公开(公告)号：CN108695206A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201810291068.8

申请日：2018-03-30

申请人： 东京毅力科创株式会社

发明人： 樱林务 ,  辻德彦

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67196 ,  B01D53/04 ,  B01D53/06 ,  B01D53/261 ,  B01D53/44 ,  B01D2253/108 ,  B01D2256/10 ,  B01D2256/18 ,  B01D2257/70 ,  B01D2257/80 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/40088 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/68707

摘要： 本发明提供一种基板搬送装置和基板搬送方法。在向各种处理装置搬送基板的搬送装置中，维持壳体内的气氛的清洁度。大气压搬送装置具有：晶圆搬送机构，其保持并搬送晶圆；壳体，其收纳晶圆搬送机构；气体供给部，其向壳体内供给非活性气体；气体循环部，其使从壳体排出的气体返回到该壳体内；以及异物去除部，其将从壳体排出的气体中的异物去除。气体循环部具有：加湿部，其对从壳体排出的气体附加水分；过滤器，其利用该气体中的水分来吸附并去除被加湿部加湿后的气体中含有的有机物；以及除湿部，其从被过滤器去除了有机物的气体中去除水分。

公开(公告)号：CN106457127B

公开(公告)日：2018-06-01

申请号：CN201580032830.5

申请日：2015-06-19

申请人： 埃克森美孚研究工程公司

发明人： E·W·小科克兰 ,  P·科图诺夫 ,  C·S·保尔 ,  P·I·拉维科维奇 ,  Y·王 ,  A·科尔曼卡尼奥斯 ,  S·瓦伦西亚瓦伦西亚 ,  F·雷伊加西亚 ,  A·坎廷桑斯 ,  M·帕洛米诺罗卡

IPC分类号： B01D53/22 ,  B01D71/02 ,  B01J20/30 ,  B01J29/70 ,  C01B3/50 ,  C01B17/16 ,  C01B21/04 ,  C01B37/00 ,  C01B37/02 ,  C01B39/06 ,  C01B39/08 ,  C01B39/12 ,  C01B39/48 ,  C01C1/12

CPC分类号： C01B39/48 ,  B01D53/02 ,  B01D53/04 ,  B01D53/0407 ,  B01D53/0462 ,  B01D53/047 ,  B01D53/228 ,  B01D53/229 ,  B01D71/028 ,  B01D2253/108 ,  B01D2256/10 ,  B01D2256/12 ,  B01D2256/16 ,  B01D2256/18 ,  B01D2256/20 ,  B01D2256/22 ,  B01D2256/24 ,  B01D2256/245 ,  B01D2256/26 ,  B01D2257/302 ,  B01D2257/304 ,  B01D2257/40 ,  B01D2257/404 ,  B01D2257/406 ,  B01D2257/50 ,  B01D2257/504 ,  B01D2257/70 ,  B01D2257/702 ,  B01D2257/7022 ,  B01D2257/80 ,  B01J20/18 ,  B01J20/3078 ,  B01J29/70 ,  B01J29/86 ,  B01J29/89 ,  C01B3/508 ,  C01B17/167 ,  C01B21/0466 ,  C01B37/002 ,  C01B37/007 ,  C01B37/02 ,  C01B39/06 ,  C01B39/08 ,  C01B39/12 ,  C01B2203/0405 ,  C01B2210/0018 ,  C01C1/12 ,  C07C1/20 ,  C07C1/322 ,  C07C2/76 ,  C07C29/00 ,  C07C41/01 ,  C07C2529/70 ,  C07C2529/76 ,  C07C2529/78 ,  Y02C10/08

摘要： 本发明涉及一种沸石性质的微孔结晶材料，其在其煅烧态下和在其结晶基质中不存在体现为硅烷醇的存在的缺陷的情况下具有经验式：x(M1/nXO2):y YO2:g GeO2:(1‑g)SiO2，其中M选自H+、至少一种电荷为+n的无机阳离子和两者的混合物，X是至少一种氧化态为+3的化学元素，Y是至少一种氧化态为+4的不同于Si的化学元素，x取0至0.2之间的值(包括两个端点)，y取0至0.1之间的值(包括两个端点)，g取0至0.5之间的值(包括两个端点)，其被称作ITQ‑55，及其制备方法。本发明还涉及该沸石性质的结晶材料用于流体组分的吸附、流体组分的膜分离、流体组分的储存和各种转化反应的催化的用途。

