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公开(公告)号：CN1873903A
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN200610082019.0
申请日：2006-03-31
Applicant: 索尼株式会社 , 株式会社ORC制作所
CPC classification number: H01J9/326 , H01J61/34 , H01J61/368 , H01J61/86
Abstract: 本发明提供了一种耐用性得以提高的短弧型高压放电灯以及包括该短弧型高压放电灯的灯装置。玻璃材料进入其中的玻璃材料部分(52A)分别设置在电极轴(5402)的外周表面(5406)和被密封金属箔(56)的弯曲部分(58)之间、电极轴(5402)的两侧上，在玻璃材料部分(52A)、电极轴(5402)的外周表面(5406)和弯曲部分(58)中存在与密封空间(60)连续的间隙(S3)。由玻璃材料部分(52A)面对间隙(S3)的表面(52－1)与弯曲部分(58)形成的角度为钝角(ψ)。换句话说，由玻璃材料部分(52A)面对间隙(S3)的表面(52－1)与被密封金属箔(56)的弯曲部分(58)的表面(5602)形成的角度为钝角(ψ)。
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公开(公告)号：CN1253980C
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN03150177.X
申请日：2003-07-18
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: H01S3/08 , H01S3/0941 , H01S3/16
CPC classification number: H01S3/0602 , H01S3/025 , H01S3/0405 , H01S3/042 , H01S3/061 , H01S3/0625 , H01S3/094084 , H01S3/0941
Abstract: 本发明提供一种固体激光装置，其激发效率和激发分布良好，而且即使在各向异性的激光介质中也可以容易地进行晶轴定位。该固体激光装置具备：激光介质11，其吸收来自LD10的激发光12，产生或者放大规定波长的光；散热片，其由第一～第三块15a、15b、15c构成，定位激光介质11，冷却激光介质11，并反射激发光12。激光介质11的入射面A是圆弧状，反射部是平面。因为具有扩散角的激发光12通过入射面A变成平行光，所以激光介质11被均匀地激发。另外，因为反射部是平面，所以不仅可以容易地对轴方向不同特性不同的激光介质11进行定位，而且也因为反射光与入射光基本平行地反射，所以可以高效地激发激光介质11。
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公开(公告)号：CN1506992A
公开(公告)日：2004-06-23
申请号：CN02155401.3
申请日：2002-12-06
Applicant: 株式会社ORC制作所
Inventor： 吉田雄介
IPC: H01J5/04
Abstract: 本发明提供一种电介质阻挡层放电灯，目的是降低电介质阻挡层放电灯的冷却成本。其中用无臭氧石英管等不透过真空紫外光的材料构成发出真空紫外光的电介质阻挡层放电灯1的内侧管2。用空气冷却内侧管2。由于即使用空气作为冷却介质也不会产生有害的臭氧，无需进行消除排出气体处理，因此能降低操作成本。此外，由于能减少透射真空紫外线的昂贵的合成石英等的使用，因此也能降低紫外光源系统的成本。
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公开(公告)号：CN119511640A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202410253316.5
申请日：2024-03-06
Applicant: 株式会社ORC制作所
Inventor： 奥山隆志
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供曝光装置和曝光方法。对于无掩模曝光装置，提供如下的曝光装置：该曝光装置能够执行形成更高分辨率的图案的数据处理。曝光装置(10)具有栅格转换部(60)。栅格转换部(60)将矢量数据按照单位区域生成分割矢量数据，并且生成细分栅格数据，该细分栅格数据由尺寸比微镜的投影区域小的单元尺寸构成。
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公开(公告)号：CN110473766B
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN201910383327.4
申请日：2019-05-09
Applicant: 株式会社ORC制作所
Inventor： 林武弘
Abstract: 提供放电灯及放电灯的制造方法。在短弧型放电灯等中，对安装部件进行密封而不会在金属箔产生褶皱等。在通过在柱状的玻璃部件(34)的外表面沿灯轴方向配置多个金属箔(36)，使金属箔(36)焊接到与电极支承棒(22)连接的内侧金属环(26)的外周面(26S)而得到的放电灯(10)中，环状的压接部件(50)在内侧金属环(26)的外周面(26S)上以及其附近，朝向内侧金属环(玻璃部件)的中心侧按压金属箔(36)，从而紧固金属箔(36)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111755318B
