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公开(公告)号:CN102098067A
公开(公告)日:2011-06-15
申请号:CN201110003103.X
申请日:2011-01-07
Applicant: 东南大学
IPC: H04B1/06
Abstract: 本发明的基于在线式微电子机械微波功率传感器的微波接收机前端采用在线式MEMS微波功率传感器的自检测功能将部分被MEMS膜桥耦合的微波功率转换为直流电平,该直流电平在线控制可衰减和可放大预处理器,在微波天线接收到过大或过小的微波信号时使该微波接收机前端的输出保持相对稳定,同时在微波天线突发性接收到超大微波信号时起到保护低噪声放大器的作用,避免其过载,并且扩大了微波接收机前端的线性动态范围,从而代替了传统微波接收机前端中采用较复杂的AGC模块实现上述功能;而且由于这种微波接收机前端是基于MEMS技术实现的,因此它还具有较低的损耗和较小的体积等在线式MEMS微波功率传感器的特点。
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公开(公告)号:CN101915871A
公开(公告)日:2010-12-15
申请号:CN201010223810.5
申请日:2010-07-12
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS固支梁式在线微波功率传感器及其制备方法,所述微波功率传感器包括砷化镓衬底、主线CPW、副线CPW、MEMS固支梁式结构和终端微波功率监测系统:所述MEMS固支梁式结构包括固支梁和锚区,固支梁横跨在主线CPW信号线的上方,固支梁的两端固定在锚区上,锚区通过副线CPW信号线而不是CPW地线与终端微波功率监测系统相连接;所述固支梁结构下方设有驱动电极。本发明的MEMS固支梁式在线微波功率传感器,不但具有终端式微波功率传感器的优点,如低损耗和高灵敏度,而且具有在线微波功率测量、实现监测和不监测两种状态、多种耦合度的在线微波功率传感器的集成以及与砷化镓单片微波集成电路兼容的优点。
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公开(公告)号:CN119500295A
公开(公告)日:2025-02-25
申请号:CN202411399971.8
申请日:2024-10-09
Applicant: 东南大学
IPC: B01L3/00 , C12Q1/6869 , B82Y40/00
Abstract: 本发明属于高通量测序传感器技术领域,涉及一种硅基高通量单分子检测纳米孔芯片及制备方法,硅基高通量单分子检测纳米孔芯片包括硅衬底、纳米通孔阵列以及样品池阵列;纳米通孔阵列以及样品池阵列分别设置在硅衬底上表面以及下表面;纳米通孔阵列中包括M×N个纳米通孔;样品池阵列包括多个非互通的样品池;样品池的数量与纳米通孔的数量相对应;贯穿硅衬底上设置有与纳米通孔数量相对应的贯穿孔;纳米通孔通过贯穿孔与样品池连通。本发明能实现纳米孔的低成本、便携使用、多应用场景、高灵敏度、高准确性,以此技术开发测序仪,推进第四代测序技术的发展。
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公开(公告)号:CN118961007A
公开(公告)日:2024-11-15
申请号:CN202411209152.2
申请日:2024-08-30
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS压力传感器及片上零漂和温漂补偿方法,采用在惠斯通电桥中集成补偿电阻的方案实现桥内硬件补偿。其中补偿电阻分为起到调零作用的串联电阻和起到补偿作用的并联电阻。通过测定补偿前传感器在供电情况下输出电压,进而计算出补偿电阻接入电桥的形式和阻值的大小;通过半导体工艺或激光修调,改变补偿电阻接入电桥的形式以及阻值的大小,从而实现因工艺误差和外部环境引发的零点漂移和温度漂移偏差的硬件补偿,有助于提高批量生产时芯片的一致性。此外,本发明的具有片上零漂和温漂补偿的MEMS压力传感器的制备工艺简单,可显著简化后端调理电路的复杂性,提高传感器的集成度。
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公开(公告)号:CN118936694A
公开(公告)日:2024-11-12
申请号:CN202410989912.X
申请日:2024-07-23
Applicant: 东南大学
IPC: G01L1/18
