成本，提供了可用于燃烧不稳定性机理分析和预测的火焰结构和热释数据。
-
公开(公告)号：CN106066923B
公开(公告)日：2019-01-08
申请号：CN201610458140.2
申请日：2016-06-22
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G06F17/50
摘要： 一种用于极紫外光源的电源中磁脉冲压缩网络的电路参数的获得方法，涉及毛细管放电极紫外光刻光源中主脉冲电源的脉冲压缩技术。第n‑1级和第n级磁脉冲压缩单元的电流脉冲宽度之比即脉冲压缩比gn为：第n级磁开关的环形磁芯体积Voln为：磁脉冲压缩网络的最佳脉冲压缩级数mopt为：mopt＝2lnG，根据获得的最佳脉冲压缩级数mopt确定磁脉冲压缩网络的级数，根据第n级磁开关的磁芯体积Voln确定磁开关的体积，根据脉冲压缩比确定磁开关的饱和电感。本发明适用于获得磁脉冲压缩网络的电路参数。
-
公开(公告)号：CN106054537B
公开(公告)日：2017-11-03
申请号：CN201610378019.9
申请日：2016-05-31
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种用于毛细管放电EUV光源的负载系统，涉及EUV光源负载设计领域。本发明是为了解决常规DPP EUV光源的电源设计时，负载特性难以模拟，电源设计参数难以确认的问题。本发明所述的左侧部分：预脉冲高压电极位于最中心，左侧绝缘套套在预脉冲高压电极的外侧，主脉冲高压电极套在左侧绝缘套的外侧，三者孔对应，通过孔固定连接；右侧部分：右侧绝缘套套在地电极的外侧，两者孔对应，且通过孔固定连接，毛细管夹在主脉冲地电极和预脉冲高压电极的之间。它用于模拟真实负载的电极结构。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
75 条记录 (耗时 0.024 秒)