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公开(公告)号：CN118274144A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202211723495.1
申请日：2022-12-30
申请人： 北京北方华创微电子装备有限公司
摘要： 本申请公开了一种调节阀及半导体工艺设备，涉及半导体装备领域。一种调节阀包括：阀体、阀板、密封板和调节组件；阀体设有阀腔以及分别与阀腔连通的进口通道和出口通道；密封板设置于出口通道内，密封板设有第一通孔；阀板沿第一方向可移动地设置于出口通道内，并与密封板贴合，阀板用于对调节阀的气体通道的开度进行调节，阀板设有第二通孔；调节组件设置于阀体，且调节组件与阀板连接，用于带动阀板沿第一方向移动，以调节第二通孔与第一通孔的重合面积，其中，第一通孔与第二通孔的重合面积越大，调节阀的气体通道的开度越大。一种半导体工艺设备，包括上述调节阀。本申请能够解决气压差过大导致颗粒污染晶圆等问题。
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公开(公告)号：CN117967819B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202410363596.5
申请日：2024-03-28
申请人： 天津市塘沽第一阀门有限公司
摘要： 本发明涉及闸阀的技术领域。更具体地，本发明涉及一种高压耐磨闸阀。技术问题：因闸板与密封件之间的摩擦力过大而导致密封件磨损。本发明的技术实施方案是：每个管道一上均滑动连接有一个圆筒；每个圆筒上均固接有若干个弹簧，弹簧与对应的管道一相接触；使用时，活塞板完全将两个管道一隔断后，再将密封圈二紧密压紧在活塞板上，来保证本闸阀关闭后的密封性能，相较于现有闸阀关闭时全程高强度摩擦，活塞板只有在本闸阀关闭的最后阶段，才会与密封圈二发生高强度摩擦，大大降低密封圈二的磨损程度，有利于提高使用寿命，同时，通过管道二和管道三相配合，向隔断的空腔中输送对流的清水，将残留在空腔中的杂质快速冲出。
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公开(公告)号：CN118242451A
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202410389423.0
申请日：2024-04-02
申请人： 东辰智能科技有限公司
摘要： 本发明涉及一种高压密封补偿型平行双平板闸阀。一些通用闸阀在高温高压等苛刻条件系统运行中常常出现内漏、需求推力大、使用寿命短等问题。本发明包括一种高压密封补偿型平行双平板闸阀，包括阀体、阀座、阀杆、阀瓣组件和填料系统组件，所述阀体中腔与两侧接管交汇处分别装有两阀座，所述阀座两密封面朝向阀体中腔内空间，与中腔轴向中心线对称且平行，其特征在于所述阀瓣组件置于阀体腔内两阀座平行的密封面之间，所述阀杆的一端与阀瓣组件连接，阀座与阀瓣的密封面通过阀瓣组件内的碟形弹簧压缩提供预紧密封。本发明能解决目前普通闸阀在高温高压等苛刻条件系统中出现内漏、推力大、寿命短的问题。
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公开(公告)号：CN118224328A
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202410427810.9
申请日：2024-04-10
申请人： 中阀控股(集团)有限公司
IPC分类号： F16K3/02 , F16K37/00 , F16K31/05 , F16K31/44 , F16K31/53 , F16K31/46 , F16K41/00 , F16K41/04
摘要： 本发明公开了一种具有流量控制与检测功能的铜闸阀，属于闸阀技术领域。本发明包括阀体、阀芯、阀杆，所述阀体的两侧连接有进水阀管和出水阀管，所述出水阀管的内部设置有检测机构，所述阀体的上方设置有驱动机构，所述阀芯与阀体的内腔密封连接，所述阀杆贯穿阀体处设置有密封圈，阀芯与阀体之间的密封防止阀体中水的外漏，阀杆与阀体之间的密封则防止外部的灰尘进入阀体中，起到了双向密封的作用，与普遍使用螺杆作为阀杆的闸阀相比，不仅不影响阀芯移动的丝滑程度，光轴比螺纹更易于产生密封，在同样的密封等级下，光轴密封比螺纹密封的磨损更小，因此本发明的铜闸阀在实现双向密封的同时，还起到了经久耐用、减磨防漏的作用。
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公开(公告)号：CN110735800B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN201911162223.7
申请日：2019-11-25
申请人： 扬州江天流量仪表有限公司
摘要： 本发明涉及一种微阻缓闭逆止阀及其运行方法，属于机械类流体输送设备领域，包括阀管、阀筒、阀管阀板、活塞体，阀筒垂直并固定于阀管外壁，其顶部设有阀盖活塞体安装于阀筒内，将阀筒内腔分成上阀腔、下阀腔，活塞体的底部连接阀管阀板，阀管设有与阀筒连通的阀管连通孔；泵启动后，阀管连通孔向下阀腔注高压水，上阀腔通泵前，活塞体两边形成足够大的压力差，推动活塞体带动阀管阀板上行；停泵后，上阀腔通阀后，形成活塞体两边闭阀压力差，并在自重作用下，使阀管阀板归位阀管阀板槽。本发明结构简单，制作、安装方便；阻力损失甚微，利于节能；停泵后可实现先快后慢二阶段关闭，既避免停泵飞逸并利于防止或减弱水锤危害。
