公开(公告)号：CN104423168B

公开(公告)日：2018-11-30

申请号：CN201410421017.4

申请日：2014-08-25

申请人： 奇美实业股份有限公司

发明人： 刘骐铭 ,  施俊安

IPC分类号： G03F7/039 ,  G03F7/008 ,  G03F7/004 ,  G03F7/00 ,  G02F1/1368

CPC分类号： G03F7/0757 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0236

摘要： 本发明是有关一种正型感光性树脂组成物及其图案形成方法。该正型感光性树脂组成物包含酚醛清漆树脂(A)、聚硅氧烷(B)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(C)及溶剂(D)。上述酚醛清漆树脂(A)包含二甲酚型酚醛清漆树脂(A‑1)，且该二甲酚型酚醛清漆树脂(A‑1)由醛类化合物与二甲酚类化合物聚缩合而得。

公开(公告)号：CN105022228B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201510218992.X

申请日：2015-04-30

申请人： 住友电木株式会社

发明人： 田中裕马

IPC分类号： G03F7/016 ,  G03F7/004 ,  G03F7/09

CPC分类号： G03F7/0236 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0047 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/038 ,  H05K3/287 ,  H05K2201/0989

摘要： 本发明的感光性树脂材料为一种用于形成永久膜的感光性树脂材料，其含有作为碱可溶性树脂(A)的选自酚醛清漆型酚醛树脂、酚芳烷基树脂及羟基苯乙烯树脂中的一种或二种以上和作为感光剂(B)的感光性重氮醌化合物，通过无火焰原子吸光分析所测得的、铁相对于不挥发成分整体的含量为0.005ppm以上80ppm以下，作为所述铁，含有非离子性的铁。

公开(公告)号：CN103424989B

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201310163929.1

申请日：2013-05-07

申请人： 奇美实业股份有限公司

发明人： 陈凯民 ,  施俊安

IPC分类号： G03F7/039 ,  G02F1/136

CPC分类号： H01L29/786 ,  C08G8/24 ,  G03F7/0085 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/20 ,  G03F7/38 ,  H01L21/02107 ,  H01L27/1288

摘要： 本发明有关一种正型感光性树脂组合物及其应用。该正型感光性树脂组合物包含：酚醛清漆树脂A；邻萘醌二迭氮磺酸类的酯化物B；染料C；及溶剂D；该酚醛清漆树脂A由甲酚类芳香族羟基化合物与醛类化合物聚缩合而得，基于凝胶渗透色层分析法所测得的酚醛清漆树脂A分子量的积分面积为100%，酚醛清漆树脂A中的甲酚二核体面积为0.5%至6%；染料C包含染料C-1及染料C-2，染料C-1选自由双偶氮系染料、蒽醌系染料及三价铬偶氮系染料所组成的群；染料C-2为三芳甲烷系染料。本发明的正型感光性树脂组合物具有蚀刻后颜色不脱落的优点。本发明还提供一种薄膜晶体管数组基板的制造方法、一种薄膜晶体管数组基板及一种液晶显示组件。

公开(公告)号：CN105022228A

公开(公告)日：2015-11-04

申请号：CN201510218992.X

申请日：2015-04-30

申请人： 住友电木株式会社

发明人： 田中裕马

IPC分类号： G03F7/016 ,  G03F7/004 ,  G03F7/09

CPC分类号： G03F7/0236 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0047 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/038 ,  H05K3/287 ,  H05K2201/0989

摘要： 本发明的感光性树脂材料为一种用于形成永久膜的感光性树脂材料，其含有作为碱可溶性树脂(A)的选自酚醛清漆型酚醛树脂、酚芳烷基树脂及羟基苯乙烯树脂中的一种或二种以上和作为感光剂(B)的感光性重氮醌化合物，通过无火焰原子吸光分析所测得的、铁相对于不挥发成分整体的含量为0.005ppm以上80ppm以下，作为所述铁，含有非离子性的铁。

公开(公告)号：CN103186047B

公开(公告)日：2015-08-12

申请号：CN201210331594.5

申请日：2012-09-07

申请人： 第一毛织株式会社

发明人： 尹银卿 ,  黄银夏 ,  李种和 ,  权志伦 ,  金大润 ,  金上权 ,  金相均 ,  金尚洙 ,  卢健培 ,  李俊昊 ,  李珍泳 ,  赵显龙 ,  洪忠范

IPC分类号： G03F7/039 ,  H01L51/54

CPC分类号： G03F7/0226 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/0755 ,  G03F7/085 ,  Y10S430/107

摘要： 本申请公开了一种正型光敏树脂组合物和使用其的显示器件及有机发光器件。该正型光敏树脂组合物，包括（A）选自聚苯并噁唑前体、聚酰亚胺前体及其组合的碱性可溶解树脂，（B）光敏性的二氮醌（diazoquinone）化合物，（C）下列化学式1代表的化合物，和（D）溶剂，以及使用其的显示器件和有机发光器件。化学式1与具体实施方式中的限定的是相同的。[化学式1]

公开(公告)号：CN104698756A

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201410716972.0

申请日：2014-12-01

申请人： 奇美实业股份有限公司

发明人： 刘骐铭 ,  施俊安

IPC分类号： G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  G02F1/1368

CPC分类号： G03F7/0233 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0388 ,  G03F7/039 ,  G03F7/40

