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公开(公告)号：CN106064275B
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN201610160327.4
申请日：2016-03-21
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： B23K26/06 , B23K26/0622 , B23K26/38 , B23K101/36
摘要： 公开了一种切割基板的方法和一种制造显示装置的方法。切割基板的方法包括：在基板的第一表面上形成第一保护层；形成第一保护层的一部分被去除的去除区域，第一保护层的该部分是通过在第一保护层的一部分以第一激光束照射第一保护层而去除的；以及在以第一激光束照射第一保护层后，通过由在去除区域以第二激光束照射基板而去除基板的一部分，形成切割区域。
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公开(公告)号：CN110640306A
公开(公告)日：2020-01-03
申请号：CN201910567685.0
申请日：2019-06-27
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： B23K26/06 , B23K26/067 , B23K26/064
摘要： 本发明公开光束成形光学系统。本发明一实施例公开如下的光束成形光学系统，其包括：多个激光源；传递(delivery)单元，将从所述多个激光源出射的多个光沿与光轴(Z轴)垂直的Y轴方向排列成列(column)；望远镜(telescope)单元，沿与所述光轴和所述Y轴垂直的X轴方向放大从所述传递单元入射的多个光的光束分布；光束变换(beam transformation)单元，通过将从所述望远镜单元入射的多个光中的每一个分割为N个(N为大于2的整数)而形成包含所述多个光中的每一个的N个子列(sub-column)，并且使所述N个子列中的每一个以所述Z轴为中心旋转90度；以及傅里叶单元，通过傅里叶变换来混合包含在通过所述光束变换单元形成的N个子列中的多个光。
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公开(公告)号：CN109872961A
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201811470485.5
申请日：2018-12-04
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明公开一种激光晶化装置。根据本发明的实施例的激光晶化装置包括：激光发生器，发生激光束形态的至少一个输入光；光学系统，将所述输入光转换为至少一个输出光；以及工作台，安装被加工物，并被所述输出光照射，其中，所述光学系统包括：第一偏振旋转器，改变所述输入光的偏振状态；偏振分束器，在光路上布置于所述第一偏振旋转器的后方，并根据偏振状态将入射的光透射或反射，从而将所述输入光分支为沿第一方向及与所述第一方向交叉的第二方向行进的光；以及多个镜子，将从所述偏振分束器分支后的光中沿所述第一方向行进的光反射而使其再次朝向所述偏振分束器，从而形成环路。
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公开(公告)号：CN103364638B
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201310119658.X
申请日：2013-04-08
申请人： 三星显示有限公司
CPC分类号： G01R31/26 , G01R31/2648 , G01R31/265
摘要： 本发明公开一种硅薄膜的电导率测量方法、缺陷检测方法及缺陷检测设备。通过硅薄膜的电导率测量方法，以在传感器和样品之间具有气隙的方式将电容式传感器放置在硅薄膜样品的上方，在关闭激发光源组件的同时，利用电容式传感器测量气隙的大小，通过开启激发光源组件，使激发光照射到硅薄膜样品上，其中激发光是紫外光，利用电容式传感器测量硅薄膜样品的电导率变化，以及通过基于气隙大小的测量结果使电导率变化归一化，来消除由于气隙的偏差而导致的测量误差。
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公开(公告)号：CN102401790B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201110192126.X
申请日：2011-07-04
申请人： 三星显示有限公司
CPC分类号： G01N21/55 , G01N21/9505
摘要： 本发明涉及多晶硅膜检测装置以及检测方法，本发明的实施例的多晶硅膜检测装置检测向前面照射激光而结晶化的多晶硅膜。并且包括：光源部，向所述多晶硅膜的背面发射检测光，所述背面与所述前面相反；验光部，对在所述多晶硅膜反射的检测光验光；以及控制部，控制所述光源部和所述验光部。
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公开(公告)号：CN104275555A
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201310463783.2
申请日：2013-10-08
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： B23K26/57 , B23K26/402 , H01L21/67
CPC分类号： B23K26/57 , H01L21/67126
摘要： 提供了衬底分离装置和衬底分离方法。根据本发明的一方面，提供了一种衬底分离装置，该装置包括激光照射器、激光分光器和方向变换器，其中激光照射器沿第一方向照射第一激光束，激光分光器将第一激光束分成沿第一方向行进的第二激光束和沿不同于第一方向的第二方向行进的第三激光束，方向变换器改变第二激光束或第三激光束的方向。
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公开(公告)号：CN104215611A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410192878.X
申请日：2014-05-08
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： G01N21/63
CPC分类号： G01N21/6489 , G01N21/9501
摘要： 一种用于检查多晶硅层的方法，包括：将激发光照射在该多晶硅层上；以及通过激发光检测在多晶硅层中产生的光致发光信号，其中该激发光具有1W/cm2至10W/cm2的范围内的平均功率，以及100W/cm2至1000W/cm2的范围内的峰值功率。
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公开(公告)号：CN101844865B
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201010143475.8
申请日：2010-03-25
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： C03B33/09
CPC分类号： C03B33/091 , H01L51/56 , H01L2251/566 , H05K3/0029 , H05K3/0052 , H05K2203/1121
摘要： 本发明公开一种基板切割装置和一种使用该基板切割装置切割基板的方法。该基板切割装置，包括：用于支撑基板的台；用于发射激光束的激光发生器；光束振荡器，用于在所述基板的切割线上振荡所述激光束，以加热所述基板；以及用于冷却加热基板的冷却单元。
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公开(公告)号：CN111185677B
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN201911111208.X
申请日：2019-11-14
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： B23K26/362 , B23K26/06
摘要： 公开了激光设备和使用该激光设备的衬底蚀刻方法。激光设备可包括激光发生器、光学系统和台，其中，激光发生器生成用作输入光的至少一个激光束，光学系统将从激光发生器提供的输入光转换为多个图案光，并且目标物体被装载到台上。输出光可照射到目标物体上。光学系统可将输入光划分成多个分光，并且图案光可通过多个分光的相长干涉而生成。图案光中的每个的直径可小于输入光的直径。
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公开(公告)号：CN114476279B
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202210151624.8
申请日：2018-10-11
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： B65B69/00
摘要： 提供了一种剥离保护膜的方法，所述方法包括以下步骤：将在第一方向上延伸的剥离带的一侧设置在带支撑部上；将设置在剥离带的所述一侧上的第一按压部在向下方向上移动以将剥离带的所述一侧按压并固定到带支撑部；将设置在剥离带的另一侧上的第二按压部在向下方向上移动以将剥离带的所述另一侧按压并附着到母面板的保护膜的虚设部分的一侧；将第二按压部在向上方向上移动并且将带支撑部和第一按压部在向上方向上移动以使虚设部分的所述一侧和虚设部分的预定部分剥离；以及通过用抓握部抓握虚设部分的被剥离的预定部分使虚设部分的剩余部分剥离。
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