一种六氟化硫与氮气混合气体的回收装置及方法

    公开(公告)号:CN109276976B

    公开(公告)日:2023-07-04

    申请号:CN201811479346.9

    申请日:2018-12-05

    IPC分类号: B01D53/22 G01N33/00

    摘要: 本发明公开一种六氟化硫与氮气混合气体的回收装置及方法。该装置结构如下:分离装置的入口接入六氟化硫与氮气混合气体,分离装置的第一出口与六氟化硫液化装置的入口连接,六氟化硫液化装置的出口与六氟化硫储存装置连接;分离装置的第二出口与尾气处理装置的入口连接;尾气处理装置的出口与尾气出口连接,尾气处理装置与尾气出口的连接通路上设置有第一电磁阀和尾气回收通路,尾气监测装置设置于尾气处理装置的出口处,用于监测出口处的六氟化硫浓度,并根据六氟化硫浓度调节第一电磁阀和第二电磁阀的通断状态。本发明可以准确监测尾气中有害气体含量,确保尾气排放达到安全标准,避免现场工作人员的人身伤害和环境污染。