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公开(公告)号：CN118188831A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410521446.2
申请日：2024-04-28
申请人： 成都中科唯实仪器有限责任公司
IPC分类号： F16K3/02 , F16K3/30 , F16K31/122
摘要： 本发明公开了一种可机械自锁的阀件，包括阀板，阀板外侧套有阀板密封件，阀板下端连接有阀杆，阀杆通过波纹管与顶盖连接，阀杆下端连接有驱动座，驱动座连杆连接两侧的自锁连杆，阀杆竖直向下穿过顶盖，顶盖下端两侧对称设置有第一气缸以及第二气缸，驱动座连杆下端设置有驱动座，驱动座下端设置有底板，传输门的机械自锁功能：由于运动块上连杆机构和滑槽的特殊配合关系，会让传输门在关阀到位后，发生机械自锁。因此即使在整个系统断电后或断气后，阀门仍可以保持关阀状态，不会影响腔体的真空性；低粒子、低振动功能：本申请在法兰连接壳内均未发生任何金属摩擦。法兰连接壳与传输门壳体内部通过波纹管连接，可保持低振动功能。
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公开(公告)号：CN118188830A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410240660.0
申请日：2024-03-04
申请人： 上海核烨工程技术有限公司
摘要： 本发明公开了一种放射性废滤芯转运下降通道闸阀，涉及闸阀技术领域，包括闸阀基体、闸门板组件以及管道组件，闸门板组件安装于闸阀基体上，其中：闸门板组件包括闸下板与接液盘，闸下板经设于闸阀基体上的驱动件驱动可移动安装于闸阀基体上，以使得闸门板组件可朝着靠近或远离阀口的方向前后做直线运动；接液盘可摆动连接于闸下板上，当闸门板组件整体移动至阀口处时，接液盘与闸阀基体内侧壁接触并促使接液盘向上摆动直至其整体向上抬升，以使接液盘与管道组件的管道口底部边缘紧密贴合以实现阀口的封闭。本发明通过电动控制下降通道整体启闭，同时闸阀可做接液盘使用，具有避免滤芯辐射风险，提高安全性，简化闸阀结构的效果。
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公开(公告)号：CN118149113A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202410359713.0
申请日：2024-03-27
申请人： 中冶天工集团有限公司
IPC分类号： F16K3/02 , F16K3/314 , F16K3/18 , F16K3/316 , F16K3/30 , F16K27/04 , F16K49/00 , B08B1/16 , B08B1/32
摘要： 本发明属于烟道闸板安装技术领域，涉及一种烟道闸板限位装置，包括限位框架、活动闸板和定位固定板，所述限位框架与所述活动闸板滑动连接且通过定位固定板与排烟道抵接，驱动所述活动闸板可使其插入所述排烟道中用于控制烟气流动。本发明的有益效果是，设置限位框架可带动活动闸板平稳移动，通过固定外板、固定内板以及定位固定板增强了限位框架与排烟道之间的稳定性，既能避免烟气泄露，还能更好地实现烟气的控制；水流通过导流管和进水管进入到水流分布槽内，可以大面积的对活动闸板快速进行降温，提高闸板维修的效率，成本较低，效率较高；设置可转动的活动刮板，及时清理活动闸板上附着的杂质，并通过收集箱收集后排出。
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公开(公告)号：CN118129084A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410303041.1
申请日：2024-03-18
申请人： 合肥江淮铸造有限责任公司
发明人： 朱道林
摘要： 本发明涉及天然气使用安全配套领域，公开了天然气泄漏自动切断系统，包括保护箱，其两侧贯穿连接有运输管，所述运输管的一端连接有连接管；方管，其固定连接在两个连接管之间；检测器，其固定连接在连接管内，所述连接管上连接有电磁阀；截断机构，其与方管相连接，且其一侧连接有与保护箱固定连接的储气箱；断电机构，其与方管固定连接，且其通过电线连接有位于保护箱内的辅助机构，本发明可以快速稳定地实现管道的断开，减少气体的再次泄漏，同时可以快速进行定点定位，方便精准的应急处理，确保实现现场生产安全管理，同时配合断电机构的工作，进一步地适应不同状况下的管道断开，提高应急处理效率的同时，保证其安全性和稳定。
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公开(公告)号：CN114607784B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202210230295.6
申请日：2022-03-09
申请人： 北京真空电子科技有限公司
摘要： 一种用于隔离的阀板,包括用于密封待密封通道的工作面和沿远离所述工作面的方向延伸的承载所述工作面的阀板本体，其特征在于，所述阀板本体包括具有从所述工作面向所述远离方向逐渐变窄的截面的第一被驱动部分和安装回复力为远离待密封通道的第一回复装置的第二被驱动部分，还涉及驱动装置以及用于真空密封的阀。
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