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公开(公告)号：CN104950592B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201510316642.7
申请日：2015-06-10
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 校准DMD光刻系统中投影镜头焦面和相机焦面位置的方法属于确定DMD光刻系统中投影镜头焦平面和相机的焦平面位置的校准方法领域，该方法设计了一种辅助对焦分划板，借助该分划板规律断续的外轮廓线边缘，可以在校准过程中快速判断分划板的端面倾角姿态是否与光轴垂直；利用反光镀膜间隔条纹可以判断分划板沿光轴方向的距离位置是否适中。分划板上其余未被反光镀膜间隔条纹覆盖的透光条纹区域用于透过DMD的光条图案，可以方便相机或显微镜对焦；反光镀膜间隔条纹和规律断续的外轮廓线边缘相结合，还兼具向CCD调焦相机反射DMD的光条图案和辅助CCD调焦相机倾角姿态校准的作用。该方法在校准投影镜头焦面和相机焦面的同时还分别校准了其二者的倾角姿态。
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公开(公告)号：CN104459999B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201410833528.7
申请日：2014-12-29
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 成像流式细胞仪的照明系统属于光学设计技术领域，目的在于解决现有技术存在的光能损耗大、利用率低、研制成本高、稳定性差和对光机设计存在一定制约的问题。本发明的成像流式细胞仪的照明系统包括激光光源、数字微镜阵列、压电陶瓷转动平台、激光扩束系统、柱面镜和聚焦透镜；激光光源输出的基模光线经数字微镜阵列生成反射光线，反射光线经激光扩束系统扩束形成圆形光斑的扩束光线，所述扩束光线经柱面镜成像为椭圆形光斑，所述椭圆形光斑经聚焦透镜产生的聚焦光线，所述聚焦光线在目标面处聚焦成一条均匀的线形光斑；所述数字微镜阵列设置在所述压电陶瓷转动平台上，所述数字微镜阵列通过压电陶瓷转动平台控制实现高速扫描运动。
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公开(公告)号：CN103925994B
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201410120046.7
申请日：2014-03-27
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 提高DMD哈达玛变换光谱仪编码效率的电学结构，属于光电仪器制造技术领域，为了解决现有技术哈达玛变换光谱仪的编码、采集时间非常长的问题，控制FPGA将哈达玛编码条纹数据预存到FLASH中；Cortex-M3通过RS-232给FPGA发送开始编码的命令；FPGA接收到命令后，读取FLASH中255帧编码条纹数据到DDR2内存中，通过DAD驱动DMD播放编码条纹，对光谱进行编码；当DMD稳定后，FPGA会发送一个同步信号触发Cortex-M3对光谱信号进行采集，将探测器采集到的信号通过直流放大电路放大及ADC进行转换得到数字信号，最后将测得的信号存放在Cortex-M3中，当所有编码完成后进行解码。
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公开(公告)号：CN104459999A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410833528.7
申请日：2014-12-29
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 成像流式细胞仪的照明系统属于光学设计技术领域，目的在于解决现有技术存在的光能损耗大、利用率低、研制成本高、稳定性差和对光机设计存在一定制约的问题。本发明的成像流式细胞仪的照明系统包括激光光源、数字微镜阵列、压电陶瓷转动平台、激光扩束系统、柱面镜和聚焦透镜；激光光源输出的基模光线经数字微镜阵列生成反射光线，反射光线经激光扩束系统扩束形成圆形光斑的扩束光线，所述扩束光线经柱面镜成像为椭圆形光斑，所述椭圆形光斑经聚焦透镜产生的聚焦光线，所述聚焦光线在目标面处聚焦成一条均匀的线形光斑；所述数字微镜阵列设置在所述压电陶瓷转动平台上，所述数字微镜阵列通过压电陶瓷转动平台控制实现高速扫描运动。
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公开(公告)号：CN102788317B
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201210259953.0
申请日：2012-07-25
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： F21V5/04 , G02B3/06 , F21Y101/02
摘要： 用于夜间监控红外照明的新型LED全反射式透镜，属于半导体照明领域，为了解决现有红外照明灯光能利用率低、照明效果差、视场角变化范围小的问题，本发明提供一种用于夜间监控红外照明的新型LED全反射式透镜，包括圆形平面与圆柱表面形成的底部容腔和底部容腔表面、三段锥形全反射面、上端外围圆环面、上端中心透射面形成的封闭实体，本发明采用分档照明的方式实现了连续变焦照明的效果，且实现了更大的视场角变化范围，全反射式透镜结构不仅提高了系统的光能利用率，同时使目标面的辐照度分布更加均匀。