Abstract: 本发明公开了一种高一致性MEMS压力传感器及其制备方法,采用集成膜内惠斯通电桥和膜外惠斯通电桥的双桥结构,其中膜内惠斯通电桥由四个分布在敏感薄膜四边中心位置的压敏电阻构成,膜外惠斯通电桥由膜外硅器件层上的四个压敏电阻构成,且内外惠斯通电桥的对应压敏电阻尺寸一致;通过将膜内惠斯通电桥和膜外惠斯通电桥的输出电压相减,可以有效降低压敏电阻阻值失配对零点输出的影响,从而实现对工艺随机误差导致的零点漂移偏差的预补偿,有助于提高批量生产时芯片的一致性性能。此外,本发明的高一致性MEMS压力传感器制备方法无需额外工艺步骤,有利于提高传感器的集成化,具有工艺简单、成本低及易于批量生产的优点。
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公开(公告)号:CN118188743A
公开(公告)日:2024-06-14
申请号:CN202410288561.X
申请日:2024-03-13
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种可调频的密封调谐液柱阻尼器,属于阻尼器技术领域,包括两根横向管和四个连接接头,两根所述横向管通过格栅固定连接,且两根所述横向管连接处套设有橡胶套筒,所述横向管的两端均通过所述连接接头连接有连接弯管,所述连接弯管另一端均通过所述连接接头连接有竖向管,所述竖向管、所述横向管、所述连接弯管通过所述连接接头连接形成U形管,所述U形管内灌注有有色液体,所述竖向管顶端均通过螺纹连接有密封盖。本发明采用上述的一种可调频的密封调谐液柱阻尼器,构造简单,成本低廉,体积较小,可灵活布置于建筑顶层空间,在不影响建筑空间使用功能的前提下,起到消能减震作用,在一定频率范围内,适应多种结构不同需求。
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公开(公告)号:CN114088257B
公开(公告)日:2023-12-22
申请号:CN202111360679.1
申请日:2021-11-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法,在敏感薄膜的上表面和下表面分别制备两个压敏电阻,且在敏感薄膜厚度方向上两组压敏电阻完全重合,并且同一表面的两个压敏电阻分别正对敏感薄膜一组相对边缘的中心位置;敏感薄膜下表面的两个压敏电阻的两端分别通过金属引线与结构上表面的电极层电连接,金属引线上设有绝缘层;四个压敏电阻之间采用惠斯通电桥方式连接。本发明中两组压敏电阻沿敏感薄膜厚度方向垂直分布,且两组压敏电阻在水平方向上均沿同一方向排布,结构具有高度的对称性,解决了压阻排布的不对称性导致传感器输出精度降低的问题。
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公开(公告)号:CN113903982B
公开(公告)日:2023-08-22
申请号:CN202111171771.3
申请日:2021-10-08
Applicant: 东南大学
IPC: H01M10/0525 , H01M10/058
Abstract: 本发明公开了一种微型全固态锂离子电池及制备方法,结构包括依次层叠设置的负极集流体、负极层、固态电解质层、正极层、正极集流体层;还包括包裹整体层叠结构的钝化层,在钝化层外侧还包裹柔性防水保护层;还包括从外侧连通到正极集流体层表面中央的正极引出孔,以及从外侧连通到负极集流体表面中央的负极引出孔。本发明通过去除电池基底并制作柔性防水保护层,在有效释放电池充放电过程中由于体积膨胀产生的应力的同时还提升电池的能量密度,并且对电池进行良好的密封以改善其可靠性和使用寿命。
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公开(公告)号:CN113611969B
公开(公告)日:2023-02-28
申请号:CN202110887962.3
申请日:2021-08-03
Applicant: 东南大学
IPC: H01M50/24 , H01M50/244 , H01M50/271 , H01M50/298 , H01M10/04 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明涉及一种固态锂离子电池的封装,包括盖板、固态锂离子电池以及基底,所述盖板下表面设置上电极层,上电极层上设置导线层,所述导线层位于盖板的中心位置;所述基底上设置有凹槽,所述凹槽表面和周侧依次设置有绝缘层和下电极层;盖板与基底相贴合,盖板与基底的凹槽形成密封腔体,所述固态锂离子电池设置在密封腔体中该技术方案克服了现有技术中存在的不足,使电池具有高的能量密度的同时还具有高的可靠性能和机械强度。
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