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公开(公告)号：CN114813870B
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202210547108.7
申请日：2022-05-19
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开了一种电化学葡萄糖传感器电极及其制备方法，以石墨烯纤维(GF)为基底，以Au和Ni(OH)2为无酶葡萄糖催化剂的葡萄糖传感器电极。制备时，采用水热法制备石墨烯纤维，采用电化学沉积的方法制备GF/Au/Ni(OH)2电极。本发明的葡萄糖传感器底层的石墨烯纤维优异的电导率能够保证电荷的快速转移和传输，外部的Au和Ni(OH)2表现出高催化活性和低生物毒性,还能起到协同催化的作用，使其具有优越的葡萄糖传感器性能。解决了现有技术中葡萄糖传感器导电率低，柔性差的问题。
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公开(公告)号：CN114993498A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210720167.X
申请日：2022-06-23
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开了一种基于石墨烯复合纤维的温度探测器及其制备方法，属于温度探测领域，利用耐高温成型管作为氧化石墨烯溶液成型结构，热成型形成氧化石墨烯纤维，同时通过掺杂尿素颗粒可以有效地对纤维进行改性，掺氮的石墨烯纤维成功地从p型转变成了n型，即可简单的制备得到两组热电材料，通过在柔性基底上设置多组热电偶组，将多组热电偶组串联，合成了具有高灵敏度和高灵活性的柔性可穿戴温度探测器；采用p型热电材料和n型热电材料的热端连接形成热电偶组，形成良好的热电性能，制备方法简便、经济高效、成本低，可实现量产，同时具有良好的机械柔韧性和可编织性，便于和纺织品集成，在人体体温监测等医疗保健领域具有非常重要的应用价值。
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公开(公告)号：CN110530313B
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN201910683553.4
申请日：2019-07-26
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： G01B21/04 , B24B1/00 , B24B37/04 , C23C16/455 , C23C16/56
摘要： 本发明提供的一种跨量级多尺度线宽标准器的制备方法，包括以下步骤：步骤1，利用原子层沉积法在洁净的衬底上沉积两种或者两种以上材料形成的纳米叠层薄膜；步骤2，将步骤1中得到的纳米叠层薄膜依次进行膜面对粘、加热固化，之后得到固化样品；步骤3，将步骤2中得到的固化样品依次进行机械减薄、机械抛光，得到抛光样品；步骤4，将步骤3中得到的抛光样品依次进行离子减薄、离子抛光，最终得到跨量级多尺度线宽标准器；本发明突破了传统光刻+刻蚀技术无法加工的极小特征尺寸，又可实现不同量级、不同尺度线宽特征尺寸在同一线宽样板上面的集成，实现一块线宽样板满足不同尺度，不同领域的要求。
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公开(公告)号：CN110793433A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201910920159.8
申请日：2019-09-26
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： G01B11/00
摘要： 本发明公开了一种在线校准晶圆微纳米台阶高度标准样板及其循迹方法，用于实现在线校准，样板包括中心工作区域及第一、第二循迹区域；通过所述微纳米台阶高度标准样板的第一循迹区域和第二循迹区域内的等腰三角形循迹标识的指向配合设计单位标识确定样板的摆放方向与中心工作区域位置；通过所述中心工作区域内台阶结构左右两侧区域设置的四种循迹定位参考图形快速定位台阶结构位置，通过台阶结构两边对称设置的校准定位块快速定位台阶测量位置，完成整个定位过程。该样板上的台阶结构是在晶圆片上直接制备，并且台阶测量区域可通过循迹标记快速定位，因此该发明实现了对微电子集成电路产线中纳米测量仪器的在线溯源校准工作，大大提高了仪器校准效率。
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公开(公告)号：CN106908163B
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201710100935.0
申请日：2017-02-23
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： G01K7/02
