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公开(公告)号：CN112947667B
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN202110276278.1
申请日：2021-03-15
Applicant: 清华大学
IPC: G05F1/567
Abstract: 本发明涉及一种带隙基准电压源电路，其包括：核心电路、负反馈环路、电流镜结构和启动电路；所述核心电路用于产生带隙电压，其输入端与所述启动电路连接，所述核心电路的输出端与所述电流镜结构连接，通过所述电流镜结构增大电压源电路的输出驱动能力；并在所述核心电路与所述启动电路、所述电流镜结构之间设置有所述负反馈环路，由所述负反馈环路保证输出电压的稳定性。本发明的带隙基准电压源通过CMOS工艺进行加工，该电压源电路在降低输出噪声的基础上，能有效增大带载能力、降低输出电压温度系数，具有输出噪声低、温度系数低、输出驱动能力大的优点。本发明可以广泛在微电子学与固体电子学领域的超大规模集成电路中应用。
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公开(公告)号：CN113505356A
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202110789280.9
申请日：2021-07-13
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种用于识别用户身份的单类分类器、识别方法、介质及计算设备，其包括：通过对手机传感器采集到的惯性数据进行预处理，获得低噪声的陀螺仪和加速度计数据；获取用户的姿态变化信息，作为用户身份识别的一个特征；提取惯性数据的统计特征，对数据采集者身份作标签；训练神经网络作为特征提取函数，并将接收到的统计特征利用MLP的单类分类器实现特征聚类，基于对比损失函数训练多层感知机，将其映射到高维特征空间的超球面中，并增加不同行人特征之间的欧氏距离，找出超球面的中心，计算用户特征与超球中心的距离，通过预先设置的阈值实现在大样本惯性数据中身份的准确认证。本发明能对用户的身份进行高可靠性和高精度的识别。
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公开(公告)号：CN112880657A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202110053102.X
申请日：2021-01-15
Applicant: 清华大学
IPC: G01C19/56 , G01C19/5776
Abstract: 本发明涉及一种用于MEMS谐振式陀螺仪信号解调及控制的片上系统，其包括：处理器、专用处理模块、存储加载模块、外设、调试接口和总线；MEMS谐振式陀螺仪经A/D模块将传感器信号传输至所述处理器，所述处理器经所述总线分别与所述专用处理模块、存储加载模块、外设和调试接口进行信息交互；所述处理器将接收到的数据处理后经所述A/D模块向所述MEMS谐振式陀螺仪传输控制和反馈信号。本发明实现了数字和模拟混合电路的单片集成。本发明可以广泛应用于MEMS谐振式陀螺仪的测控领域。
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公开(公告)号：CN109387191B
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201811136651.8
申请日：2018-09-28
Applicant: 清华大学
IPC: G01C19/5762
Abstract: 本发明涉及一种高温度适应性MEMS平面谐振陀螺结构，其特征在于，其包含基板层和位于基板层上方的结构层，结构层包括质量块，支撑结构层的锚定支撑柱，以及连接锚定支撑柱与质量块的支撑架；该陀螺采用梳齿状排布的电极结构，且驱动模式和检测模式下敏感质量块的运动为平面运动。本发明中，陀螺不动梳齿的键合点沿驱动方向呈一字排列在质量块对称线上；连接所述锚定点柱与所述质量块之间的所述支撑架上设置孔槽作为应力隔离结构，以隔离锚点键合应力；同时在陀螺信号走线采用相互屏蔽、合理短接的方式，减小机电耦合带来的影响。本发明在提升陀螺变温环境下性能具有很高的应用价值。
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公开(公告)号：CN109269399B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201811252393.X
申请日：2018-10-25
Applicant: 清华大学
IPC: G01B7/30
Abstract: 本发明涉及一种在线误差参数辨识及自补偿系统和方法，其包括数据输入模块、参数辨识模块以及角度解调模块；数据输入模块用于输入旋转变压类型角位移传感器的正余弦信号的实际测量信号，并发送到参数辨识模块；参数辨识模块包括信号流网络模块和优化控制器模块，信号流网络模块用于根据预先建立的误差模型对输入的正余弦信号的实际测量信号进行误差参数辨识，并将辨识结果发送到优化控制器模块；优化控制器模块用于对误差参数辨识结果进行参数优化，得到最佳参数后发送到角度解调模块；角度解调模块根据最佳参数进行正余弦信号自补偿及角度解算，得到旋转变压类型角位移传感器的角位移。本发明可以广泛应用于旋转变压类型的角位移传感器领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111137838A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201911323266.9
