一种基于多次键合工艺的薄膜体声波谐振器的制备方法

    公开(公告)号:CN115001426A

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN202210447543.2

    申请日:2022-04-26

    IPC分类号: H03H3/02

    摘要: 本发明公开了一种基于多次键合工艺的薄膜体声波谐振器的制备方法,包括采用第一次晶圆键合方法制备第一压电薄膜结构,去除第一衬底,并在压电薄膜层表面沉积第二电极,在第二电极表面沉积牺牲层得到第二压电薄膜结构;对第二压电薄膜结构采用第二次晶圆键合方法得到第三压电薄膜结构;减薄第二衬底,在减薄的第二衬底上开窗口至保护层表面得到第一窗口,通过第二窗口在第一电极上沉积金属pad层,通过第三窗口在第二电极上沉积金属pad层,将腐蚀液加入第四窗口腐蚀牺牲层形成空腔,得到最终薄膜体声波谐振器。该方法能够避免制备过程中压电薄膜的崩裂,提升产品良率以及性能。

    一种高温声表面波应变传感器的高精度测试方法

    公开(公告)号:CN114485498A

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN202111536876.4

    申请日:2021-12-15

    申请人: 浙江大学

    IPC分类号: G01B17/04 G01B7/16

    摘要: 本发明为一种高温声表面波应变传感器的高精度测试方法,通过在声表面波高温应变传感器产生瑞利波模式两个谐振频率,此两谐振频率处于同一个传感器,采用同一个粘结,所以受到相同的应变传递比例,又因为是同样的瑞利波的SAW结构,所以两个谐振频率的温度系数和应变传底系数一样,但是两谐振频率对应变的敏感程度却有明显差异;利用此传感器的两谐振频率的应变灵敏度差值能够有效将应变传递比例、温漂等温度效应与被测应变的效应分离开来,大幅提升高温应变测试的精度和可重复性。

    一种快速智能定位体表神经肌肉运动位点的电刺激系统及方法

    公开(公告)号:CN113304398A

    公开(公告)日:2021-08-27

    申请号:CN202110652543.1

    申请日:2021-06-11

    申请人: 浙江大学

    IPC分类号: A61N1/36 A61N1/04

    摘要: 本发明公开了一种快速智能定位体表神经肌肉运动位点的电刺激系统及方法,电刺激系统包括BLE微控制器、电池、电源管理模块、智能刺激升压模块、双向刺激输出与恒流模块、采集模块、协同刺激与安全保护模块、电极阵列、加速度传感器等,可以智能搜寻并精确定位到神经肌肉运动位点。通过上位机程序或者手机APP与BLE微控制器进行通讯,设置电刺激参数,在电刺激前让电极阵列在待刺激肌肉表面进行扫描,从而识别到神经肌肉运动位点。识别完成后,电刺激系统将自动在神经肌肉运动位点上按照设置的参数实施电刺激。本发明有效解决了目前神经肌肉运动位点的识别依赖医护人员手动操作和经验的技术问题,能够缓解电刺激带来的不适感以及提高治疗效果。

    一种呼吸状态检测方法及无线无源的柔性声表面波传感器

    公开(公告)号:CN107137085B

    公开(公告)日:2019-08-27

    申请号:CN201710214163.3

    申请日:2017-04-01

    申请人: 浙江大学

    IPC分类号: A61B5/08

    摘要: 本发明公开了一种呼吸暂停检测方法及声表面波传感器,涉及检查呼吸器官的测量装置,呼吸暂停检测方法包括发射步骤、接收步骤及处理步骤;发射步骤包括向贴于被测对象鼻子下方的声表面波传感器发送射频脉冲,声表面波传感器包括用于接收射频脉冲的天线、压电基体及制备在压电基体上的叉指电极与声表面波反射栅,叉指电极与天线电连接;接收步骤包括接收由所述天线反馈的射频信号;处理步骤包括从反馈的射频信号中提取表征呼吸状态的信息。本发明的呼吸暂停检测方法操作简单,所采用的无线无源的柔性声表面波传感器无需电源供电及连线,整个装置重量小,十分轻便,无需电源供电,更加安全可靠,适合家庭使用。

