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公开(公告)号：CN219037588U
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202223141559.5
申请日：2022-11-25
申请人： 青岛育豪微电子设备有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种烧结均匀的三管扩散炉，包括主炉体，所述主炉体内安装有三个扩散炉管件，所述扩散炉管件内安装有烧结机构，所述烧结机构内安装有L型输送弯管，所述L型输送弯管的一端安装有第一锥形管，所述第一锥形管呈锥形台设置，所述第一锥形管的一端贯通设置，所述第一锥形管的另一端上贯穿设有第二锥形管件和多个弯管件，所述第二锥形管件位于多个弯管件，所述第二锥形管件上等间距开设有多个通孔，所述弯管件上安装有第三锥形管件。本实用新型能很好的使气体快速吹动相互碰撞，方便使气体之间均匀混合，并且通过预热方式将L型输送弯管内的混合气体快速提温，便于保证气体在进入承载管内后能均匀分布，保证烧结的均匀性。
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公开(公告)号：CN218926496U
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202222592100.0
申请日：2022-09-29
申请人： 青岛育豪微电子设备有限公司
IPC分类号： B23K1/008 , B23K3/08 , B23K101/36
摘要： 本实用新型涉及高温气氛焊接炉技术领域，具体为一种微电子工业用高温气氛焊接炉，包括机体,所述机体的顶部固定连接有机箱，所述机体的表面固定连接有控制台，所述机体的右侧固定连接有右支座，所述机体的左侧固定连接有左支座，转动机构，所述转动机构包括转动电机，所述转动电机固定连接在机箱的内部，传送机构，所述传送机构包括传送电机，所述传送电机设在右支座的右侧，本实用新型实现对加热块的转动，避免平面式分布加热使得高温炉内温度存在一定差异，从而避免部分集成电路板的各个焊点受热不均，使得焊接精度得到提高，通过实现对电路板的传送，避免部分设备需要花费大量备料时间，使得工作效率得到提高。
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公开(公告)号：CN211999812U
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN202020622657.2
申请日：2020-04-15
申请人： 青岛育豪微电子设备有限公司
IPC分类号： C21D1/26 , C21D9/00 , F16F15/04 , F16F15/067
摘要： 本实用新型公开的一种钟罩式退火炉，包括炉座、导杆以及加热罩，所述炉座的上侧卡接有内罩，所述炉座的上侧中部放置有盛放桶，所述加热罩的内腔安装有线圈，所述加热罩的底部两侧焊接有支撑板，所述支撑板上焊接有套环，所述支撑板上设有与套环同心的圆形通孔，所述导杆的底端套接有弹簧，所述弹簧的下端与地基固定连接，所述炉座的左右两侧设有圆柱形的凹槽，所述凹槽的底部设置有缓冲垫，所述加热罩的底部设有插柱。本实用新型的导杆贯穿套环对加热罩的下移起到导向作用，在支撑板与弹簧接触后，弹簧被压缩，插柱插入到凹槽中逐渐压缩缓冲垫，弹簧和缓冲垫共同起到缓冲保护的作用，减小加热罩与地面接触时的振动。
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公开(公告)号：CN210220649U
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201920654396.X
申请日：2019-05-09
申请人： 青岛育豪微电子设备有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种新型管式烧结炉，包括管式烧结炉本体，管式烧结炉本体包括底座，底座的顶部一侧设置有安装台，安装台的一侧两端均开有安装槽，加工室的表面一侧开有观察窗，观察窗的一端设置有保护网，加工室的顶端设置有顶盖，顶盖的表面开有散热孔。本实用新型通过设置的电动转轴控制开关开启，使其挡板闭合，使得加工室内部的温度不会散出，在管式烧结炉本体工作时，可以通过观察窗观察被加工物品的加工状态，当管式烧结炉本体工作完成后，先使电动转轴控制开关关闭，使其电动转轴转动，使其挡板开启，使得加工室的热度通过散热孔散出加工室的内部，设置的抽风扇可以加快热度的散出。
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公开(公告)号：CN221663072U
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202323476539.8
申请日：2023-12-20
申请人： 青岛育豪微电子设备有限公司
IPC分类号： C30B31/00
摘要： 本实用新型公开了一种硼预扩主扩炉，包括机体，所述机体的一侧中部固定有设备箱，所述设备箱的一侧内壁上设有开关机构。本实用新型能够在硼预扩主扩炉上安装对操控台防护的结构，在操控台使用时将两个防护罩分开可以对操控台进行操控，在操控台设定完成程序后，将两个防护罩闭合对操控台进行防护，避免操控台被随意触碰，从而可以有效的解决因操控台被随意触碰而导致硼预扩主扩炉运作时程序混乱的情况发生，继而有效的保证了硼预扩主扩炉运作时的稳定性。
