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公开(公告)号：CN112114285A
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN202011039583.0
申请日：2020-09-28
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本申请实施例提供一种包含多种校准类型的晶圆标准样板及其制作方法，属于微纳米级精密测量技术领域。包括：基底，所述基底上设置有指引区域与校准区域；所述指引区域包括：指引图案与至少两个凹坑；所述校准区域包括：与每个凹坑配套的标准样板，所述标准样板安装于所述凹坑上；所述指引图案设置于所述凹坑周围，用于在测量仪器对所述标准样板进行定位时，对所述测量仪器的定位起到指示作用。使用本申请提供的包含多种校准类型的晶圆标准样板及其制作方法，可以在保证校准精度的同时，提高校准效率。
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公开(公告)号：CN114279632A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202210045534.0
申请日：2022-01-15
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L25/00
Abstract: 本发明公开了一种三维力传感器三维力加载标定装置及方法，在力加载杆穿过直线轴承，直线轴承被竖直固定在支架上，在力加载杆上放置砝码，力加载杆会向三维力传感器施加一个竖直方向的力，施加力的大小F为砝码与力加载杆的质量和，该力作用在装在斜台上的传感器上，通过调整施加砝码的重量以及斜台的角度即可调整施加三维力的大小和方向。本发明三维力传感器三维力加载及标定装置，以施加砝码的质量作为所施加三维力大小的控制量，以斜台上斜面与竖直方向的夹角作为所施加三维力方向的控制量，可以对三维力传感器很方便地实现不同角度与大小的三维力的加载与标定作业，避免了复杂的三维力加载与标定的装置，操作简便，测试成本低。
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公开(公告)号：CN114279631A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202210045531.7
申请日：2022-01-15
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L25/00
Abstract: 本发明公开了一种三维力传感器切向力加载及标定装置及方法，利用传感器压板将三维力传感器沿法向压在力加载杆上，通过两个直线轴承与轴向定位板限制力加载杆只能沿竖直方向移动；通过在力加载杆上方不同重量的砝码实现不同大小切向力的加载，通过调整传感器与竖直方向的夹角，实现不同方向切向力的加载，从而实现三维力传感器的切向力加载与标定，本发明采用简单的砝码，不需要精确地位移控制与力的测量即可实现切向力的加载与标定，使用简单方便，测试成本低，三维力传感器的安装角度可以与重力方向呈任意角度θ，从而实现任意角度切向力的施加。
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公开(公告)号：CN110793433B
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN201910920159.8
申请日：2019-09-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种在线校准晶圆微纳米台阶高度标准样板及其循迹方法，用于实现在线校准，样板包括中心工作区域及第一、第二循迹区域；通过所述微纳米台阶高度标准样板的第一循迹区域和第二循迹区域内的等腰三角形循迹标识的指向配合设计单位标识确定样板的摆放方向与中心工作区域位置；通过所述中心工作区域内台阶结构左右两侧区域设置的四种循迹定位参考图形快速定位台阶结构位置，通过台阶结构两边对称设置的校准定位块快速定位台阶测量位置，完成整个定位过程。该样板上的台阶结构是在晶圆片上直接制备，并且台阶测量区域可通过循迹标记快速定位，因此该发明实现了对微电子集成电路产线中纳米测量仪器的在线溯源校准工作，大大提高了仪器校准效率。
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公开(公告)号：CN111547675A
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN202010323012.3
申请日：2020-04-22
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性电子器件、微结构柔性电极及其制备方法，包括柔性衬底，所述柔性衬底的上表面设置有若干分割条，每个所述分割条呈倒V形状，每个所述分割条的两侧分别设置有电极单元；每个所述分割条的顶部至所述柔性衬底上表面的距离大于所述电极单元的厚度；记每个所述分割条及其两侧的所述电极单元用于与柔性电子器件接触的区域为被覆盖区域，则每个所述分割条的两端均超出其对应的所述被覆盖区域。本发明可以使用成本较低、技术成熟且粘结性好的各向同性导电胶进行粘接，能够避免相邻电极之间的短路问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118816695A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202410859445.9
申请日：2024-06-28
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明属于应变传感器技术领域，具体涉及一种高温薄膜型应变传感器，包括基底和应变敏感栅，所述应变敏感栅包括氧化铟锡层和铂层，所述氧化铟锡层沉积在所述基底上，所述铂层沉积在所述氧化铟锡层上，所述氧化铟锡层中含有氧化铟的质量分数为50％，氧化锡的质量分数为50％。本发明提供的一种高温薄膜应变传感器可以在常温到500℃下使用，在500℃高温条件下有极高的灵敏度。不同于常规金属箔式应变片几微米的厚度，高温薄膜应变栅厚度为500nm，能较好地传递被测物体在高温下的应变。
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公开(公告)号：CN111547675B
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202010323012.3
申请日：2020-04-22
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性电子器件、微结构柔性电极及其制备方法，包括柔性衬底，所述柔性衬底的上表面设置有若干分割条，每个所述分割条呈倒V形状，每个所述分割条的两侧分别设置有电极单元；每个所述分割条的顶部至所述柔性衬底上表面的距离大于所述电极单元的厚度；记每个所述分割条及其两侧的所述电极单元用于与柔性电子器件接触的区域为被覆盖区域，则每个所述分割条的两端均超出其对应的所述被覆盖区域。本发明可以使用成本较低、技术成熟且粘结性好的各向同性导电胶进行粘接，能够避免相邻电极之间的短路问题。
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公开(公告)号：CN110646639A
公开(公告)日：2020-01-03
申请号：CN201910877455.4
申请日：2019-09-17
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 发明涉及一种纳米测量仪器校准用标准样板及其制备方法，利用原子层沉积工艺在基底表面沉积一层的Al2O3薄膜；再在Al2O3薄膜表面旋涂光刻胶，并进行烘干；利用电子束直写的方式对光刻胶进行曝光操作，曝光图案为纳米测量仪器校准用标准样板中校准结构在x方向和y方向对应的图案；在显影液中进行显影，然后进行后烘；去除显影部位残余的光刻胶；采用腐蚀方法去除未被光刻胶覆盖的Al2O3薄膜；去除表面的剩余光刻胶；进行烘干得到所述纳米测量仪器校准用标准样板。本发明能够实现对校准结构的三维尺寸精度的纳米级控制，同时解决了一次性校准原子力显微镜x、y、z轴的问题，提高了校准效率。
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公开(公告)号：CN114279632B
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202210045534.0
申请日：2022-01-15
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L25/00
Abstract: 本发明公开了一种三维力传感器三维力加载标定装置及方法，在力加载杆穿过直线轴承，直线轴承被竖直固定在支架上，在力加载杆上放置砝码，力加载杆会向三维力传感器施加一个竖直方向的力，施加力的大小F为砝码与力加载杆的质量和，该力作用在装在加载台上的传感器上，通过调整施加砝码的重量以及加载台的角度即可调整施加三维力的大小和方向。本发明三维力传感器三维力加载及标定装置，以施加砝码的质量作为所施加三维力大小的控制量，以加载台上斜面与竖直方向的夹角作为所施加三维力方向的控制量，可以对三维力传感器很方便地实现不同角度与大小的三维力的加载与标定作业，避免了复杂的三维力加载与标定的装置，操作简便，测试成本低。
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