    一种抬升工具
    66.
    发明公开
    一种抬升工具 审中-实审

    公开(公告)号:CN109986508A

    公开(公告)日:2019-07-09

    申请号:CN201910378586.8

    申请日:2019-05-08

    IPC分类号: B25B27/14

    摘要: 本发明公开了一种抬升工具,包括套筒组件、驱动组件和夹持件,所述套筒组件包括套筒、升降杆和支撑件;所述套筒的壁上设有缺口;所述升降杆设于所述套筒内,其外表面上设有若干个凸起;所述支撑件与所述套筒的外表面相连,用于支撑柱形靶;所述驱动组件设于所述套筒的外侧,包括轴和齿轮;所述轴与套筒转动相连,所述齿轮固定套设在所述轴上,且位于套筒上的缺口处,与升降杆外壁上的凸起相啮合;所述夹持件与所述套筒的外壁相连。本发明能够克服重力的影响,采用抬举后再拧螺纹的方法,实现了单人就可以方便地完成柱形靶的安装和拆卸,相比于传统的双人安装方式,不但节省了人力,同时还提高了安装的可靠性及拆卸的方便性。

    一种氮化铝陶瓷覆铜板及其制备方法

    公开(公告)号:CN105777210B

    公开(公告)日:2018-07-17

    申请号:CN201610136483.7

    申请日:2016-03-10

    申请人: 浙江大学

    发明人: 陈波 王德苗 金浩

    IPC分类号: H05K3/40 C04B41/90

    摘要: 本发明公开了一种氮化铝陶瓷覆铜板,该覆铜板依次由氮化铝陶瓷基底、激光活化层、高能溅射铜层、低能铜层四层结构组成。本发明还公开了该种氮化铝陶瓷覆铜板的制备方法,步骤如下:A、对氮化铝陶瓷基底进行清洗;B、使用激光束扫射氮化铝陶瓷基底表面,制备激光活化层;C、在上述激光活化层上利用磁控溅射在低气压高电压条件下沉积高能溅射铜层;D、在高能溅射铜层上采用溅射镀铜法、化学镀铜法或蒸发镀铜法制备低能铜膜,得到氮化铝陶瓷覆铜板。本发明相比一般氮化铝陶瓷金属化的结构,具有制备过程无污染,膜层质量高,结合强度大,结构简单稳定,工艺兼容性强等优点。

    一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具

    公开(公告)号:CN105908124B

    公开(公告)日:2018-06-26

    申请号:CN201610522031.2

    申请日:2016-07-05

    IPC分类号: C23C14/04 C23C16/04

    摘要: 本发明公开了一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具,包括上掩膜板、下掩膜板和被上下掩膜板夹于中间的弹性板;所述上掩膜板和下掩膜板上均设置有所需镀膜形状的掩膜开孔、第一紧固孔、第一定位孔;所述弹性板上设置有弹性机构、与上掩膜板和下掩膜板配合使用的第二紧固孔和第二定位孔;所述弹性机构包括第一半岛形结构和第二半岛形结构,第一半岛形结构和第二半岛形结构的形状为任意互补配合的几何形状,并分别向弹性机构平面的上下面翘起。本发明可以低成本地实现样品的一个需镀膜表面与掩膜板掩膜开孔边缘紧贴,以防止气相沉积过程中沉积粒子进入不需要镀膜的遮掩部分,从而提高镀膜产品的品质。

    一种同时检测创面多种生理参数指标的装置及方法

    公开(公告)号:CN107684433A

    公开(公告)日:2018-02-13

    申请号:CN201710607266.6

    申请日:2017-07-24

    申请人: 浙江大学

    IPC分类号: A61B5/1455

    摘要: 本发明公开了一种检测创面多种生理参数指标的装置,包括:反射式光电检测模块、对创面生理参数敏感的敏感薄膜、以及位于敏感薄膜和光电器件之间的透明隔离层薄膜;所述的反射式光电检测模块包括一个光电接收管、n个发光二极管LED和驱动电路构成。将与不同波长的LED一一对应的n种敏感薄膜按照反射光路一一对应的位置布局,复用了多个生理参数的光电检测,可以利用不同波长的光分时检测创面的多种生理参数,并实现原位在线的多种生理参数检测。

    同端进出式连续溅射镀膜设备

    公开(公告)号:CN102181839B

    公开(公告)日:2013-01-23

    申请号:CN201110149168.5

    申请日:2011-06-03

    申请人: 浙江大学

    IPC分类号: C23C14/34 C23C14/56

    摘要: 本发明涉及一种同端进出式连续溅射镀膜设备,它包括真空腔体和真空抽气装置,所述真空抽气装置与真空腔体相连通,其特征在于所述真空腔体由相邻且相通的预抽室和溅射室两个真空室构成,两个真空室之间设有隔离阀,腔体的末端和前端分别设有盲法兰和真空锁阀,所述真空锁阀外侧设有一个装卸片台,在溅射室内设置有工件架传输装置,在预抽室内装有复合传输装置,所述溅射室内装有至少三对相对布置的磁控溅射靶,所述工件架传输装置能够与工件架相配合;具有结构紧凑、占地面积小,需要的超净区域少、吞吐量大,能耗低、膜层质量好等优点。