公开(公告)号：CN107930586A

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：CN201710885513.9

申请日：2017-09-29

申请人： 天津大学

发明人： 刘庆岭 ,  帝汉尼 ,  郭铭玉 ,  韩金峰 ,  吕双春 ,  宋春风

IPC分类号： B01J20/22 ,  B01J20/30 ,  B01D53/02

CPC分类号： B01J20/226 ,  B01D53/02 ,  B01D2256/18 ,  B01D2257/504

摘要： 本发明公开了一种将铜掺入沸石咪唑盐框架合成Cu-ZIF-67的方法，首先制备铜钴溶液，其中，钴/铜摩尔比为1.5～8.5；将铜钴溶液与摩尔浓度为3.5～5mol/L的2-甲基咪唑溶液混合，持续搅拌直到得到均质凝胶，其中，2-甲基咪唑/铜钴摩尔比为30～45；将搅拌后的均质凝胶通过离心去除母液，收集的固体样品用去离子水洗涤，最后在烘箱中100℃干燥，最终所得产物即为Cu-ZIF-67。铜可以提高ZIF-67的热稳定性，而不改变其结构以及二氧化碳容量。与传统合成ZIF-67工艺相比，本发明的制备方法更简便快捷，使用介质为去离子水，廉价易得，环境污染小，所用金属源和有机源也均为廉价易得产品，从而显著降低了生产成本。

公开(公告)号：CN104379241B

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：CN201380028451.X

申请日：2013-05-30

申请人： 东丽株式会社

发明人： 平锅隆一郎 ,  花川正行 ,  川上智教

IPC分类号： B01D69/00 ,  B01D53/22 ,  B01D69/02 ,  B01D71/56 ,  C08G69/02

CPC分类号： B01D71/80 ,  B01D53/228 ,  B01D63/081 ,  B01D67/0013 ,  B01D67/0018 ,  B01D67/0088 ,  B01D69/02 ,  B01D71/56 ,  B01D71/58 ,  B01D71/60 ,  B01D2252/204 ,  B01D2256/16 ,  B01D2256/18 ,  B01D2256/22 ,  B01D2257/108 ,  B01D2257/11 ,  B01D2257/504 ,  B01D2258/0283 ,  B01D2323/08 ,  B01D2323/12 ,  B01D2325/20 ,  C08G69/32 ,  C08G69/40 ,  C10L3/104 ,  C10L2290/548 ,  Y02C10/10 ,  Y02P20/152

摘要： 本发明涉及一种二氧化碳分离膜，所述二氧化碳分离膜包括皮层，所述皮层具有从混合气中分离二氧化碳的功能，其中，所述皮层含有30质量％～90质量％的高分子树脂、和10质量％～70质量％的与二氧化碳具有亲和性的有机液体，所述高分子树脂对二氧化碳的亲和性与对氢和氦中的至少一方的亲和性之差为4.5kcal mol‑1或更大、且小于10kcal mol‑1，所述亲和性以自由能ΔG(kcal mol‑1)表示。

公开(公告)号：CN104147892A

公开(公告)日：2014-11-19

申请号：CN201410407628.3

申请日：2011-01-28

申请人： 气体产品与化学公司

发明人： D·C·文彻斯特 ,  M·J·伯斯科 ,  G·W·克雷恩 ,  I·P·韦斯特 ,  R·L·桑姆萨尔 ,  D·P·迪 ,  A·D·约翰森 ,  E·J·小卡瓦基

IPC分类号： B01D53/00 ,  B01D53/04

CPC分类号： B01D53/04 ,  B01D2256/18 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/402 ,  Y10T137/7837

摘要： 本发明公开了用于从化学过程反应器的流出物回收需要的气体诸如二氟化氙、氙、氩、氦或氖的设备和方法，该化学过程反应器单独地或以气体混合物的形式或以变成分解的分子的形式利用这些气体，其中，该化学过程反应器使用不同气体组成的序列，并非所有气体组成包含需要的气体，且需要的气体只在需要的气体在流出物中的时间内被基本上捕获和回收。

公开(公告)号：CN103764552A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201280041688.7

申请日：2012-08-29

申请人： 大阳日酸株式会社

发明人： 足立贵义 ,  桥本幸惠

IPC分类号： C01B23/00 ,  B01D53/04 ,  B01J23/44

CPC分类号： B01D53/04 ,  B01D2253/102 ,  B01D2253/104 ,  B01D2253/108 ,  B01D2256/18 ,  B01D2257/502 ,  B01D2257/80 ,  B01J21/18 ,  B01J23/44 ,  B01J29/043 ,  C01B21/0494 ,  C01B23/0094 ,  C01B2210/0004 ,  C01B2210/0014 ,  C01B2210/0017 ,  C01B2210/0018 ,  C01B2210/0031 ,  C01B2210/0032 ,  C01B2210/0034 ,  C01B2210/0037 ,  C01B2210/005 ,  C01B2210/0053 ,  C01B2210/0062 ,  Y02C10/08 ,  Y02P20/152

摘要： 一种对含有氢及一氧化碳的惰性气体进行精制的惰性气体精制方法，包括：第1工序，在惰性气体中添加氧，并且通过使用催化剂的反应来使氢成为水；和第2工序，在第1工序后，通过吸附剂来从惰性气体去除一氧化碳及水。

公开(公告)号：CN103282099A

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：CN201280004319.0

申请日：2012-03-21

申请人： 大阳日酸株式会社

发明人： 足立贵义 ,  桥本幸惠

IPC分类号： B01D53/02 ,  B01D53/04 ,  B01J20/18 ,  B01J20/34

CPC分类号： B01D53/0462 ,  B01D53/02 ,  B01D2253/108 ,  B01D2255/50 ,  B01D2256/10 ,  B01D2256/12 ,  B01D2256/16 ,  B01D2256/18 ,  B01D2256/245 ,  B01D2257/504 ,  B01D2257/80 ,  B01D2259/402 ,  B01J20/18 ,  Y02C10/04 ,  Y02C10/08