摘要： 本发明提供一种正型感光性树脂组合物、图案形成方法、薄膜晶体管阵列基板以及液晶显示元件。一种正型感光性树脂组合物，包括：酚醛清漆树脂(A)、碱可溶性树脂(B)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(C)以及溶剂(D)。上述碱可溶性树脂(B)包含第一碱可溶性树脂(B-1)，其是由混合物进行聚合反应所制得；上述混合物包含环氧化合物(i)以及化合物(ii)。上述环氧化合物(i)具有至少二个环氧基，且上述化合物(ii)具有至少一个羧酸基及至少一个乙烯性不饱和基。

公开(公告)号：CN103384850B

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：CN201280010407.1

申请日：2012-04-10

申请人： DIC株式会社

发明人： 今田知之 ,  鹿毛孝和 ,  今泉规史

IPC分类号： G03F7/023 ,  C08G8/20 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/039 ,  C08G8/08 ,  C08G8/12 ,  C08G8/20 ,  C08L61/06 ,  C08L2205/02 ,  C09D161/06 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0236

摘要： 本发明的目的在于，提供显影性及耐热性优异的正型光致抗蚀剂组合物和使用其的涂膜，提供一种正型光致抗蚀剂组合物，其相对于100质量份甲酚酚醛清漆树脂(A)含有3～80质量份的酚醛清漆型酚醛树脂(B)，树脂(B)具有式(1)〔式中，R为氢原子或碳原子数1～12的烃基。X为式(2)(式中，R1、R2、R3分别独立地为氢原子、碳原子数1～8的烷基。m和n分别独立地为1～4的整数，p为0～4的整数。t为1或2)所示的结构(x1)、或结构(x1)以外的芳香族烃基(x2)。〕所示的结构单元作为重复单元，前述结构(x1)相对于结构(x1)和结构(x2)的总数的含有率为85%以上。

公开(公告)号：CN103135354A

公开(公告)日：2013-06-05

申请号：CN201210272274.7

申请日：2012-08-01

申请人： 第一毛织株式会社

发明人： 郑知英 ,  李珍泳 ,  李种和 ,  赵显龙 ,  金尚洙 ,  尹银卿 ,  李俊昊 ,  车明焕 ,  黄银夏

IPC分类号： G03F7/039 ,  G03F7/016 ,  G02F1/1333 ,  H01L23/29

CPC分类号： G03F7/0236 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0751 ,  H01L23/293 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： 本发明涉及正型光敏树脂组合物、由其制造的光敏树脂膜及含有该光敏树脂膜的半导体装置。本发明公开了正型光敏树脂组合物，其包括(A)含有第一聚苯并噁唑前体的聚苯并噁唑前体，该第一聚苯并噁唑前体包含化学式1所示重复单元和化学式2所示重复单元，在至少一个末端具有可热聚官能团；(B)含有酚醛树脂的溶解控制剂，该酚醛树脂包含化学式4所示重复单元；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；(E)产酸剂；以及(F)溶剂；本发明还公开了用该正型光敏树脂组合物制成的光敏树脂膜以及含有该光敏树脂膜的半导体装置。该正型光敏树脂组合物具有优异的灵敏度、分辨率、图案成形性能、残余物去除性能和可靠性。

公开(公告)号：CN101501570B

公开(公告)日：2012-07-25

申请号：CN200780029153.7

申请日：2007-08-02

申请人： 东友精化股份有限公司

发明人： 成始震 ,  李相行 ,  金相泰

IPC分类号： G03F7/004

CPC分类号： G03F7/0236

摘要： 一种光刻胶组成物，该组成物具有理想的光感度、解析度、残膜率(residual film ratio)及涂布特性等物理性质，且因其具有绝佳的光透射率，而可在一半导体工艺或一平面显示器工艺中，利用波长为248nm(氟化氪)或更短的光源，来形成具有理想的显影轮廓及聚焦深度(Depth ofFocus)的图案，即使该光刻胶组成物应用于一非化学增幅型光刻胶。该光刻胶组成物包括一酚醛型树脂(novolac-based resin)A、一光感剂(photosensitizer)B及一具有低吸光度的低分子物质C，该具有低吸光度的低分子物质在248nm、193nm和157nm的一或多种光源波长时的吸光度低于该酚醛型树脂的吸光度，且该光刻胶组成物是在光源波长为248nm或更短时被使用。

公开(公告)号：CN102520583A

公开(公告)日：2012-06-27

申请号：CN201110317143.1

申请日：2003-03-28

申请人： AZ电子材料日本株式会社

发明人： S·F·瓦纳特 ,  R·R·普拉斯 ,  J·E·奥伯兰德 ,  D·麦肯齐

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  G03F7/00

CPC分类号： G03F7/0048 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/0382 ,  G03F7/0392 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111

摘要： 本发明公开了一种光刻胶组合物，其包含：a)至少一种选自线性酚醛清漆树脂和聚羟基苯乙烯的成膜树脂；b)至少一种光活性化合物或光酸产生剂；和c)包含至少一种选自缩醛和缩酮的溶剂的溶剂组合物。还公开了一种包含聚碳酸酯树脂和溶剂组合物的光刻胶组合物，所述溶剂组合物包含至少一种选自缩醛和缩酮的溶剂。还公开了一种用于将光刻胶组合物成像的方法，其包括如下步骤：a)用任何一种前述光刻胶组合物涂覆基材；b)烘烤基材以基本上去除溶剂；c)成像式照射光刻胶膜；和d)用合适的显影剂去除涂覆基材的成像式曝光或未曝光区域。