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202010194736.2
申请日：2020-03-19
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 提供放电灯及其制造方法。提供一种具有热耐久性优异的密封结构的放电灯。在放电灯(10)的密封管(20)中，贯穿插入有电极支承棒(22A)，将金属箔(36)在外周面连接的内侧金属环(26)组装到安装部件(18A)中。内侧金属环(26)由圆盘部(26B)和从其周缘逐渐扩展地延伸的延伸部(26C)构成，形成为碗状。
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公开(公告)号：CN119024646A
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202311393436.7
申请日：2023-10-25
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供光源装置和曝光装置。不使用透镜阵列，使用密集地配置有多个LED裸片的封装，减小光学系统的尺寸。一种光源装置，其是对涂布于基板的感光材料进行曝光的曝光装置用的光源装置，其中，所述光源装置具有：第一LED阵列光源和第二LED阵列光源，它们发出不同波长的紫外光；棱镜，从第一和第二LED阵列光源发出的发散光入射到该棱镜；均匀化单元，来自棱镜的光入射到该均匀化单元；以及透光区域，其配置在棱镜与均匀化单元之间，该透光区域的折射率小于棱镜的折射率。
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公开(公告)号：CN118692892A
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202311167927.X
申请日：2023-09-11
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 本发明提供准分子灯，在具有点亮启动辅助用的辅助放电空间的准分子灯中，提高点亮启动性和紫外线放射效率。具有放电容器(15)，该放电容器(15)通过将外侧管(20)的端部(20T)与设置于电介质(30)的大径部(34)的扩径部(31)熔接而形成有主放电空间(S1)。并且，通过电介质(30)与内侧电极(40)的局部封接，沿着灯轴(C)形成有辅助放电空间(S2)。并且，在辅助放电空间(S2)中，沿电极宽度方向(Y方向)的与电介质(30)的分离距离(D1)小于电介质(30)的管状部分(30G)的厚度(壁厚，T10(＝T20))。
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公开(公告)号：CN110955118B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN201910149815.9
申请日：2019-02-28
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种曝光装置和曝光方法。利用抑制了设置空间的RtoR输送系统的曝光装置进行长基板的双面曝光。在RtoR输送系统的曝光装置(10)中，在曝光载台(15)的单侧配置供给卷轴(22)、收卷卷轴(32)，在相反侧配置基板折回机构(50)。然后，基板折回机构(50)使从供给卷轴(22)送出的长基板(W)朝向相反方向折回，并且使正面背面翻转。曝光部(40)在曝光载台(15)与包含供给卷轴(22)、收卷卷轴(32)的基板供给/收卷装置(20)一体地进行相对移动的期间内，对长基板(W)的正面侧曝光对象部分(W1)和背面侧曝光对象部分(W2)这双方同时进行曝光。
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公开(公告)号：CN117283121A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202310372861.1
申请日：2023-04-10
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: B23K26/073 , B23K26/08 , B23K26/362 , B23K26/70
Abstract: 烧蚀加工方法、激光加工装置以及烧蚀加工用掩模。提供能够在烧蚀加工中一边使线状光进行重复扫描一边对基板等适当地形成加工图案掩模的设计和激光加工方法。在加工装置(100)中，将形成有掩模图案(P1～P4)的掩模(M)载置于掩模工作台(40)，通过线束形成部(20)的移动和角度切换镜(26)的角度的切换而使线状光(LB)在主扫描方向(X方向)上扫描，并且使线状光(LB)的照射位置在副扫描方向(Y方向)上移位。并且，通过借助掩模工作台(40)的移动而进行的掩模(M)的移动，使线状光(LB)的照射位置与扫描区域(MR1～MR4)的位置一致。
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