摘要： 本发明公开了一种高灵敏薄膜热电偶传感器芯片及其制作方法，包括壳体，壳体内部设置放置合金薄膜的腔体和放置石墨烯的环形孔；环形孔位于腔体外周；腔体内设有一层合金薄膜制成薄膜热电偶，环形孔内设有石墨烯；壳体包括三段：测试探头、中间圆台和引线端。本发明通过设计新的传感器结构，能够能在动态高温温度场下长时间测量温度信号，通过强制换热效果使热电偶薄膜的冷端与热端建立大散热梯度，从而增强薄膜热电偶灵敏度，具有高灵敏、微型化、耐高温、防氧化、高塞贝克系数、适用于的动态测试的特性，并同时解决了现有技术中存在的解决动态高温温度场测试环境中薄膜热电偶冷端温度过高，导致灵敏度低的问题。
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公开(公告)号：CN106908163A
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201710100935.0
申请日：2017-02-23
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： G01K7/02
CPC分类号： G01K7/02
摘要： 本发明公开了一种高灵敏薄膜热电偶传感器芯片及其制作方法，包括壳体，壳体内部设置放置合金薄膜的腔体和放置石墨烯的环形孔；环形孔位于腔体外周；腔体内设有一层合金薄膜制成薄膜热电偶，环形孔内设有石墨烯；壳体包括三段：测试探头、中间圆台和引线端。本发明通过设计新的传感器结构，能够能在动态高温温度场下长时间测量温度信号，通过强制换热效果使热电偶薄膜的冷端与热端建立大散热梯度，从而增强薄膜热电偶灵敏度，具有高灵敏、微型化、耐高温、防氧化、高塞贝克系数、适用于的动态测试的特性，并同时解决了现有技术中存在的解决动态高温温度场测试环境中薄膜热电偶冷端温度过高，导致灵敏度低的问题。
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公开(公告)号：CN103344688A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310251429.3
申请日：2013-06-24
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： G01N27/327
摘要： 一种圆柱阵列形跨尺度葡萄糖传感器用工作电极及其制备方法。将普通多模光纤包层剥去并抽出光纤纤芯，基于磁控溅射工艺将Au膜沉积在光纤纤芯表面；将多根沉积有Au膜的光纤纤芯在玻璃基板上紧密排列，并用银粉导电胶将其固定，形成具有微米级圆柱阵列形结构的电极基底；基于水浴法在沉积有Au膜的光纤纤芯阵列上生长ZnO纳米线，形成圆柱阵列形跨尺度结构的纳米级表面，用来增大GOD的吸附面积，从而大幅度提高基于三电极体系的跨尺度葡萄糖传感器用工作电极的催化效率。
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公开(公告)号：CN103063720A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201310000633.8
申请日：2013-01-05
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： G01N27/327
摘要： 一种基于ZnO纳米线的跨尺度葡萄糖传感器用电极及其制备方法，包括作为基底的光纤纤芯，以螺旋线方式绕制在光纤纤芯上的键合金丝，其中键合金丝分为螺旋线部分和引线部分，采用水热法沿螺旋线部分的螺旋线表面法线方向生长的ZnO纳米线，固定在ZnO纳米线上的葡萄糖氧化酶。本发明将键合金丝绕制在圆柱型光纤纤芯上，形成螺旋线阵列结构，其次在键合金丝的螺旋线部分基于水浴法生长ZnO纳米线，形成微纳米跨尺度结构，用来增大葡萄糖氧化酶的吸附面积；在上述跨尺度结构的基础上，通过改善ZnO纳米线的工艺参数以形成特定的随机粗糙表面，用于增强缓冲液在螺旋线形电极上的吸附和葡萄糖氧化酶在电极上的固定等效果，从而大幅提高葡萄糖传感器用电极的催化效率。
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公开(公告)号：CN100370245C
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：CN200510096451.0
申请日：2005-12-01
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开了一种超微环电极及其制备方法。首先，它是将裸光纤作为超微环电极的丝状绝缘基底，采用射频磁控溅射工艺在光纤丝状表面上沉积上一层金薄膜作为电极薄膜；接着，采用等离子体增强化学气相沉积工艺在金薄膜上再沉积氧化硅薄膜作为电极的绝缘薄膜；然后，用氢氟酸将同时被覆金薄膜和氧化硅薄膜的光纤一端的氧化硅薄膜腐蚀掉，使得该段光纤只被覆有金薄膜；采用银粉导电胶将该段光纤和铜引线相连；最后，将超微环电极的铜引线部分组装到塑料套筒内，采用光纤刀笔在被覆金薄膜和氮化硅薄膜的光纤的另一端切割出超微环电极表面。
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