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公开(公告)号:CN100387537C
公开(公告)日:2008-05-14
申请号:CN200410069973.7
申请日:2004-07-16
申请人: 波克股份有限公司
发明人: A·I·雪利
IPC分类号: C03B37/014 , C03B37/018 , C03C17/22
CPC分类号: C03B37/0144 , B01D53/0462 , B01D53/047 , B01D53/22 , B01D2253/104 , B01D2253/106 , B01D2256/18 , B01D2257/11 , B01D2257/2025 , B01D2257/504 , B01D2257/80 , C03B37/01446 , Y02C10/08 , Y02C10/10
摘要: 本发明公开从生产光纤的过程中回收并循环氦气和未反应氯气的方法。从固结炉中回收富氦和富氯气流,并对它们进行了分离。富氦气流干燥后与补充氦气混合,富氯气流纯化后与补充氯气混合,因而它们各自可以再被用于光纤生产过程。
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公开(公告)号:CN100377836C
公开(公告)日:2008-04-02
申请号:CN03819420.1
申请日:2003-01-28
申请人: 波克股份有限公司
IPC分类号: B24B1/00
CPC分类号: H01L21/02052 , B08B3/08 , B08B7/0092 , H01L21/02065 , H01L21/02074 , H01L21/30625
摘要: 本发明提供了一种新的适用于清洗半导体表面以及金属、特别是疏水性低K介质膜和CMP侵蚀阻挡膜的表面,以去除后CMP污染物的含水和低温增强(ACE)清洗的改进方法。该方法特别适用于去除尺寸为0.3μm或小于0.3μm的污染物。ACE清洗方法适用于已经经历过化学机械抛光(CMP)的表面。该方法包括这样的步骤:采用含水基的清洗方法清洗表面,至少局部干燥表面,以及之后不久,采用 CO2低温清洗方法清洗表面。该方法能够从疏水性的、由此单独采用含水基清洗技术难以清洁的表面上,去除所述的污染物。
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公开(公告)号:CN101069017A
公开(公告)日:2007-11-07
申请号:CN200580041324.9
申请日:2005-11-23
申请人: 波克股份有限公司
IPC分类号: F04B25/00
CPC分类号: F04D19/04 , C23C16/4412 , F04D19/00 , F04D19/046 , F04D25/00 , F04D27/00 , H01L21/67017 , H01L21/67155
摘要: 本发明是一种用于对若干包含不相容气体的真空处理室进行抽真空的装置和方法。气体被引导至包含预调节装置的低于大气压的消减室。在消减室中处理气体以使它们相容。然后,通过前级泵将相容的气体作为单个气流而从消减室中抽走。
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公开(公告)号:CN1318334C
公开(公告)日:2007-05-30
申请号:CN03157775.X
申请日:2003-08-28
申请人: 波克股份有限公司
IPC分类号: C03B37/025 , C03B37/027 , G02B6/00
CPC分类号: C03B37/02718 , C03B2205/57
摘要: 一用于从热交换器回收和再循环冷却剂气的设备和方法。该设备包括一冷却剂气回收部分、一分析部分以及一冷却剂气混合部分。冷却剂气回收部分从热交换器回收含有污染物质的冷却剂气。分析部分监控回收的冷却剂气的分析部分的状况。冷却剂气混合部分根据由分析部分监控的回收的冷却剂气的状况,可操作地产生包含新鲜冷却剂气和含有至少一部分回收的冷却剂气的再生的冷却剂气的一混合的冷却剂气。混合的冷却剂气具有预定的污染物质浓度,并再循环入热交换器内。这样,不使用一净化设备,冷却剂气可以预定的污染物质浓度从热交换器回收和再循环至热交换器。
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公开(公告)号:CN1966618A
公开(公告)日:2007-05-23
申请号:CN200610146486.5
申请日:2006-11-13
申请人: 波克股份有限公司
发明人: D·P·小萨谢尔
摘要: 一种工艺过程衍生的氢供体溶剂用于提高沸腾床渣油加氢裂化装置中的最大渣油转化率和转化速率。该氢供体溶剂前体通过在渣油加氢裂化装置中进行临氢重整反应来生产,作为树脂馏分从溶剂脱沥青装置中回收,在分离的加氢处理反应装置中再生,再循环到沸腾床渣油加氢裂化装置中。本发明相对于现有方法的主要优点是在分离的加氢处理装置中,氢可以更有效地转化为树脂渣油,以及氢供体溶剂可以有效地阻止在高沸腾床渣油加氢裂化操作温度和渣油裂化速率条件下形成焦炭前体。
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公开(公告)号:CN1954198A
公开(公告)日:2007-04-25
申请号:CN200480042945.4
申请日:2004-06-30
申请人: 波克股份有限公司
发明人: P·阿普塔克 , J·M·麦肯德里 , J·A·W·M·科弗
IPC分类号: G01G23/01
CPC分类号: G01G17/00 , G01G9/00 , G01G15/00 , G01N23/046 , G01N2223/419
摘要: 一种用于为生产线上的样品降低或消除在NMR重量检查系统(24)中邻近样品对测试样品质量的NMR测量的影响的方法(10)。该测试样品在位于生产线上的一容器(22)中,并且多个邻近样品中的每个也在位于生产线上的一个容器(22)中。方法(10)包括为邻近该测试样品的多个样品确定交叉耦合加权因数;对该测试样品和邻近诸样品进行磁共振测量,所述对该测试样品和邻近诸样品进行磁共振测量的步骤提供代表了每个测量的数据;以及对代表每个测量的数据应用加权因数,用于补偿邻近样品的影响。
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公开(公告)号:CN1942784A
公开(公告)日:2007-04-04
申请号:CN200480042907.9
申请日:2004-06-30
申请人: 波克股份有限公司
发明人: J·M·麦肯德里 , R·塞尔维 , J·A·W·M·科弗
IPC分类号: G01V3/00
CPC分类号: G01R33/389 , G01N24/085
摘要: 方法(10)确保用于磁共振重量检查系统(20)的磁场的特性跟踪样品共振频率的偏差,该磁共振重量检查系统(20)适用于生产线上小瓶(22)中的样品。方法(10)包括以下步骤:从样品的磁共振测量中获得(50)自由感应衰减信号;根据自由感应衰减信号监视(52)磁共振测量的共振频率与预选共振频率的偏差;以及调节(62)磁场以保持预选共振频率。
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