薄膜晶体管液晶显示装置的蚀刻组合物

    公开(公告)号:CN103184453A

    公开(公告)日:2013-07-03

    申请号:CN201310110330.1

    申请日:2007-05-10

    IPC分类号: C23F1/16 G02F1/1362

    摘要: 本发明提供一种薄膜晶体管液晶显示装置的蚀刻组合物,通过使用该组合物即可利用单一工序来对构成薄膜晶体管液晶显示装置的TFT中的作为栅极配线材料的Mo/AlNd双重膜或Mo/AlNd/Mo三重膜进行湿式蚀刻以获得优异的锥形而不会产生作为下部膜的AlNd或Mo的底切现象,同时使得作为源极/漏极配线材料的Mo单一膜和Mo/AlNd/Mo三重膜也可以形成优异的轮廓。本发明涉及薄膜晶体管液晶显示装置的蚀刻组合物,特别是涉及含有a)磷酸、b)硝酸、c)乙酸、d)锂类化合物、e)磷酸盐类化合物和f)水的薄膜晶体管液晶显示装置的蚀刻组合物。

    半导体或显示屏制造工艺的试液再循环方法和装置

    公开(公告)号:CN101362033B

    公开(公告)日:2013-04-10

    申请号:CN200810144922.4

    申请日:2008-08-07

    IPC分类号: B01D21/26

    摘要: 本发明涉及半导体或显示屏制造工艺的试液再循环方法和装置,其能够在工序进行中除去半导体或显示屏制造工艺的试液(特别是在清洗或剥离工序中的清洗液或剥离液)所含有的渣,能够实现连续运转和实时运转,通过调节离心加速度、停留时间等而具有能够容易地实现对工序上难除去的颗粒状微粒进行固液分离至所期望的粒度范围的效果。所述方法的特征在于,其包含如下阶段:由半导体或显示屏工艺设备向外部供给使用过的试液的阶段;对所述试液进行离心分离,分离成i)渣和ii)试液的离心分离阶段;将在离心分离阶段中在离心力的作用下被分离排出的试液收集,再供给到工艺设备中的再循环阶段;和将由离心分离阶段分离出的渣收集的阶段。

    抗蚀膜剥离剂组合物
    65.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101093365B

    公开(公告)日:2013-02-20

    申请号:CN200710123038.8

    申请日:2007-06-22

    IPC分类号: G03F7/42

    摘要: 本发明涉及一种用于去除在电子电路或显示元件的布图(pattern)过程中所使用的抗蚀膜、且能够抑制对金属布线腐蚀的抗蚀膜(resist)剥离剂组合物,所述抗蚀膜剥离剂组合物优选包含:a)1至20wt%的二胺化合物(diamine compound);和b)余量的乙二醇醚化合物(glycol ether compound)。本发明可进一步包含极性溶剂。本发明抗蚀膜剥离剂组合物,在进行去除光致抗蚀膜的工序过程中,将不会腐蚀金属布线,且具有优秀的剥离效果。

    黑色导电膏组合物、防电磁波过滤器及显示器

    公开(公告)号:CN101599311B

    公开(公告)日:2012-11-21

    申请号:CN200910146422.9

    申请日:2009-06-02

    IPC分类号: H01B1/22 H05K9/00 H01J17/49

    摘要: 本发明涉及黑色导电膏组合物、利用该组合物的防电磁波过滤器及具有该过滤器的显示器。所述黑色导电膏组合物包括:a)高分子树脂及单体或低聚物;b)溶剂;d)玻璃粉;e)导电物质及f)黑色颜料,其中导电物质包括平均粒径为0.5-5μm的导电金属粉及平均粒径为0.02-0.09μm的导电微粒。在制造设置在等离子体显示器面板上并用来防止电磁波的防电磁波过滤器时,本发明的组合物可适于采用凹版胶印方法制造防电磁波过滤器,尤其可以提高低温烧成效果并防止印刷特性的下降。

    蚀刻组合物
    68.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1670624B

    公开(公告)日:2012-11-14

    申请号:CN200510055418.3

    申请日:2005-03-17

    摘要: 本发明涉及薄膜晶体管液晶显示装置的蚀刻组合物,为了对薄膜晶体管液晶显示装置的透明导电膜(ITO膜)进行选择性地蚀刻,所用的蚀刻组合物中含有盐酸、醋酸、添加剂及超纯水,它们随时间的变化小,将对于其他的配线的影响最小化,从而实现了对薄膜的稳定蚀刻,且蚀刻速度快,减轻了侧蚀。