公开(公告)号：CN104160336A

公开(公告)日：2014-11-19

申请号：CN201380013041.8

申请日：2013-03-07

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 川岛正行 ,  高桥秀幸 ,  古川丰

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/023

CPC classification number: G03F7/023 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/0757

Abstract: 本发明提供正型感光性树脂组合物、以及提供使用该树脂组合物形成的分隔壁、和光学元件，所述正型感光性树脂组合物能够制造拒墨性优异、即使经过紫外线/臭氧照射处理拒墨性也优异、且点中残留物少的分隔壁，所述正型感光性树脂组合物具有充分的储藏稳定性。正型感光性树脂组合物、使用该树脂组合物形成的分隔壁和光学元件，所述正型感光性树脂组合物的特征在于，其为包含碱可溶性树脂(A)、光敏剂(B)和拒墨剂(C)的正型感光性树脂组合物，前述拒墨剂(C)由包含含氟水解性硅烷化合物的混合物的部分水解缩合物形成，前述水解性硅烷化合物中的氟原子的含有比率为10～55质量％。

公开(公告)号：CN102656519B

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201080056409.5

申请日：2010-12-27

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 川岛正行 ,  高桥秀幸 ,  石关健二 ,  山田光太郎

IPC: G03F7/038 ,  G02B5/20 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  H01L51/50 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22

CPC classification number: G03F7/0007 ,  G02B5/201 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/033 ,  G03F7/0388 ,  H01L27/3246 ,  H01L27/3283

Abstract: 本发明提供可以形成具有足够的拒液性的同时没有显影缺陷、经过显影工序也具有拒液性良好的上表面的间隔壁且间隔壁侧面的亲液性良好，并能够形成油墨容易浸润扩散的开口部的感光性组合物。所述感光性组合物的特征在于，至少包含聚合物、光聚合引发剂以及含酸性基团和乙烯性双键的感光性树脂，所述聚合物具有含以式(1):-CFXRf…(1)表示的基团的侧链、含以式(2):-(R11-O)n-R12…(2)表示的基团的侧链和含乙烯性双键的侧链；X表示氢原子、氟原子或三氟甲基，Rf表示可含醚性氧原子的碳数1～20的氟代烷基或氟原子，R11表示碳数1～5的亚烷基，R12表示碳数1～4的烷基，n表示6～30的整数。

公开(公告)号：CN103765314A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201280042624.9

申请日：2012-08-27

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 川岛正行 ,  高桥秀幸 ,  古川丰 ,  山田光太郎

IPC: G03F7/075 ,  G02B5/20 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  H01L51/50 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22

CPC classification number: G02B5/201 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/027 ,  G03F7/031 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0388 ,  G03F7/0757 ,  H01L27/3246

Abstract: 提供一种负型感光性树脂组合物、使用其得到的分隔壁、光学元件，所述负型感光性树脂组合物的拒墨性良好，能够制造即使经过紫外线/臭氧照射处理也保持该拒墨性的分隔壁，进而在制造分隔壁时，对于使用其形成涂膜并干燥得到的膜而言，还兼具膜厚均匀而无不均、在膜表面不产生凝集物的良好涂覆性。一种负型感光性树脂组合物以及由其固化膜形成的分隔壁，所述负型感光性树脂组合物特征在于，其包含碱可溶性树脂（A）、光聚合引发剂（B）、拒墨剂（C）以及溶剂（D），拒墨剂（C）包含含氟硅烷化合物，溶剂（D）以相对于溶剂（D）的总量为10～100质量%的比率包含沸点为165～210℃的溶剂（D1），所述分隔壁形成为将基板表面分隔成多个分区的形态。

公开(公告)号：CN103502888A

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：CN201280020872.3

申请日：2012-04-19

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 高桥秀幸

IPC: G03F7/031 ,  G02B5/20 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/075 ,  H01L51/50 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22

CPC classification number: G02B5/201 ,  G02F1/133516 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/031 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0388 ,  G03F7/0757

Abstract: 本发明提供一种拒墨性良好且掩膜的线宽的重现良好的负型感光性树脂组合物和使用该组合物而得到的均质的分隔壁。一种负型感光性树脂组合物，其特征在于，其含有拒墨剂（A）、光聚合引发剂（B）以及碱可溶性树脂（C），所述拒墨剂（A）具有包含-CFXRf[X为氢原子、氟原子或三氟甲基，Rf为可以具有醚性氧原子的碳原子数20以下的、氢原子的至少1个被氟原子取代的氟烷基、或氟原子]或-（SiR1R2-O）n-SiR3R4R5[R1、R2、R3、R4为氢原子、烷基、环烷基或芳基，R5为氢原子或碳原子数1～10的有机基，n为1～200的整数]的侧链，所述聚合引发剂（B）为1分子内具有硝基的肟酯化合物。

公开(公告)号：CN100524021C

公开(公告)日：2009-08-05

申请号：CN200480005924.5

申请日：2004-03-04

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 高桥秀幸 ,  石関健二

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/004 ,  C08F8/00 ,  C08F290/12

Abstract: 感光性树脂组合物，该组合物含有树脂(A1)、自由基引发剂(B)和碱溶性的感光性树脂(D)，上述树脂(A1)具有含氟原子的基团和含硅原子的基团及乙烯性双键，上述感光性树脂(D)在分子内具有3个或3个以上的乙烯性双键。另一感光性树脂组合物含有树脂(A2)、树脂(A3)、自由基引发剂(B)和碱溶性的感光性树脂(D)，上述树脂(A2)具有含氟原子的基团和乙烯性双键，上述树脂(A3)具有含硅原子的基团和乙烯性双键，上述感光性树脂(D)在分子内具有3个或3个以上的乙烯性双键。