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公开(公告)号：CN103925994A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201410120046.7
申请日：2014-03-27
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 提高DMD哈达玛变换光谱仪编码效率的电学结构，属于光电仪器制造技术领域，为了解决现有技术哈达玛变换光谱仪的编码、采集时间非常长的问题，控制FPGA将哈达玛编码条纹数据预存到FLASH中；Cortex-M3通过RS-232给FPGA发送开始编码的命令；FPGA接收到命令后，读取FLASH中255帧编码条纹数据到DDR2内存中，通过DAD驱动DMD播放编码条纹，对光谱进行编码；当DMD稳定后，FPGA会发送一个同步信号触发Cortex-M3对光谱信号进行采集，将探测器采集到的信号通过直流放大电路放大及ADC进行转换得到数字信号，最后将测得的信号存放在Cortex-M3中，当所有编码完成后进行解码。
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公开(公告)号：CN103848393A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201310646737.6
申请日：2013-12-04
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： B81C1/00
摘要： 一种用于静电场诱导技术的超精密平行度调整与检测系统属于超精密加工和检测领域，该系统包括：基片间距及平行度检测与调整机构和基片固定制动装置，通过对基片固定制动装置上升、下降及偏转的控制实现超精密平行度调整与检测。该系统通过基片间距及平行度检测与调整机构实时检测上、下基片之间的间距和平行度，并与外部输入条件进行比较、矩阵处理，产生控制信号，控制下基片的上、下移动或偏转，从而实现对上、下基片的间距和平行度的精确控制，从而实现了对静电场诱导过程中关键参数的精确控制。
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公开(公告)号：CN103743702A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201310687831.6
申请日：2013-12-16
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G01N21/359
摘要： 一种光谱二维折叠的哈达玛变换近红外光谱仪，属于近红外光谱仪领域，为解决目前DMD哈达玛变换近红外光谱仪对DMD微镜利用不充分、光谱工作宽度和光谱分辨率难以同时提高的缺陷，该光谱仪从光源发出的宽波段复色光由光纤端口入射到准直透镜，准直为复色平行光入射到两个子光栅上，经两个互成夹角的光栅色散为两个相互平行的光谱带；利用静电驱动电路调整DMD的角度，使光谱带由成像透镜会聚后按波长顺序依次入射到DMD的不同位置，形成两个互相平行且两端对齐的光谱带；经DMD进行波长选通后由透镜聚焦在单点探测器上，将接收的光谱信息传送给光谱信息采集处理系统，对接收的光谱信息进行哈达玛逆变换解码，得到原始光谱信号的信息。
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公开(公告)号：CN102564343B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201110449273.0
申请日：2011-12-29
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 太阳能槽式曲面反光镜面形误差检测装置，涉及镜面检测领域，它解决现有对槽式曲面反光镜面形误差的检测时存在检测过程繁琐耗时，并且不适合快速、在线检测的问题，同时存在对后续的图像处理复杂的问题，本装置包括光源装置、自校准装置和图像采集与处理装置；光源装置包括激光器、扩束镜和分束镜组；激光器发出的光束经扩束镜扩束后再经分束镜组分束并反射，经分束镜组分束后的测试光束投射至被测曲面反光镜上，经分束镜组反射的自校准光束入射至自校准装置，自校准装置对投射至被测曲面反光镜上的测试光束的平行度校准；图像采集与处理装置接收被测曲面反光镜反射的光斑信息并判断被测曲面反光镜的面形误差。本发明易于操作，成本较低。
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公开(公告)号：CN103309042A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310269856.4
申请日：2013-06-28
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 居中式太阳日冕仪光路结构，属于日地空间领域，具体涉及一种居中式太阳日冕仪的光路结构。包括：外光阑、外掩遮光体、入射孔径光阑、物镜组、视场光阑、内掩遮光体、场镜组、Lyot光阑、中继镜组；所述外光阑、外掩遮光体、入射孔径光阑、物镜组、视场光阑、内掩遮光体、场镜组、Lyot光阑、中继镜组按照太阳光入射的先后顺序安装在镜筒内的光轴上。所述的外掩遮光体、內掩遮光体遮掩太阳直射光进入光学系统。视场光阑位于物镜组焦平面位置。內掩遮光体位于日冕经过外掩遮光体成像位置，外掩遮光体位于內掩遮光体对于物镜组的共轭位置。Lyot光阑位于入射孔径光阑经过物镜组和场镜组的成像位置。本发明设计一个对太阳光球层直射光遮掩的居中式太阳日冕仪结构，实现对太阳日冕有效观测。
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