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公开(公告)号：CN106550528A
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201610973016.X
申请日：2016-10-28
Applicant: 中国地质大学(北京)
IPC: H05H1/00
Abstract: 本发明提供了一种用于等离子体检测的多模光纤焦平面调节装置，其用于将多模光纤的入射平面与切尼-特纳光路结构的出射焦平面调节至重合，其包括多模光纤调整座、以及并列设置的第一调整装置和第二调整装置，其中，所述切尼-特纳光路结构安装在第一调整装置上，所述多模光纤调整座安装在第二调整装置上，所述第一调整装置和所述第二调整装置各自具有多个自由度，所述多模光纤容置在所述多模光纤调整座中，使得多模光纤的入射面朝向所述切尼-特纳光路结构的出口。本发明的调节装置能够实现将多模光纤的入射平面与切尼-特纳光路结构的出射焦平面调节至重合，而且可以实现快速柔性地调节，从而提高等离子体光谱信息采集的灵敏度和精确度。
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公开(公告)号：CN103956315B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201410217144.2
申请日：2014-05-22
Applicant: 中国地质大学(北京)
Abstract: 本发明涉及一种电极间距可调的等离子体反应腔室，包括腔室衬套、上盖和位于由所述腔室衬套、上盖构成的空腔内的电极，所述电极包括上电极和下电极，其特征在于，还包括电极间距调整机构，所述上电极包括气体分配部件、调整极板、和多晶硅极板，所述调整极板包括金属极板和石英套筒，优选的，所述金属极板为带底圆筒状，从下向上套装在所述气体分配部件上，其内壁与所述气体分配部件的外壁之间留有间隙；所述金属极板的上端与所述电极间距调整机构的下活塞杆固定连接。本发明提供的上下电极间距可调的等离子体反应腔室以及电极间距调整装置，可以精确的调节上下电极之间距离，且结构简单，操作方便，易于加工制造。
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公开(公告)号：CN103426807B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201210155520.0
申请日：2012-05-18
Applicant: 中国地质大学(北京)
IPC: H01L21/683
Abstract: 一种配置有工件取放装置的半导体刻蚀装置，包括腔室主体，还包括取放工件装置，所述的取放工件装置包括射频电极升降机构和取片视窗出口，射频电极升降机构包括螺旋传力机构和导向机构，螺旋传力机构中的螺母和螺杆与导向机构中的导柱和导套的轴线重合，且驱动电机安装在导套的一端面上。本发明的反应腔室能够方便的取放工件，避免频繁开启反应腔室的端盖所引起的密封件磨损，提高反应腔室的使用寿命，此外取放工件装置包括两级升降机构，实现对不同尺寸工件在两个电极间位置的调整。
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公开(公告)号：CN103426807A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201210155520.0
申请日：2012-05-18
Applicant: 中国地质大学(北京)
IPC: H01L21/683
Abstract: 一种配置有工件取放装置的半导体刻蚀装置，包括腔室主体，还包括取放工件装置，所述的取放工件装置包括射频电极升降机构和取片视窗出口，射频电极升降机构包括螺旋传力机构和导向机构，螺旋传力机构中的螺母和螺杆与导向机构中的导柱和导套的轴线重合，且驱动电机安装在导套的一端面上。本发明的反应腔室能够方便的取放工件，避免频繁开启反应腔室的端盖所引起的密封件磨损，提高反应腔室的使用寿命，此外取放工件装置包括两级升降机构，实现对不同尺寸工件在两个电极间位置的调整。
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公开(公告)号：CN103422071A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201210155362.9
申请日：2012-05-18
Applicant: 中国地质大学(北京)
IPC: C23C16/455
Abstract: 一种可快速更换匀气方式的真空腔室，是一包括腔筒、上盖（20）和下盖的腔体，在上盖（20）上设进气喷嘴（10），进气喷嘴连通一其下方的第一腔体构成第一布气室（160），第一布气室外壁与真空腔体内壁间构成第二布气室（170），在第一布气室腔体壁上设布气孔连通第一布气室和第二布气室；第二布气室腔体壁上设出气口，其上连设真空泵的管路；构成第一布气室的第一腔体与腔体间构成可拆连接结构，腔体上设若干连接结构与不同规格的第一布气室上的连接结构连接，构成可拆连接结构。本发明可检测不同进气方式下腔室内部空间及各气路上的压力参数，研究集成电路制造过程中气流参数对工艺的影响规律，并可显著提高IC装备腔室布气部件优化设计的可信度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101549231A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200910076583.5
