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公开(公告)号：CN112387646B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202110072088.8
申请日：2021-01-20
Applicant: 常州江苏大学工程技术研究院 , 江苏亚电科技有限公司
Abstract: 本发明涉及一种防溢出硅片清洗设备，包括：清洗池和两平行设置的端板，分别与两端板固定连接的三个齿杆和三个支撑杆，硅片能够插到相邻两夹紧齿之间，两端板之间还转动连接有一安装板，安装板能够盖合在各硅片上，清洗池的两侧短边内侧壁分别具有一溢流腔体，清洗池的内侧壁开设有上溢流孔，清洗池的外侧壁底部开设有下溢流孔，下溢流孔与溢流腔体连通，清洗池内清洗液通过上溢流孔进入溢流腔体后，能够从下溢流孔排出；以及上溢流孔的位置处设置有清洗部，清洗部与上溢流孔的内侧壁贴合，且清洗部与安装板联动，其中安装板盖合时，安装板能够联动清洗部清洗上溢流孔，通过在下溢流孔处收集清洗液，避免清洗液溢出的情况，以保证使用安全性。
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公开(公告)号：CN110808219B
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN201911062024.9
申请日：2019-11-01
Applicant: 江苏亚电科技有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , H01L21/02 , B08B3/02
Abstract: 本申请涉及一种晶圆存放盒清洗装置，喷管设置在旋转架的内部和外部，以使清洗液或者水能够从两侧向清洗架喷洒，同时清洗架能够旋转，旋转的清洗架能够使晶圆充分地接收喷管喷出的清洗液或者气体，使得对晶圆的清洗更加充分干净。本申请同时还提供了一种晶圆存放盒的清洗方法。
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公开(公告)号：CN112599457A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202110223908.9
申请日：2021-03-01
Applicant: 常州江苏大学工程技术研究院 , 江苏亚电科技有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明公开了一种用于集成电路生产的硅片清洗装置，包括存放组件和连接组件，其中存放组件包括侧围栏和把手，所述把手设置于所述侧围栏顶部两端，所述侧围栏由多个平行设置的圆管环、竖直设置连接各圆管环的第一竖杆、与最底侧圆管环连接的底网和设置于所述底网上的放置板；连接组件包括第一抱合件和第二抱合件，所述第一抱合件和第二抱合件相互卡合，连接把手和扩展握把；本发明便于将硅片放置在药液槽中，且可存放数量多，便于拿取。
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公开(公告)号：CN112387645A
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN202110072080.1
申请日：2021-01-20
Applicant: 常州江苏大学工程技术研究院 , 江苏亚电科技有限公司
Abstract: 本发明涉及一种便于排液的硅片清洗设备,包括：清洗池、两端板，分别与两端板固定连接的三个齿杆和三个支撑杆，支撑杆能够上下滑动，且硅片能够插到相邻两夹紧齿之间；清洗池的槽底镜像设置有两排水管，排水管开设有排水槽，且排水管的内侧壁设置有挡块，以及挡块上方设置有一能够升降的堵块，堵块与排水槽适配，在端板沿清洗池池底滑动至安装位后，向下推动底部的支撑杆使得支撑杆按压堵块，堵块下滑至与挡块贴合并与挡块配合堵住排水槽，进而在安装端板的同时实现排水的关闭，在取出端板的同时，打开排水，进而实现对清洗池无接触开闭排水，以为工人的生命安全提供保障。
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公开(公告)号：CN117253775A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311088565.5
申请日：2023-08-25
Applicant: 江苏亚电科技有限公司
Abstract: 本申请涉及一种基于效果预测的晶圆清洗方法和装置，通过获取清洗前晶圆的图像来预测颗粒物的稳定浓度，之后再根据实际清洗过程中的颗粒物浓度来判断清洗效果是否达到良品要求，从而提高晶圆清洗的良品率。同时，由于颗粒物检测能够很好地适配晶圆清洗过程，易于实现连续生产线上的检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116544144B
