一种单晶硅表面纳米坑无损加工方法

    公开(公告)号:CN109850842A

    公开(公告)日:2019-06-07

    申请号:CN201910163123.X

    申请日:2019-03-05

    IPC分类号: B81C1/00 B82Y40/00

    摘要: 本发明公开了一种单晶硅表面纳米坑无损加工方法,包括以下步骤:S1、对单晶硅样品进行清洗和腐蚀处理,以去除单晶硅样品表面的自然氧化层,并获得氢原子或羟基终止的单晶硅表面;S2、对单晶硅表面进行去离子水冲洗后,依次再放入酒精溶液和去离子水中超声清洗,以去除单晶硅表面污染;S3、利用扫描探针显微镜上的探针对单晶硅表面进行加工,探针以设定接触压力、接触时间或循环次数在加工位置反复进行压入-分离操作,从而去除加工位置处的硅原子获得无晶格缺陷的纳米坑。该方法对加工环境无特殊要求,加工表面晶格保持完整,基底材料无残余损伤,加工获得的纳米坑结构具有高可靠服役性能;加工步骤简单且灵活性高,加工成本低。

    基于微悬臂投影的光电式加速度传感器

    公开(公告)号:CN106093469B

    公开(公告)日:2019-01-15

    申请号:CN201610382181.8

    申请日:2016-06-01

    IPC分类号: G01P15/093

    摘要: 一种基于微悬臂投影的光电式加速度传感器,包括不透明的矩形壳体(9)、封装在矩形壳体(9)底部的芯片和矩形壳体(9)侧壁上部固定的光源(8);其中,所述的芯片依次由基底(1)、下绝缘材料层(2)、光敏材料层(3)、微悬臂结构层(5)组成;其特征在于:所述的微悬臂结构层(5)的中部和上绝缘材料层(4)的中部为贯通的矩形空腔;空腔内的矩形质量块(7a)通过条状的微悬梁(7b)连接在微悬臂结构层(5)的空腔壁上构成异形微悬臂;且矩形质量块(7a)在微悬梁(7b)方向的长度小于或等于矩形空腔在微悬梁(7b)方向的长度的1/2。其灵敏度高、分辨率高、响应快、可靠性强、寿命长;且结构简单,体积小,成本低,易于批量化生产。

    基于微悬臂投影的光电式气敏传感器

    公开(公告)号:CN105973952A

    公开(公告)日:2016-09-28

    申请号:CN201610392191.X

    申请日:2016-06-01

    IPC分类号: G01N27/26 G01N21/84

    CPC分类号: G01N27/26 G01N21/84

    摘要: 一种基于微悬臂投影的光电式气敏传感器,包括不透明的矩形壳体(9)、封装在矩形壳体(9)底部的芯片和矩形壳体(9)侧壁上部固定的光源(8);其中,所述的芯片依次由基底(1)、下绝缘材料层(2)、光敏材料层(3)、微悬臂结构层(5)组成;其特征在于:所述的微悬臂结构层(5)的中部和上绝缘材料层(4)的中部为贯通的矩形空腔;矩形空腔内的矩形质量块(7a)通过条状的微悬梁(7b)连接在微悬臂结构层(5)靠近光源(8)一侧的空腔壁上,构成异形微悬臂;且矩形质量块(7a)的表面沉积了一层气敏材料层(7c)。该种光电式气敏传感器灵敏度高、分辨率好、响应快、成本低、且使用寿命长。

    一种真空下多探针摩擦磨损测试及原位形貌探测系统

    公开(公告)号:CN105181501A

    公开(公告)日:2015-12-23

    申请号:CN201510488002.4

    申请日:2015-08-10

    IPC分类号: G01N3/56

    摘要: 本发明公开了一种真空下多探针摩擦磨损测试及原位形貌探测系统,包括主体和外部手动驱动装置;所述主体包括腔体上盖、安装在腔体上盖上面用于密封的光窗顶盖和安装腔体上盖内部的多探针组件;其能在高真空下实现对具有不同功能的SPM针尖切换,使摩擦学测试及原位形貌探测在高真空环境下可相继完成,且原位定位精度较高。由于更换针尖时无须打开腔体,确保了实验样品不受外界因素干扰,使实验所得结果更为真实可信;不仅如此,也节省了实验前期设备调整校准时间,提高实验效率。

