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公开(公告)号：CN110799887A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201880043521.1
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光学组件(1A)包括包含可动反射镜(22)和固定反射镜(16)的反射镜单元(2)、分束器单元(3)、光入射部(4)、第1光检测器(6)、第2光源(7)、第2光检测器(8)、保持单元(130)、第1反射镜(51)、第2反射镜(52)和第3反射镜(53)，保持单元(130)以使得第1光检测器(6)、第2光检测器(8)和第2光源(7)朝向同一侧且按第1光检测器(6)、第2光检测器(8)、第2光源(7)的顺序排列的方式保持第1光检测器(6)、第2光检测器(8)和第2光源(7)，分束器单元(3)与第1光检测器(6)之间的光路的长度比分束器单元(3)与第2光检测器(8)之间的光路的长度短，且比分束器单元(3)与第2光源(7)之间的光路的长度短。
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公开(公告)号：CN110799886A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201880043509.0
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光学装置具备：基座，其具有主面；可动部，其具有光学功能部；及弹性支撑部，其连接于基座与可动部之间，且以可动部能够沿着与主面垂直的第1方向移动的方式支撑可动部。弹性支撑部具有：杆；第1扭转支撑部，其沿着与第1方向垂直的第2方向延伸，且连接于杆与可动部之间；及第2扭转支撑部，其沿着第2方向延伸，且连接于杆与基座之间。第1扭转支撑部的扭转弹簧常数大于第2扭转支撑部的扭转弹簧常数。
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公开(公告)号：CN110799885A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201880043077.3
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光学组件包括反射镜单元和分束器单元。反射镜单元包括具有主面的基体、可动反射镜、第1固定反射镜和驱动部。分束器单元与可动反射镜和第1固定反射镜一起针对检测光构成第1干涉光学系统。可动反射镜的反射镜面和第1固定反射镜的反射镜面沿着与主面平行的平面，且朝向与主面垂直的第1方向上的一侧。可动反射镜和驱动部、以及分束器单元与第1固定反射镜之间的光路的至少一部分配置于气密空间。
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公开(公告)号：CN110799882A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201880042263.5
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的目的在提供一种能够实现可动反射镜的镜面的大型化，同时抑制可动反射镜的可动性能降低和装置整体的大型化的光学器件。本发明的光学器件(10)包括：具有主面的基体(12)；具有沿着与主面平行的平面的镜面的可动反射镜(11)；将可动反射镜以沿着与主面垂直的第1方向可移动的方式支承的第1弹性支承部(14)和第2弹性支承部(15)；使可动反射镜沿着第1方向移动的致动器部(16)；和配置在与第1方向垂直的第2方向上的可动反射镜的一侧的第1光学功能部(17)。第1弹性支承部(14)具有从可动反射镜(11)沿着主面向与第1方向和第2方向垂直的第3方向上的第1光学功能部的两侧延伸的一对第1杆(141)。第2方向上的一对第1杆(141)各自的长度(A1)大于镜面(11a)的外缘与第1光学功能部(17)的边缘之间的最短距离(D1)。
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公开(公告)号：CN110770625A
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201880040988.0
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 反射镜组件(2)包括：含有基体(21)和可动反射镜(22)的反射镜器件(20)；光学功能部件(13)；和相对于光学功能部件(13)配置在与反射镜器件(20)相反侧的固定反射镜(16)。在反射镜器件(20)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第1部分的光通过部(24)。在光学功能部件(13)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第2部分的光透射部(14)。基体(21)的第2表面(21b)与光学功能部件(13)的第3表面(13a)彼此接合在一起。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110720069A
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201880037794.5
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光学器件中，弹性支承部具有：在垂直于第1方向的第2方向上彼此相对的一对杆；沿第2方向延伸，分别连接在一对杆与底座之间的一对第1扭转支承部；沿第2方向延伸，分别连接在一对杆与可动部之间的一对第2扭转支承部；和架设于一对杆之间的第1联接部件。一对杆和第1联接部件划定光通过开口。一对杆与一对第1扭转支承部的连接位置的各个在垂直于第1方向和第2方向的第3方向上相对于光通过开口的中心位于可动部的相反侧。第2方向上的光通过开口的最大宽度由第2方向上的一对杆之间的间隔规定。
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公开(公告)号：CN110402408A
公开(公告)日：2019-11-01
申请号：CN201880017380.6
申请日：2018-03-14
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光组件包括：基体，其具有主面，且设置有安装区域和驱动区域，驱动区域能够使安装区域沿着与主面平行的第一方向移动；可动反射镜，其具有处于与主面交叉的位置关系的反射镜面，且安装于安装区域；第一固定反射镜，其具有处于与主面交叉的位置关系的反射镜面，且相对于基体的位置是固定的；和分束器单元，其与可动反射镜和第一固定反射镜一起构成关于测量光的第一干涉光学系统。可动反射镜的反射镜面和第一固定反射镜的反射镜面朝向第一方向上的一侧。
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公开(公告)号：CN113375797B
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202110691714.1
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02 , G01J3/06 , G01J3/10 , G01J3/14 , G01J3/45 , G01J3/453 , G02B7/182 , G02B26/08 , G02B27/14 , G01B9/02001 , G01B9/02055 , B81B3/00
Abstract: 反射镜组件(2)包括：含有基体(21)和可动反射镜(22)的反射镜器件(20)；光学功能部件(13)；和相对于光学功能部件(13)配置在与反射镜器件(20)相反侧的固定反射镜(16)。在反射镜器件(20)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第1部分的光通过部(24)。在光学功能部件(13)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第2部分的光透射部(14)。基体(21)的第2表面(21b)与光学功能部件(13)的第3表面(13a)彼此接合在一起。
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公开(公告)号：CN114895456B
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202210538614.X
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 在光学器件中，基体和可动部由从规定方向上的一侧起依次具有第1半导体层、绝缘层和第2半导体层的半导体基片构成。基体由第1半导体层、绝缘层和第2半导体层构成。可动部具有由第2半导体层构成的配置部。光学功能部配置在配置部的一侧的表面上。构成基体的第1半导体层比构成基体的第2半导体层厚。基体的一侧的表面位于比光学功能部靠一侧。
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公开(公告)号：CN114384686B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202210067909.3
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光学装置中，可动部具有：主体部；框部，其自主体部空开规定的间隔而包围主体部；及多个连结部，其将主体部与框部相互连结。主体部的外缘部包含以外缘部的厚度厚于中央部的厚度的方式形成的第1梁部。框部包含以框部的厚度厚于中央部的厚度的方式形成的第2梁部。各连结部的宽度大于主体部与框部之间的间隔，且小于自框部中的与各连结部的连接位置至与一对第1扭转支撑部各者及一对第2扭转支撑部各者的连接位置的任一者的距离。
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