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202310549654.9
申请日：2023-05-16
Applicant: 江苏亚电科技有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , F26B21/00
Abstract: 本申请涉及一种具有喷气功能的晶圆清洗干燥升降机构，属于晶圆制造设备技术领域。在具有喷气功能的晶圆清洗干燥升降机构中，动力组件驱动晶圆篮支撑座和晶圆支撑座做相对运动，喷气口设置于晶圆支撑座上，当晶圆支撑座升高到最顶端而将晶圆置于盖体内时，喷气口处于能够离盖体内的晶圆较近的位置，干燥气体能够直接喷吹到晶圆上，提高晶圆的干燥效率和相同时间下的干燥效果。
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公开(公告)号：CN116913848A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310637763.6
申请日：2023-05-31
Applicant: 江苏亚电科技有限公司
IPC: H01L21/687 , H01L21/677
Abstract: 本申请涉及一种晶圆翻转装置，升降组件负责第二晶圆支撑柱的升降，锁定驱动件负责固定第一升降板，以防止翻转时发生松动，升降组件由升降滚轮在具有斜面的升降滑块顶部运动而发生升降，由于升降滚轮只是作用在升降滑块顶部，因此不容易卡住，同时锁定驱动件的设置起到了固定作用，防止因为，升降滚轮上方没有限制作用而导致的第一升降板在翻转时发生移动，提高了设备的使用寿命。
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公开(公告)号：CN116913832A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310635500.1
申请日：2023-05-31
Applicant: 江苏亚电科技有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 本申请涉及一种晶圆搬运装置，所述晶圆搬运装置包括旋转运动机构、升降运动机构和水平运动机构分别用于带动承载座做旋转、升降和水平方向移动，第一固定块、第二固定块以及固定柱对晶圆片形成六个点的支撑，使得晶圆片不容易破损。其中第一固定块踢面的圆弧面刚好与晶圆片的边缘相抵靠，第二固定块以及固定柱均是以斜面的方式抵靠晶圆片，斜面使得晶圆片自然有下滑的趋势，使得晶圆片更容易抵靠在第一固定块上，具有自动校正位置的作用，提高了不同承载臂上的晶圆片的整齐度。
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公开(公告)号：CN116648779A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202180077560.5
申请日：2021-12-17
Applicant: 江苏亚电科技有限公司
IPC: H01L21/687
Abstract: 本申请涉及一种晶圆盒定位固定机构，第一固定定位块与第一侧边定位块先对晶圆盒底部进行初步固定，发出端滑动定位驱动件推动晶圆盒抵靠住第一固定定位块以对晶圆盒进行固定。而后，发出端滑动定位驱动件推动晶圆盒靠近第一固定定位块以对晶圆盒的侧壁进行固定。由于晶圆盒的两个面都被固定，晶圆盒不会因转动而松动提高了固定效果。
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公开(公告)号：CN116053188A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202310040867.9
申请日：2023-01-13
Applicant: 江苏亚电科技有限公司
IPC: H01L21/687 , H01L21/67 , H01L21/02 , B08B3/10
Abstract: 本申请属于晶圆清洗或者干燥生产设备技术领域，涉及一种圆片倾斜旋转的承载装置，通过相互传动连接的第一旋转轴、第二旋转轴和第三旋转轴将动力从第一支撑安装板上的一端传递到第三支撑安装板上，从而实现了第三支撑安装板上放置的晶圆篮内的晶圆在晶圆容纳盒内的转动，同时，万向联轴杆、升降板和升降块的设置，使得晶圆篮能够在承接机械手搬运的晶圆篮时为水平状态，下降到槽体内时为倾斜状态，无需机械手的配合，提高了工作效率。本申请还提供了基于上述圆片倾斜旋转的承载装置的圆片清洗干燥方法。
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