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公开(公告)号：CN117922048A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202410146197.3
申请日：2024-02-02
Applicant: 济南大学
Abstract: 本发明提供一种基于湿法纤维缠绕的球形压电换能器预应力定量控制方法，包括根据预期机械抗张应力极限计算压电陶瓷球表面的界面压强和纤维产生的径向力，进而计算出定量施加预应力所需的纤维张力，通过丝嘴和压电陶瓷球壳芯模复合旋转在压电陶瓷球壳表面包覆预应力纤维，最终提高球形压电换能器的输入电功率极限。本发明利用湿法纤维缠绕在压电陶瓷球壳表面包覆纤维层，通过控制纤维张应力实现球形压电换能器预应力的定量控制，具备生产效率高、应力一致性好、适用范围广等优势。
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公开(公告)号：CN114444365A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202210362565.9
申请日：2022-04-08
Applicant: 淄博高新技术产业开发区MEMS研究院 , 济南大学 , 山东超探电子科技有限公司
IPC: G06F30/23 , G06F119/14
Abstract: 本发明属于MEMS执行器技术领域，公开了一种静电驱动微执行器吸合电压的计算方法、系统及存储介质，基于静电场和弹性薄板理论对微机电系统MEMS中的静电型悬臂梁式执行器的吸合现象进行理论分析；借助有限元软件COMSOL完成吸合电压的计算并与实际测试结果进行对比，验证计算模型的可行性；在悬臂梁面积不变的情况下，利用所述模型分析悬臂梁厚度和极板间隙对吸合电压的影响。本发明借助有限元软件COMSOL完成吸合电压的计算并与实际测试结果进行了对比，验证了该计算模型的可行性；利用该模型研究悬臂梁厚度和极板间隙对吸合电压的影响，结果表明厚度和间隙对吸合电压的影响呈非线性规律，可以对后续执行器的设计提供理论依据。
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公开(公告)号：CN116046046B
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202310070815.6
申请日：2023-01-16
Applicant: 济南大学
Abstract: 本发明提供一种利用过热预警机制确定谐振式压电换能器工作功率极限的方法，包括通过阻抗分析仪测量压电换能器的谐振频率，通过搭建压电换能器功率监控系统对输入功率进行实时监测，利用压电换能器功能元件压电陶瓷中心和边缘位置温度的偏差与相对变化速率实现工作功率极限的预警。本发明可以利用温度对压电换能器进行过热预警，进而确定压电换能器的极限工作功率和工作时间，具备设备要求低、方法简单、适用范围广等优势。
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公开(公告)号：CN117922048B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410146197.3
申请日：2024-02-02
Applicant: 济南大学
Abstract: 本发明提供一种基于湿法纤维缠绕的球形压电换能器预应力定量控制方法，包括根据预期机械抗张应力极限计算压电陶瓷球表面的界面压强和纤维产生的径向力，进而计算出定量施加预应力所需的纤维张力，通过丝嘴和压电陶瓷球壳芯模复合旋转在压电陶瓷球壳表面包覆预应力纤维，最终提高球形压电换能器的输入电功率极限。本发明利用湿法纤维缠绕在压电陶瓷球壳表面包覆纤维层，通过控制纤维张应力实现球形压电换能器预应力的定量控制，具备生产效率高、应力一致性好、适用范围广等优势。
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公开(公告)号：CN118019434B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410423837.0
申请日：2024-04-10
Applicant: 济南大学
IPC: H10N30/082 , H10N30/06
Abstract: 本发明属于半导体MEMS芯片制造领域，具体涉及一种降低硅衬底压电薄膜破损率的方法，该方法包括：在硅衬底上表面生长合适的压电薄膜，进行第一步光刻，使压电薄膜图形化，其中使用多个光刻板对压电薄膜的边缘进行分步光刻，制造出阶梯状；第二步光刻，将底电极图形化；第三步光刻，将顶电极图形化；第四步光刻，将桥接绝缘层图形化；第五步光刻，将桥电极图形化；在第六步光刻，对应硅衬底上表面压电薄膜的阶梯尺寸及位置，使用光刻板在硅衬底下表面进行背腔图形化工艺，采用分步光刻，在背腔边缘制造出阶梯状。最大程度的提高了硅衬底上压电薄膜对抗机械应力的强度和日后使用中的耐久度，从而降低压电薄膜的破损率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117880726A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202410060925.9
