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公开(公告)号：CN118371417A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410023123.0
申请日：2024-01-08
申请人： 通用电气精准医疗有限责任公司
摘要： 提供了用于换能器探头的电声模块(400)的各种方法和系统。在一个示例中，电声模块可以包括声学叠层(300)和通过具有扇出架构的互连件(302)电耦合到声学叠层的至少一个专用集成电路(ASIC)(304)。电声模块可以具有在至少一个或者方位角(103)和仰角(105)方向上与电声模块的总尺寸(408)基本相等的有效孔径(406)。
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公开(公告)号：CN118341665A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410626520.7
申请日：2024-05-20
申请人： 武汉友讯达科技有限公司
摘要： 本申请公开了一种气体超声换能器压电层的制作方法、气体超声换能器及其制作方法。其中，气体超声换能器匹配层的制作方法包括：将压电晶片放入划片机中，在压电晶片的一面上进行切割形成切割缝，并在切割缝中填充聚合物，对压电晶片的另一面进行研磨，形成压电复合片材；在压电复合片材上镀上电极，使压电复合片材导通；将导通后的压电复合片材放入划片机中，使用划片机将压电复合片材的正负极分开，形成压电层。本申请将压电复合片材的正极和负极镀到同一面，再将正负极通过划片机切割进行分割，使压电复合片材的正负极不相通，便于后续与电路板连接，可直接将压电复合片材的信号通过电路板向外引出，能够提高换能器的宽带，提升换能器的性能。
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公开(公告)号：CN118341664A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410620074.9
申请日：2024-05-17
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方技术开发有限公司
IPC分类号： B06B1/06
摘要： 本发明涉及集成器件，具体提供一种集成器件和制备方法，所述集成器件，包括：衬底；设置在所述衬底上的驱动电路层；设置在所述驱动电路层上的功能结构，包括靠近所述驱动电路层的第一电极、远离所述驱动电路层的第二电极以及设置在第一电极和第二电极之间的功能层结构，其中所述第一电极通过所述驱动电路层给电；设置在所述驱动电路层上的电容微机械超声换能器结构，包括靠近所述驱动电路层的第三电极、远离所述驱动电路层的第四电极、位于所述功能结构上方的顶壁绝缘结构以及侧壁绝缘结构。本发明实现电容微机械超声换能器和功能结构的集成，适用于不同应用场景。
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公开(公告)号：CN118341662A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410482652.7
申请日：2024-04-22
申请人： 中国科学技术大学 , 北京智芯微电子科技有限公司
IPC分类号： B06B1/06
摘要： 提供一种耦合增强压电微机械超声换能器及其制备方法，包括：衬底，设置有多个空腔；弹性层，制备于衬底上；压电层，采用具有各向异性的压电材料制备于弹性层上，与弹性层共同组成振膜结构；金属电极层，制备于压电层上，金属电极层包括多根主电极条，形成叉指电极结构，并且由每根主电极条引出多根分支电极条，以在相邻的主电极条组成的叉指电极对之间形成多个分别与多个空腔上下对应的电极阵元；在对叉指电极对输入不同的激励电信号时，电极阵元中的主电极条和分支电极条能够施加不同方向的耦合电场于压电层，使压电层内部产生内应力从而驱动振膜结构于空腔处发生振动。
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公开(公告)号：CN118341660A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410012443.6
申请日：2024-01-04
申请人： 通用电气精准医疗有限责任公司
IPC分类号： B06B1/06
摘要： 本发明提供了用于多频换能器阵列(1504)的各种方法和系统。在一个示例中，换能器阵列包括由两种或更多种压电材料(304,306)形成的多个元件(308,408,508)，该两种或更多种压电材料具有不同的谐振频率。此外，两种或更多种压电材料可以独立于换能器阵列的切割图案(302,402,502)而取向，切割图案限定多个元件。
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公开(公告)号：CN118341659A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202310064453.X
