在非二维初始结构上光刻生成目标结构的方法和装置

    公开(公告)号:CN109997081A

    公开(公告)日:2019-07-09

    申请号:CN201780061245.7

    申请日:2017-08-04

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: 本发明涉及一种用于通过借助于至少一个光刻光束(060)曝光光刻胶(100)在非二维初始结构(010)上光刻生成目标结构(030)的方法和装置。该方法包括以下步骤:a)检测非二维初始结构(010)的表面的构形(020);b)将至少一个测试参数用于光刻光束(060)并确定光刻光束(060)与初始结构(010)的相互作用以及由此引起的光刻光束(060)和/或要生成的目标结构(030)的变化;c)确定光刻光束(060)的至少一个校正参数,使得由光刻光束(060)与初始结构(010)的相互作用引起的光刻光束(060)和/或目标结构(030)的变化减少;以及d)通过使用用于光刻光束的至少一个校正参数(060)借助于至少一个光刻光束(060)曝光光刻胶(100)在初始结构(010)上生成期望的目标结构(030)。该方法和装置使得能够在已经存在的非二维初始结构(010)上以高精度光刻生成高分辨率的三维目标结构(030)。

    电机和机动车
    63.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107005120A

    公开(公告)日:2017-08-01

    申请号:CN201580067393.0

    申请日:2015-11-26

    发明人: B·海德

    IPC分类号: H02K3/487

    摘要: 本发明涉及一种电机(1),包括:至少部分导电的、处于基准电位上的壳体(2);定子(3),在该定子上设计有槽状的用于定子绕组(11)的接纳部(10),其中,在接纳部(10)中分别设有在转子侧(8)封闭所述接纳部(10)的封闭元件(4);和在定子(3)内部以能转动的方式支承的转子(8),其中,封闭元件(4)具有平坦的、能导电的导体区域(23),用于相对于转子(8)屏蔽定子绕组(11),其中,导体区域(23)与壳体(2)导电连接。

    电极组件、用于制造该电极组件的方法以及电化学电池

    公开(公告)号:CN105849962A

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201480062346.2

    申请日:2014-11-12

    摘要: 本发明涉及电极组件(110),电极组件(110)包括层状结构,层状结构具有至少一个第一电极(112)、至少一个第二电极(130)以及插在第一电极(112)与第二电极(130)之间的至少一个分离器(116)。在这里,第一电极(112)具有至少一个第一导电带(114),第一导电带(114)以第一之字形折叠进行折叠,第一之字形折叠具有形成一层位于另一层之上的多个第一层(120、122)的效果,并且第一之字形折叠的彼此相对的第一折叠边缘(134、136)限定第一之字形折叠的第一折叠方向(138)。另外,第二电极(130)具有至少一个第二导电带(132),第二导电带(132)以第二之字形折叠进行折叠,第二之字形折叠具有形成一层位于另一层之上的多个第二层(128、140)的效果,并且第二之字形折叠的彼此相对的第二折叠边缘(142)限定第二之字形折叠的第二折叠方向(144)。根据本发明,第一层(120、122)和第二层(128、140)彼此平行布置,第一折叠方向(138)和第二折叠方向(144)相对于彼此形成最小为60°且最大为120°的角度,以及分离器(116)采取至少一个绝缘带(118)的形式,两个相邻的第一层(120、122)以总是形成双层的方式而一层分别位于另一层之上,以及第二层(128、140)分别插在两个双层(124、126)之间。本发明还涉及用于制造这种电极组件(110)的方法,并涉及一种电化学电池,该电化学电池包括至少一个这种电极组件(110)、至少一种电解液、用于第一电极(112)的至少一个第一集电器以及用于第二电极(130)的至少一个第二集电器。

    激光束加工
    67.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101868320A

    公开(公告)日:2010-10-20

    申请号:CN200880117183.8

    申请日:2008-11-20

    IPC分类号: B23K26/04 G02B7/28 G03F7/20

    摘要: 描述了一种用于工件(2)的激光束加工的方法,其中激光束(14)通过具有焦面的物镜(20)聚焦在具有边界面的工件(2)中或其上,以通过双光子工艺生成加工效应,以及相对于工件(2)移动焦点的位置,并且为了获得焦点的位置的参考,同样通过物镜(20)将照射调制对象的图像投射至工件(2)和焦面中,或者与其相交,并且将在边界面处出现的图像的反射成像在自动聚焦像面中,以及通过具有相机像面的相机(15)检测,其中当所述照射调制对象的图像位于所述焦面中时,所述相机像面相交于所述自动聚焦像面,或者当所述调制对象的图像相交于所述焦面时,所述相机像面位于所述自动聚焦像面中。