申请日：2024-01-15
Applicant: 山东博华电子科技发展有限公司 , 济南大学 , 山东超探电子科技有限公司
Abstract: 本公开涉及一种微机电系统压电换能器及其制作方法，涉及微机电系统技术领域，微机电系统压电换能器的制作方法，包括：提供基底，在基底的正面上依次形成第一金属层和压电材料层；图案化压电材料层，形成压电薄膜；图案化第一金属层，在压电薄膜的下方形成第一电极；在压电薄膜上形成第二电极，第一电极、压电薄膜和第二电极在基底上形成换能单元；刻蚀基底的背面，在换能单元的下方形成背腔。压电薄膜替代压电陶瓷接收机械应力，减轻了换能单元的重量，有利于换能单元的尺寸减小、提高换能单元的设置密度，微机电系统压电换能器的整体的重量轻、尺寸小，解除了重量和尺寸对微机电系统压电换能器的应用领域的限制。
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公开(公告)号：CN114444365B
公开(公告)日：2023-02-24
申请号：CN202210362565.9
申请日：2022-04-08
Applicant: 淄博高新技术产业开发区MEMS研究院 , 济南大学 , 山东超探电子科技有限公司
IPC: G06F30/23 , G06F119/14
Abstract: 本发明属于MEMS执行器技术领域，公开了一种静电驱动微执行器吸合电压的计算方法、系统及存储介质，基于静电场和弹性薄板理论对微机电系统MEMS中的静电型悬臂梁式执行器的吸合现象进行理论分析；借助有限元软件COMSOL完成吸合电压的计算并与实际测试结果进行对比，验证计算模型的可行性；在悬臂梁面积不变的情况下，利用所述模型分析悬臂梁厚度和极板间隙对吸合电压的影响。本发明借助有限元软件COMSOL完成吸合电压的计算并与实际测试结果进行了对比，验证了该计算模型的可行性；利用该模型研究悬臂梁厚度和极板间隙对吸合电压的影响，结果表明厚度和间隙对吸合电压的影响呈非线性规律，可以对后续执行器的设计提供理论依据。
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公开(公告)号：CN114722689A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202210643741.6
申请日：2022-06-09
Applicant: 淄博高新技术产业开发区MEMS研究院 , 山东超探电子科技有限公司 , 济南大学
IPC: G06F30/23 , G06F30/17 , G06F119/14
Abstract: 本申请涉及一种MEMS悬臂梁器件结构优化方法、装置和计算机设备。所述方法包括：基于MEMS悬臂梁器件的预设几何参数，建立MEMS悬臂梁器件的有限元模型；对所述有限元模型进行仿真，获取所述有限元模型的接触电阻的仿真阻值；根据仿真阻值判断所述接触电阻是否符合预设优化标准，若否，调整所述有限元模型的结构，直至所述有限元模型的接触电阻符合预设优化标准。采用本方法能够降低MEMS悬臂梁器件的接触电阻，提高MEMS悬臂梁器件的可靠性。
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公开(公告)号：CN101948257B
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN201010275385.4
申请日：2010-09-08
Applicant: 济南大学
Abstract: 本发明涉及一种含高胶凝性矿物的通用硅酸盐水泥改性剂及其应用方法，改性剂以高铝含量废渣和天然或工业副产石膏以及天然石灰石为原料，合理设计配料矿物组成，在1250～1350℃下煅烧15～60min，制得改性剂熟料；将改性剂熟料加入石膏制得矿物含量较高的通用硅酸盐水泥改性剂。将此改性剂熟料或改性剂以适当配比掺入到通用硅酸盐水泥中代替部分熟料，发挥早强矿物水化快且对矿渣、粉煤灰等混合材有激发作用的特点，形成较多的钙矾石和铝胶等水化产物，调节硅酸盐水泥水化产物的种类与配比。解决了C3S与矿物共存温度范围窄和形成温度不相匹配的问题，保证了具有早强特性的高胶凝性矿物的有效利用，达到提高通用硅酸盐水泥性能和降低生产成本的目的。
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公开(公告)号：CN101948258A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN201010275391.X
申请日：2010-09-08
Applicant: 济南大学
IPC: C04B22/14
Abstract: 本发明涉及一种含铝酸盐矿物的通用硅酸盐水泥改性剂及其应用方法，该种改性剂以高铝含量废渣和天然石灰石为原料，合理设计配料矿物组成，在1250～1350℃下煅烧15～60min，制得改性剂熟料；将改性剂熟料加入石膏制得CA和C12A7等铝酸盐矿物含量较高的通用硅酸盐水泥改性剂。将此改性剂熟料或改性剂以适当配比掺入到通用硅酸盐水泥中代替部分熟料，发挥早强矿物水化快且对矿渣、粉煤灰等混合材有激发作用的特点，形成较多的钙矾石(AFt)和水化铝(铁)酸盐等水化产物，调节硅酸盐水泥水化产物的种类与配比，达到提高通用硅酸盐水泥性能和降低生产成本的目的。
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