摘要： 一种气体精制方法，在将精制对象气体中所含的作为杂质的二氧化碳、水吸附去除时，该方法能够减少吸附剂的量、将吸附筒大幅度地小型化、可减少再生气体量、能够削减运行成本，所述方法使包含分压为35Pa以下的二氧化碳作为杂质的精制对象气体与加热再生温度设定为160℃以上且240℃以下的、由阳离子为钠的八面沸石组成的吸附剂接触，吸附去除二氧化碳。另外，还有一种气体精制方法，其使精制对象气体与在300℃以上进行了初始活化的由阳离子为锂的八面沸石组成的吸附剂接触，吸附去除二氧化碳，在240℃以下进行加热再生。

公开(公告)号：CN102695935A

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN201080024779.0

申请日：2010-05-28

申请人： 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司

发明人： J-P·特拉尼耶

IPC分类号： F25J3/02 ,  F25J3/04 ,  F25J3/08 ,  B01D53/74 ,  F23J15/00 ,  F25J3/00 ,  C01B23/00 ,  C01B13/02

CPC分类号： B01D53/002 ,  B01D2256/10 ,  B01D2256/12 ,  B01D2256/18 ,  B01D2257/504 ,  F23J15/006 ,  F23J15/02 ,  F23J2215/50 ,  F23J2900/15061 ,  F23L7/007 ,  F25J3/0257 ,  F25J3/0266 ,  F25J3/0285 ,  F25J3/04533 ,  F25J3/04563 ,  F25J3/0489 ,  F25J2200/02 ,  F25J2200/04 ,  F25J2200/70 ,  F25J2200/76 ,  F25J2205/04 ,  F25J2210/04 ,  F25J2210/42 ,  F25J2210/70 ,  F25J2215/04 ,  F25J2215/50 ,  F25J2220/82 ,  F25J2220/84 ,  F25J2230/20 ,  F25J2240/12 ,  F25J2245/02 ,  F25J2260/80 ,  F25J2270/02 ,  F25J2270/904 ,  Y02C10/12 ,  Y02E20/326 ,  Y02E20/344

摘要： 本发明涉及一种从产生于用于净化氧-燃料燃烧烟气的方法的流体中生产富含氩的流体和富含氧的流体的方法，所述方法包括：通过净化方法净化剩余气体以便产生富含二氧化碳的气体(119)和二氧化碳贫乏的剩余气体(120)，预处理二氧化碳贫乏的剩余气体以便获得富含二氧化碳的流和二氧化碳贫乏的流(123)，通过低温技术处理二氧化碳贫乏的流以便提取至少富含氩的部分(127)、富含氧的部分(126)以及氩和/或氧贫乏的部分(125)。

公开(公告)号：CN102482089A

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201080040225.X

申请日：2010-08-26

申请人： 松下电器产业株式会社

发明人： 汤浅明子

IPC分类号： C01B23/00 ,  B01D53/02 ,  B01J20/18

CPC分类号： B01D53/02 ,  B01D2253/108 ,  B01D2253/308 ,  B01D2255/20761 ,  B01D2256/18 ,  B01D2257/11 ,  B01J20/18 ,  B01J20/186 ,  B01J20/2808 ,  C01B23/0068 ,  C01B2210/0037

摘要： 本发明提供一种氙回收方法。使用以具有以上、以下的细孔径的沸石为主要成分，在常温、常压或常温、低氙分压下能够吸附氙的吸附材料。在本发明的氙回收方法中，使该吸附材料与氙封入机器连通，使氙吸附于吸附材料，使氙从吸附材料脱离。因此，在常温、常压或常温、低氙分压下，也能够从封入有氙的使用后机器中高效率地直接回收氙。

公开(公告)号：CN102307645A

公开(公告)日：2012-01-04

申请号：CN200980156384.3

申请日：2009-09-21

申请人： 浦项工科大学校产学协力团

发明人： 洪锡凤

IPC分类号： B01D53/02 ,  C01B39/00

CPC分类号： B01J20/3078 ,  B01D53/02 ,  B01D53/047 ,  B01D2253/108 ,  B01D2256/16 ,  B01D2256/18 ,  B01J20/10 ,  B01J20/18 ,  C01B3/508 ,  C01B23/0068 ,  C01B39/082 ,  C01B2210/0031 ,  C01B2210/0053 ,  Y02E60/364

摘要： 本发明涉及利用钠沸石类沸石的气体选择性分离，更具体地涉及一种新型钠沸石类沸石和利用钠沸石类沸石的氢气和/或氦气气体的选择性分离。本发明的特征在于，是将含有氢气的气体与钠沸石类沸石接触，从而选择性地分离氢气。本发明提供了能够选择性地分离氢气和/或氦气的吸附剂，还提供了在常温或高温下，能将上述氢气和/或氦气分离的方法。