申请日：2009-01-09
Applicant: 中国地质大学(北京) , 清华大学 , 中远造船工业公司
Abstract: 本发明公开了一种含藻海水的气浮旋分耦合分离方法及其装置，该分离方法包括产生气泡；把气泡通入含藻海水中；气泡与含藻海水混合；旋分，旋分结果是轻相、水相、重相。该分离装置包括气泡发生器，混合器，旋分器，气泡发生器主要包括外管、微孔膜管，微孔膜管插入外管中并与外管密封连接，微孔膜管的外壁与外管的内壁之间构成环形空腔结构，外管的外壁上设有充气口与空气压缩机通过软管连接，气泡发生器与加压水泵之间的管路上安装控制装置和检测装置，气泡发生器通过混合器与旋分器连接，旋分器的三个出口，分别是旋分器底部的底流口，旋分器上端侧部的切向出水口，旋分器顶面的中部插入排藻管，排藻管的出口为旋分器的排藻口。
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公开(公告)号：CN115146370B
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202210220458.2
申请日：2022-03-08
Applicant: 中国地质大学(北京)
IPC: G06F30/15 , G06F30/27 , G06N3/126 , G06F111/08 , G06F119/14
Abstract: 本申请涉及一种汽车传动系统模型的对标修正方法及判断舒适性的方法，该对标修正方法包括：对实际车辆进行直线加速测试，得到第一车速随时间变化关系、第一发动机扭矩随时间变化关系和第一变速器挡位随时间变化关系；建立初始的汽车传动系统模型；利用遗传算法确定初始的汽车传动系统模型中各系数的优化值；将得到的参数种群中的各系数的优化值代入到所述初始的汽车传动系统模型中，得到对标修正后的汽车传动系统模型。能够根据实际车辆的加速测试结果得到汽车传动系统模型，使得后续可以直接利用对标修正后的汽车传动系统模型模拟汽车直线加、减速测试，而无需实际车辆进行相关测试。
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公开(公告)号：CN115144191A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210220460.X
申请日：2022-03-08
Applicant: 中国地质大学(北京)
IPC: G01M17/007 , G06F30/20 , G06F30/28
Abstract: 本申请涉及一种车辆直线加速模型的建立方法及利用其评价舒适性的方法，该建立方法包括：对实际车辆进行直线加速测试，采集实际车速随时间变化关系、实际发动机扭矩随时间变化关系、实际变速器挡位随时间变化关系、传动轴输入端角速度随时间变化关系和传动轴输出端角速度随时间变化关系并确定传动轴损失扭矩随时间变化关系；建立初始的车辆直线加速模型；利用遗传算法确定初始的车辆直线加速模型中各参数的优化值；将得到的参数种群中的各参数的优化值代入到所述初始的车辆直线加速模型中，得到优化后的车辆直线加速模型。使得后续可以直接利用该优化后的车辆直线加速模型模拟车辆的直线加、减速测试，而无需实际车辆进行相关测试。
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公开(公告)号：CN113907463A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202110773545.6
申请日：2021-07-08
Applicant: 中国地质大学(北京)
IPC: A41D13/005 , H01L23/367 , H01L23/473
Abstract: 本发明提供了一种用于液冷服系统的液冷装置及液冷服系统，外箱体包括底部、侧部、连接于侧部外的卡扣孔和转动连接于卡扣孔的卡环，底部和侧部连接，形成具有顶部开口的容置腔；散热器安装于外箱体的顶部，其外侧设置有能够与所述卡环卡接配合的卡扣；风机组件安装于散热器的顶部，且与散热器之间留有间隙；回弹板、冷却容器导热垫以及半导体制冷器件依次设置于外箱体的底部与散热器之间，回弹板与外箱体的底部之间设置有弹性件，以使冷却容器、半导体制冷器件以及散热器依次贴合；冷却容器的介质流道与半导体制冷器件的冷端面均接触；隔热件位于散热器与外箱体的侧部之间。本发明能够提高冷却装置的冷却效率和穿戴者舒适性的持续时间。
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公开(公告)号：CN110625015B
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201910838038.9
申请日：2019-09-05
Applicant: 中国地质大学(北京)
Abstract: 本发明提供了一种提高铝合金热冲压件成形质量的分区冷却方法，包括以下步骤：铝合金板料在加热炉中加热处理；将导热板固定于板料夹持装置；在由加热炉向冲压模具转移过程中，采用导热板加紧铝合金板料的方式分区冷却；将铝合金板料放置于冲压模具中，进行冲压成形。该发明采用导热板加紧铝合金板料的方式对转移阶段的板料进行分区冷却，导热板根据温降的需求，加工成镂空区和导热区。铝合金板温度在导热区温度较低，而在镂空区温度较高。如此，可优化铝合金板料的减薄区域，改善原有热冲压件的成形质量。
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