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公开(公告)号：CN110806190B
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN201910720647.4
申请日：2019-08-06
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 金松敏裕
Abstract: 本发明提供一种形状测定装置。在具备用于检测器的定位的电动进给机构的形状测定装置中，能够简化线缆类的引绕，实现检测器的平滑的移动。本发明的一个方式的形状测定装置具备具有检测对象物的表面的位置的检测器的形状测定机和使形状测定机沿轴向移动的进给机构。进给机构具有以能够绕轴旋转的方式设置的驱动轴、以从与驱动轴的轴线正交的方向夹持驱动轴的方式设置且能够在摩擦接触状态与分离状态之间切换的牵引螺母部以及将牵引螺母部与形状测定机进行连结的支架，其中，该摩擦接触状态是牵引螺母部与驱动轴摩擦接触的状态，该分离状态是牵引螺母部从驱动轴分离的状态。在支架设置用于使驱动轴旋转且具有相对于轴线倾斜的旋转轴的电动机。
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公开(公告)号：CN115047470A
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202210199794.3
申请日：2022-03-02
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明涉及一种坐标测量设备。通过使用激光跟踪器来正确地确定工件的空间坐标坐标测量设备(1)包括：测量部(10)，其测量工件；三个或多于三个接入点(20)，其设置在与测量部(10)分离的位置，并且使用无线电波与测量部(10)进行无线通信；激光跟踪器(30)，其利用激光束照射设置在各个接入点中的反射部，并且接收由反射部反射的激光束；以及控制部(54)，其通过激光跟踪器(30)接收由反射部反射的激光束来获得各个接入点(20)的第一坐标，基于接入点(20)和测量部(10)之间的无线通信来获得测量部(10)的第二坐标，使测量部(10)测量工件的第三坐标，并且基于第一坐标、第二坐标和第三坐标来获得工件的空间坐标。
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公开(公告)号：CN110515146B
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN201910413836.7
申请日：2019-05-17
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 焦距可变透镜装置具有对图像检测条件进行设定的图像检测条件设定部；图像检测条件设定部能够设定反复进行图像检测循环的复合模式(S41)作为图像检测条件，所述图像检测循环包括至少1个多平面图像检测动作(S44)和至少1个单平面图像检测动作(S45)；在多平面图像检测动作(S44)中，在焦距可变透镜的焦距变化的1个周期的期间中，能够设定多个进行图像检测的焦距(S42)；在单平面图像检测动作(S45)中，在焦距可变透镜的焦距变化的1个周期的期间中，能够设定1个进行图像检测的焦距(S43)。
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公开(公告)号：CN109425635B
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN201811012557.1
申请日：2018-08-31
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01N25/16
Abstract: 本发明提供一种热膨胀系数测定装置和热膨胀系数测定方法。热膨胀测定装置具备温度控制装置、光波干涉仪以及控制装置，控制装置具备：实测数据获取部，其依次变更被测定物的温度，获取在各温度下由光波干涉仪测定的实测数据；数据集生成部，其生成通过将各实测数据的干涉级次设定在任意的范围内所得到的多个验证用数据，从针对各温度的验证用数据中各选出一个验证用数据来形成数据集，来生成多个数据集；以及判定部，其关于多个数据集分别导出阶数各不相同的多个近似函数，针对每个近似函数计算基于验证用数据与近似函数的差的评价指标值，关于各近似函数提取评价指标值最小的候选数据集，基于各候选数据集是否相同来判定候选数据集的有效性。
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公开(公告)号：CN108733096B
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN201810351016.5
申请日：2018-04-18
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 提供一种驱动台装置的控制方法及形状测定装置的控制方法，能够根据载置于台上的对象物的重量等来实现恰当的驱动控制。通过空气轴承使台上浮，测定通过空气轴承处于上浮的状态的台的高度来作为第一高度。将工件载置于台，在载置有工件的状态下测定所述台的高度来作为第二高度。计算第一高度与第二高度之差来作为下沉量，根据下沉量来计算工件的重量。根据计算出的所述工件重量来决定台的旋转驱动或者水平移动的上限速度。以使台的旋转驱动或者水平移动的速度不超过所述上限速度的方式进行控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114689093A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202111680212.5
申请日：2021-12-30
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： T.S.库克
IPC: G01D5/244
Abstract: 一种感应式位置编码器包括标尺、检测器和信号处理器。标尺包括沿测量轴(MA)布置的具有空间波长W1的信号调制元件(SME)的周期性图案。检测器包括感测元件和生成变化磁通量的场生成线圈。感测元件包括导电回路，所述导电回路响应于对相邻SME提供的变化磁通量的局部影响而提供检测器信号。导电回路中的一些或全部根据回路内移位关系配置，其中回路的相等“移位比例”在相反方向上移位W1/4K。K为奇整数。回路内移位关系可用以抑制检测器信号中的K次空间谐波分量，同时还克服长期存在的不利布局问题。所述回路内移位关系与滤除其他空间谐波信号分量的“回路宽度”空间滤波技术轻松组合。
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公开(公告)号：CN114688957A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202111622422.9
申请日：2021-12-28
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： C.R.哈姆纳
IPC: G01B7/004
Abstract: 一种用于扫描探头中的探针位置测量的感应位置检测器，包括沿着探头中的中心轴线定位的线圈板配置。线圈板配置包括场产生线圈配置以及顶部和底部轴向和旋转感测线圈配置。场产生线圈配置产生变化的磁通量，并且线圈信号指示导电扰动器元件和/或探针位置。至少一个未对准补偿元件配置为减少由线圈板配置的至少一个线圈的未对准导致的信号偏移(例如，线圈板配置可以包括具有线圈位于其中的多个层的印刷电路板，并且至少一个线圈的未对准可以由作为制造过程的一部分的层对层配准中的配准误差导致，例如在制造公差内)。
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公开(公告)号：CN114688954A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202111559678.X
申请日：2021-12-20
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明公开了坐标测量机探头的感应式位置传感器信号增益控制。一种用于具有感应式位置传感器信号增益控制的坐标测量机的扫描探头包含具有场生成线圈和感测线圈的触针位置检测部分，并且对于所述触针位置检测部分，对应的输出信号指示触针的探头尖端的位置。信号处理和控制电路系统被配置成实施不同的操作区域，如对应于中心探头尖端位置范围的中心高增益操作区域以及其它较低增益操作区域，对于所述不同的操作区域，可以执行转变操作以调整增益。在各个实施方案中，用于调整增益的转变操作可以包含以下操作，如：调整场生成线圈配置的功率；调整前端放大器的增益；改变感测线圈的特性；调整模数转换器的输入范围等。
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公开(公告)号：CN106524903B
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN201610814843.4
申请日：2016-09-09
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 小野林季
Abstract: 本发明的光电式编码器包括：标尺，其包括栅格刻度；发光部，其朝向所述标尺照射光；受光部，其检测所述标尺的栅格刻度的像；和远心光学单元，其设置在所述标尺与所述受光部之间并在所述受光部上形成所述栅格刻度的像，其中，所述远心光学单元包括：第一光学元件，其布置成靠近所述标尺；第二光学元件，其布置成比所述第一光学元件靠近所述受光部并布置成在所述第二光学元件与所述第一光学元件之间形成有间隙；和光圈，其设置于所述第一光学元件的靠近所述第二光学元件的面和所述第二光学元件的靠近所述第一光学元件的面中的至少一者。
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