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公开(公告)号：CN207479889U
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201721606266.6
申请日：2017-11-27
申请人： 青岛育豪微电子设备有限公司
IPC分类号： B23K37/00
摘要： 本实用新型公开了一种新型真空焊接炉，包括机架、电机和真空泵，机架的内部安装有电机，电加热器的一端安装有若干电加热管，电加热管的一端安装有真空泵，且电加热管的端部延伸至真空泵内部，电加热管与真空泵的连接处设置有密封圈，真空泵的内壁上设置有保温层，真空泵的顶部连接有真空管道，抽气管的一端安装有抽风机，真空处理腔的外侧设置有水冷管道。本实用新型通过将电加热管的端部延伸至真空泵内部，便于为真空泵更快速加热，电加热管与真空泵的连接处设置有由耐高温密封胶材料制作而成的密封圈，防止因电加热管端部延伸至真空泵内部造成真空泵气密性降低，能够提高真空焊接炉的加热速度，且加强真空焊接炉的气密性。
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公开(公告)号：CN219017609U
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202222641128.9
申请日：2022-10-09
申请人： 青岛育豪微电子设备有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/683 , H01L21/67 , H01L21/22 , H01L21/38
摘要： 本实用新型公开了一种链式扩散炉用自动送料装置，包括承载架，所述承载架内安装有循环机构，所述循环机构上安装有连接架，所述连接架的一侧安装有安装架，所述承载架的一侧安装有动力机构，所述动力机构上设有四个同步轮，其中三个同步轮的一端均固定有第二横轴，三个第二横轴和三个循环机构相连接，所述第二横轴上滑动套接有轴套，所述轴套上安装有自动移动组件，所以自动移动组件固定在承载架的一侧，所述轴套上固定有第二抵触盘，所述轴套上转动套接有第一抵触盘。本实用新型能很好的根据实际情况进行调控，方便实现自动化供料，能保证调节的效果和质量。
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公开(公告)号：CN219002427U
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202223052589.9
申请日：2022-11-16
申请人： 青岛育豪微电子设备有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种管式气氛炉降尘装置，包括炉体，所述炉体的一端连接有管体，所述管体上连接有输气管，所述输气管上贯穿设有罐体，所述罐体内盛放有吸收液，所述输气管内安装有动力机构，所述动力机构上设有三个联动轮，其中一个联动轮上连接有引流机构，所述引流机构和输气管相连接，另一个联动轮上安装有搅拌机构，所述搅拌机构位于罐体内。本实用新型能很好的对气体进行降温，便于快速使气体和吸收液接触，扩大接触面积，提升降尘的效果。
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公开(公告)号：CN218937007U
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202222499078.5
申请日：2022-09-21
申请人： 青岛育豪微电子设备有限公司
IPC分类号： F27B17/00 , F27D9/00 , H01L21/223
摘要： 本实用新型涉及扩散炉技术领域，具体为一种程控三管扩散炉，包括：支撑座、程控箱、进料箱、炉体、冷却箱和支撑柱，支撑座，所述支撑座上端固定连接有程控箱，所述程控箱左端固定连接有进料箱，且进料箱固定连接在支撑座上端，所述进料箱左端固定连接有炉体，且炉体固定连接在支撑座上端，所述炉体左端固定连接有冷却箱，且冷却箱固定连接在支撑座上端，所述支撑座内部固定连接有支撑柱，冷却结构，所述冷却结构包括限位杆，所述限位杆固定连接在冷却箱左端。本实用新型实现半导体在扩散炉内工作结束后，可以进入冷却箱进行快速冷却，且该装置设置有暂存结构，方便暂存冷却后的半导体，提高了装置的实用性和便捷性。
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公开(公告)号：CN212006710U
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN202020583816.2
申请日：2020-04-09
申请人： 青岛育豪微电子设备有限公司
摘要： 本实用新型公开的一种高温链式烧结炉，包括链式输送带和机台，所述机台的上侧安装有若干个辊子，所述链式输送带连接于两端的辊子之间，所述机台包括平台和托板，所述托板上安装有散热器，所述平台的上侧中部安装有烧结罩，所述烧结罩的左右两侧分别设置有预热罩和冷却罩，所述预热罩的内部设有第一腔体，所述冷却罩的内部设有第二腔体，所述冷却罩的上侧安装有水泵，所述水泵的输入端用管道与第二腔体连通，所述水泵的输出端通过管道连接到第一腔体，所述散热器包括矩形的水箱，两个所述水箱之间连接有若干根圆管。本实用新型利用冷却阶段散发的热量对下一批的压坯进行预热，从而提高热量的利用率。
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