公开(公告)号：CN219017609U

公开(公告)日：2023-05-12

申请号：CN202222641128.9

申请日：2022-10-09

申请人： 青岛育豪微电子设备有限公司

发明人： 朱育平 ,  芮茂辉 ,  孟祥飞 ,  付月明 ,  王花国 ,  许云峰 ,  邓会敏

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01L21/22 ,  H01L21/38

摘要： 本实用新型公开了一种链式扩散炉用自动送料装置，包括承载架，所述承载架内安装有循环机构，所述循环机构上安装有连接架，所述连接架的一侧安装有安装架，所述承载架的一侧安装有动力机构，所述动力机构上设有四个同步轮，其中三个同步轮的一端均固定有第二横轴，三个第二横轴和三个循环机构相连接，所述第二横轴上滑动套接有轴套，所述轴套上安装有自动移动组件，所以自动移动组件固定在承载架的一侧，所述轴套上固定有第二抵触盘，所述轴套上转动套接有第一抵触盘。本实用新型能很好的根据实际情况进行调控，方便实现自动化供料，能保证调节的效果和质量。

公开(公告)号：CN201476552U

公开(公告)日：2010-05-19

申请号：CN200920133840.X

申请日：2009-07-10

申请人： 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司

发明人： 伍波 ,  张勇 ,  李果山

IPC分类号： F27B17/00 ,  H01L31/18 ,  H01L21/38 ,  C30B31/06

CPC分类号： Y02P70/521

摘要： 本实用新型公开了一种带吹扫处理装置的扩散炉，主要应用于扩散炉中；它包括有加热炉和操作室；加热炉带有炉腔，其炉口朝向操作室方向，在加热炉内还设有石英舟；在加热炉与操作室之间还设有排气室，排气室内靠近加热炉炉口处设有一风刀。风刀形成的风面在装载及卸载时可吹扫掉硅片上的尘粒，同时卸载时可使硅片快速冷却，有效提高扩散炉的扩散工艺质量。

公开(公告)号：CN201032308Y

公开(公告)日：2008-03-05

申请号：CN200720106840.1

申请日：2007-02-28

申请人： 嘉兴市永信电子有限公司

发明人： 钱金华 ,  王利平 ,  陆茵 ,  蒋定山

IPC分类号： F25B21/02 ,  H01L21/38

摘要： 本实用新型公开了一种半导体冰箱冷热交换器，它包括散热块，该散热块由内散热块和外散热块构成，在内散热块和外散热块之间紧夹有扁形的冷却液储存管，冷却液储存管的二端设有蒸发架连接管，冷却液储存管与蒸发架连接管连通。本实用新型具有散热快、散热效果好的特点，十分适合作为冰箱的冷热交换器。