申请日：2023-01-13
申请人： 天津大学
摘要： 本申请实施例提供一种压电微机械超声换能器、制作方法以及电气产品。所述压电微机械超声换能器制作方法包括：在所述压电微机械超声换能器的衬底的上表面沉积牺牲层，其中，所述衬底的上表面的至少一部分为曲面；通过预设的通道释放所述牺牲层材料至所述压电微机械超声换能器之外。通过本发明所提供的压电微机械超声换能器的制作方法可以精准获取PMUT的空腔尺寸，且依据该方法制作PMUT，不涉及PMUT振膜层从平面结构到曲面结构的转变，不会对PMUT振膜层造成额外应力和变形，进而能够制成均匀性好且性能优异的PMUT。
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公开(公告)号：CN118321128A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410457034.7
申请日：2024-04-16
申请人： 武汉理工大学
IPC分类号： B06B1/00
摘要： 本发明涉及一种基于液态金属纳米颗粒的光致超声换能器及制备方法，该光致超声换能器包括复合薄膜层，或叠层设置的复合薄膜层与衬底；复合薄膜层由液态金属纳米颗粒分散在聚合物中形成；聚合物是由聚合物基底前驱液固化形成；液态金属纳米颗粒和聚合物基底前驱液的质量比为(0.2～0.4):1。本发明采用液态金属纳米颗粒作为光吸收并产生热的基本组分，以聚合物作为基底，受热易膨胀；采用液态金属作原料，可以避免不利的内应力集中，本发明光致超声换能器具有较好的柔性，光热转换效率高，损伤阈值高，能够激发出较高声压，并且在此过程结束后能完全恢复，使器件具有较高的耐用性，延长使用寿命；整体制备工艺简单。
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公开(公告)号：CN115255425B
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202211046033.0
申请日：2022-08-30
申请人： 航天特种材料及工艺技术研究所
摘要： 本发明涉及振动加工技术领域，尤其涉及一种钻镗床分段式远距感应供电振动辅助加工系统。该系统通过感应供电机构为超声振动器供电，并通过滑动伸缩机构能够匹配伸缩主轴的伸缩调整，使感应供电机构具有始终能够供电需要的感应间隙，实现远距感应供电的目的，并且，可以根据需要，通过滑动伸缩机构微调感应间隔隙，使感应供电机构具有较高的供电效率。超声振动器及安装在其上的刀具随伸缩主轴同步移动，超声振动器与刀具之间的距离不发生变化，能够将振动较好的传递至刀具。本实施例的钻镗床分段式远距感应供电振动辅助加工系统，实现了远距感应供电，从而保证振动的传输，使振动加工能够在异形大尺寸构件的加工中得以应用。
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公开(公告)号：CN118317681A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410440861.5
申请日：2024-04-12
申请人： 济南大学
IPC分类号： H10N30/06 , H01L21/027 , B81C1/00 , B06B1/06
摘要： 本发明公开了一种基于三张光刻版解决电极短路问题的压电MEMS换能器制备方法，包括以下步骤：在硅晶圆的上表面由下至上依次制备下电极层、压电薄膜层和上电极层；在硅晶圆的下表面生长绝缘层；分别对硅晶圆上表面、下表面使用光刻板进行第一轮光刻，暴露出上电极和下电极；分别在硅晶圆上、下表面生长Au，镀在上电极表面和下电极表面；分别在硅晶圆上、下表面使用光刻板进行第二轮光刻，上表面刻蚀至压电薄膜层，下表面刻蚀至下电极层。本发明将上下电极分别设置于硅晶圆的上下表面，从根本上避免了器件短路的问题，极大的提高了成品率。同时本发明仅用3张光刻版，整个工艺流程简洁，降低了时间成本及工艺难度，提供了生产效率。
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公开(公告)号：CN114001898B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202111481032.4
申请日：2021-12-06
申请人： 天津航天瑞莱科技有限公司 , 北京强度环境研究所
摘要： 本发明公开了一种多自由度振动试验系统，包括隔振基础平台；隔振基础平台的顶部前后两端分别设置一个底座；每个底座的顶面分别与一个试验件安装块的底面相连；两个试验件安装块，分别与一个试验件的前后两端相连接；试验件的后端与水平向激振块的前端面相连接；水平向激振块的后端面，通过球铰与水平向作动器的前端相连接；水平向作动器的后端，通过球铰与承力支柱的前侧安装面上部相连接；水平向作动器的底部，位于千斤顶顶部的支撑端上；千斤顶的底部与作动器支撑柱顶部相连接；承力支柱和作动器支撑柱的底部连接隔振基础平台的顶部；本发明公开的多自由度振动试验系统，结构设计科学，能够实现对长、细外形产品进行多个自由度的振动试验。
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