申请日：2019-12-20
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种MEMS容栅式角位移传感器及其制造方法，其包括机械外壳、敏感结构和处理ASIC电路；所述机械外壳采用凹槽型结构，位于凹槽边缘处设置有阶梯状结构，用于嵌设所述敏感结构，所述敏感结构的背部设置有所述处理ASIC电路及对外连接的接口，在所述机械外壳的凹槽底部设置有用于连线通孔；所述敏感结构包括转子和定子；所述转子设置在所述定子的上部，且所述转子与所述定子敏感面正对，并具有距离。本发明实现微传感器的高度集成，同时达到低功耗小体积的目的。
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公开(公告)号：CN111130341A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN202010041491.X
申请日：2020-01-15
Applicant: 清华大学
IPC: H02M3/07
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS电容的数字闭环控制电荷泵，其包括电荷泵、MEMS电容模块、C/D转换模块、数字控制器和D/A控制模块；所述电荷泵的输出端与所述MEMS电容模块的驱动电极相连，所述MEMS电容模块的驱动检测电极输出电容变化量信号到所述C/D转换模块；所述C/D转换模型将所述电容变化量信号转换成能够反映电容变化量的数字信号，并发送到所述数字控制器；所述数字控制器根据输入的数字信号和设定值产生数字控制信号，并发送到所述D/A控制模块；所述D/A控制模块根据所述数字控制信号生成模拟控制信号，并发送到所述电荷泵的输入端形成闭环。本发明可以广泛应用于电容式MEMS器件的驱动与检测领域。
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公开(公告)号：CN110311684A
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201910619492.5
申请日：2019-07-10
Applicant: 清华大学
IPC: H03M3/00
Abstract: 本发明涉及一种基于微机电陀螺的自动调谐带通Σ-Δ接口电路，其包括C/V转换模块、环路滤波模块、观测器、量化器和DAC反馈模块；所述环路滤波模块的输出端经所述量化器与所述DAC反馈模块输入端连接，所述DAC反馈模块输出端与所述环路滤波模块的输入端连接构成闭环结构，形成Sigma-delta调制器；现有检测模块将检测到的电容信号经过所述C/V转换模块转换成比例的电压信号，该电压信号与所述DAC反馈模块输出的反馈模拟信号进行逻辑运算后输入所述Sigma-delta调制器，实现噪声整形和量化输出；所述观测器产生控制电压作用在所述环路滤波模块上，实现自动调谐。本发明可以实时进行中心频点的调整，跟踪MEMS陀螺仪的谐振频率变化，显著提高MEMS陀螺仪的环境适应性，提高整体精度。
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公开(公告)号：CN110143565A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910374176.6
申请日：2019-05-07
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种用于MEMS器件的封装应力隔离微结构。所述封装应力隔离微结构包括上极板和下极板；由下至上，MEMS器件包括基底层、走线层和结构层；上极板采用与基底层相同的材料制成；下极板采用与封装MEMS器件的封装管壳膨胀系数相近的材料制成；上极板与下极板通过锚点柱相连接。与现有技术相比，本发明具备如下优点：(1)通过保证材料与MEMS器件基底一致的方式完全消除粘接面上热膨胀系数失配带来的热应力；(2)微结构采用刻蚀、键合等常规MEMS工艺，加工方式简单，可大批量生产；(3)可适用各种基底的MEMS器件，实用性强。
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公开(公告)号：CN106767745B
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201611127066.2
申请日：2016-12-09
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种光电传感器测角系统的信号处理方法，包括有高频时钟源、ADC采样脉冲发生器、计数器、ADC电路、第一计数值捕捉电路、第二计数值捕捉电路A6和数字处理单元。数字处理单元根据输入的计数值和计数值，通过时钟同步参考信号恢复算法实现参考正余弦信号的重构，恢复出与整周期脉冲指示信号同相位的参考正弦波和参考余弦波，并通过参考正弦波和参考余弦波通过最小均方误差解调算法实现对ADC采样得到的检测信号的相敏解调，完成光电传感器的角度测量。本发明可以广泛应用于静电陀螺小角度信号测量或通过整周期脉冲指示信号作为参考信号的相敏解调测量的光电传感器测角系统信号处理过程中。
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