    一种用于原子力显微镜的气氛控制系统

    公开(公告)号:CN103760383A

    公开(公告)日:2014-04-30

    申请号:CN201410009253.5

    申请日:2014-01-09

    IPC分类号: G01Q30/12

    摘要: 一种用于原子力显微镜的气氛控制系统,其特征在于:气体瓶一(1a)和气体瓶二(1b)分别通过流量计一(3a)、流量计二(3b)与混合气管(4)的进气口相连,混合气管(4)的出气口通过进气腔(6)与原子力显微镜上的气氛腔(7)的进气口相连。该系统能为原子力显微镜提供不同气体、各种比例组成的可控混合气氛,从而使原子力显微镜能进行各种比例的不同气体组成的混合气氛下微机电系统的磨损失效、防护机理的模拟试验与研究,从而为相应混合气氛工作中的微机电系统的设计、制造与维护提供更准确、可靠的试验依据,以降低微机电系统的磨损,提高微机电系统的使用寿命。

    一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法

    公开(公告)号:CN102503155A

    公开(公告)日:2012-06-20

    申请号:CN201110392803.2

    申请日:2011-12-01

    IPC分类号: C03C15/00 B81C1/00 B82Y40/00

    摘要: 一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法,主要应用于玻璃表面微纳米结构的加工。其具体操作方法是:将尖端为球状的探针安装在原子力显微镜上,将清洗过的玻璃固定在样品台上,启动原子力显微镜,给探针施加定载荷F或者变载荷F′,并使探针沿着设定的扫描轨迹,循环次数N和扫描速率v在玻璃表面进行扫描;扫描后将玻璃置于质量浓度为10-20%的HF溶液中,腐蚀5-10秒,即可。该方法不需要模版或掩膜,单次腐蚀就能在玻璃表面加工斜面、台阶、阵列等三维纳米图案;其加工流程极其简便,腐蚀速率极快,是一种简单、精确、高效的玻璃表面的纳米加工方法。

    一种源于石墨烯边缘的微纳结构扫描探针加工方法

    公开(公告)号:CN111060720B

    公开(公告)日:2021-09-28

    申请号:CN201911364182.X

    申请日:2019-12-26

    IPC分类号: G01Q70/16 B81C1/00 B82Y40/00

    摘要: 本发明公开一种源于石墨烯边缘的微纳结构扫描探针加工方法,应用于石墨烯微纳加工领域,针对现有技术不能完全满足对未来柔性器件的高可靠,高稳定和低成本的极限加工要求;本发明选用具有较强表面化学活性的探针作为加工工具,按照设定加工轨迹从石墨烯边缘向内部进行刻划加工,利用刻划加工过程中探针与石墨烯边缘碳原子之间的摩擦化学反应,在低于石墨烯机械破坏强度的低接触压力下去除接触区域碳原子,采用本发明方法加工的微纳结构的机械和电学性能与石墨烯基体一致。

    一种基于原子力显微镜的旋转样品台装置

    公开(公告)号:CN109917156B

    公开(公告)日:2020-07-10

    申请号:CN201910257419.8

    申请日:2019-04-01

    IPC分类号: G01Q60/24

    摘要: 本发明公开一种基于原子力显微镜的旋转样品台装置,其包括:顶盖、薄环体、底座、销钉和弹簧片,底座固定于原子力显微镜置物台,多片薄环体与底座固定连接,顶盖与薄环体、底座形状配合,通过转动顶盖带动样品自由旋转,弹簧片依次拨过不同的凸齿,实现精确的小角度的转动,销钉、弹簧提供定位的辅助功能;该装置能够适用于原子力显微镜狭小低矮的样品放置空间,在尺寸、重量严格受限的情况下,给样品提供一个额外的旋转角度标尺,并具有自锁功能,在不影响显微镜正常工作的前提下,增添原子力显微镜的功能,拓展它的运用场合与研究范围。

    基于微悬臂投影的光电式加速度传感器

    公开(公告)号:CN106093469A

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201610382181.8

    申请日:2016-06-01

    IPC分类号: G01P15/093

    CPC分类号: G01P15/093

    摘要: 一种基于微悬臂投影的光电式加速度传感器,包括不透明的矩形壳体(9)、封装在矩形壳体(9)底部的芯片和矩形壳体(9)侧壁上部固定的光源(8);其中,所述的芯片依次由基底(1)、下绝缘材料层(2)、光敏材料层(3)、微悬臂结构层(5)组成;其特征在于:所述的微悬臂结构层(5)的中部和上绝缘材料层(4)的中部为贯通的矩形空腔;空腔内的矩形质量块(7a)通过条状的微悬梁(7b)连接在微悬臂结构层(5)的空腔壁上构成异形微悬臂;且矩形质量块(7a)在微悬梁(7b)方向的长度小于或等于矩形空腔在微悬梁(7b)方向的长度的1/2。其灵敏度高、分辨率高、响应快、可靠性强、寿命长;且结构简单,体积小,成本低,易于批量化生产。