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公开(公告)号：CN103528663B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201310512073.4
申请日：2013-10-26
Applicant: 中北大学
IPC: G01H3/00
Abstract: 本发明为一种具有隔振功能的MEMS矢量水听器封装结构，该封装结构减小了工作环境对MEMS矢量水听器性能指标的影响。该装置包括内设放大电路板的外支柱、软支柱、支撑底盘和透声帽，支撑底盘上安装有软支座，软支座包括设有缓冲孔和缓冲凸块的支撑柱体，支撑柱体顶部设有底板和安装槽，安装槽内安装有MEMS矢量水听器。检测时，工作平台的振动噪声通过外支柱向MEMS水听器传播的路径上，外支柱可以阻隔掉噪声中高于软支撑结构固有频率的大部分噪声成分，软支座可以滤除掉部分未被软支撑隔掉的振动噪声。本发明开创性地利用封装材料的特性和结构设计来实现对水听器的隔振要求，设计结构简单，隔振效果明显。
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公开(公告)号：CN103354272B
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201310235574.2
申请日：2013-06-15
Applicant: 中北大学
IPC: H01L41/22 , H01L41/37 , H01L41/33 , H01L41/333
Abstract: 本发明为一种卷对卷制备大面积微纳米结构发电机薄膜的方法，解决了现有制备微纳米结构发电机薄膜的方法存在工艺复杂、产品面积受尺寸限制等问题。该方法首先将碳纳米管和压电颗粒按比例混入到液态PDMS制成可塑性聚合物，然后将可塑性聚合物放置于压印装置内并依次通过初步成型、压印、固化定型步骤在可塑性聚合物上压印得到微纳凹凸结构，最后对可塑性聚合物溅射电极即制备得到了微纳米结构发电机薄膜。本发明方法工艺简单、成本低、可重复性好，可实现快速、批量制作出大面积、厚度和成分均匀的柔性薄膜材料。本发明为实现微能源的集成化、规模化、商业化，对于新能源开发、可再生能源重复利用奠定了基础。
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公开(公告)号：CN104635301A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201510070081.7
申请日：2015-02-11
Applicant: 中北大学
IPC: G02B6/28
Abstract: 本发明涉及基于LTCC的高Q值光学微腔耦合系统的封装结构和封装方法，其结构包括光学微腔，耦合器，两层封装体；所述的封装体第一层由包容整个光学微腔、耦合器的光学透明封装材料凝固构成，提高了系统的抗震能力，第二层是由陶瓷材料所做的上中下分立结构，第一层封装体整个结构通过技术操作完全内嵌于中间层，上下两层在高温下通过粘合剂与中间层紧密粘合，控制了第一层封装材料易受环境温度影响的缺点，提高温度稳定性。利用折射率低于光学微腔耦合系统折射率的光学透明封装材料，用来包容整个光学微腔和耦合器所构建的耦合结构，外部再加一层特殊结构的陶瓷材料控制环境温度变化带来的误差。这种封装结构和封装方法使光学微腔耦合系统更加稳定。
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公开(公告)号：CN103048013B
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201210569240.4
申请日：2012-12-25
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于微纳器件标定测试的技术领域，具体是一种可变环境下微纳传感器的自动加载平台，解决了目前由于微纳器件，如压力传感器、加速度传感器等的特殊性，大多数的测试设备要求进行特定的环境测试、电气测、电气测试及机械测试。其包括传感器测试柜、自动加装子系统、控制子系统、数据网栅接口、高精度多通道数据采集板；所述控制子系统包括温度调整装置以及湿度调整装置、温度传感器和湿度传感器、轴上倾角传感器。本发明与现有的技术相比有如下优点：满足传感器多种参数的同时或分别测试需求，解决了以往只能实现环境单一变量测试的问题，适用于复杂环境测试场合；量实现标定、测试的高精度需求。
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公开(公告)号：CN102830370B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201210294098.7
申请日：2012-08-18
Applicant: 中北大学
IPC: G01R33/02
Abstract: 本发明涉及磁场检测装置，具体为一种基于Fe3O4纳米颗粒的磁场检测装置及其制造方法，解决了现有基于Fe3O4纳米颗粒的磁流体材料制备条件苛刻且长期放置时极不稳定的问题。基于Fe3O4纳米颗粒的磁场检测装置，包括下铜片电极、敏感材料层、上铜片电极；敏感材料层是由颗粒度为20nm的Fe3O4纳米颗粒与聚合物绝缘胶以质量比为1:2-3.5的比例混合而成；敏感材料层的外边缘上涂有绝缘硅胶。同时公开了上述基于Fe3O4纳米颗粒的磁场检测装置的制造方法。本发明所述的装置性能稳定，制备方法简单，分辨率可以达到30nT左右，可测试磁场范围较宽；可广泛适用于车辆检测、无刷电机、目标识别、地磁导航等方面。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104482984A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201410763223.3
申请日：2014-12-13
Applicant: 中北大学
IPC: G01F23/00
Abstract: 本发明涉及一种基于POF光纤宏弯的液位传感器，是用一根POF裸光纤折弯制作的顶部宏弯弯曲半径为2.5mm单宏弯光纤环形结构，以其顶部宏弯部分作为探头，POF裸光纤两个末端有光纤接头；用于封装该单宏弯光纤环形结构的固定结构，探头从该固定结构顶部露出。本发明采用单宏弯光纤环型结构设计，单纯利用光纤宏弯增强CMFTIR效应，实现了区分度1.06dB，满足液位测量需求。且无需双光纤耦合，因此简化了工艺难度，结构也更加紧凑，适宜于在狭窄空间内使用。同时SMBFL结构液体沾粘度低，极大的降低初浴“误差”；SMBFL直接探测功率较强的明场信号，满足长距离传输的需求。
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公开(公告)号：CN104464254A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410739316.2
申请日：2014-12-08
Applicant: 中北大学
IPC: G08C19/00
Abstract: 本发明涉及数据采集技术，具体是一种分布式数据同步采集装置及方法。本发明解决了现有数据采集装置无法实现分布式数据同步采集的问题。一种分布式数据同步采集装置，包括上位机、总控制单元、RS485总线、分布式数据采集单元；所述总控制单元包括一个FPGA、一个FLASH存储器、一个电源转换器、一个RS485接口；所述分布式数据采集单元的数目为n个；每个分布式数据采集单元均包括一个CPLD、一个A/D转换器、一个电源转换器、一个RS485接口。本发明适用于各种工业生产和科学研究领域。
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公开(公告)号：CN104345176A
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201410661505.2
申请日：2014-11-19
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明一种自校准数字加速度传感器，属于传感器的技术领域；一种体积小、传输可靠性较高、且通讯线路简单的自校准数字加速度传感器；采用的技术方案为：依次电连接的信号采集模块、信号调理模块、微处理器控制模块和通讯模块，所述微处理器控制模块包括A/D转换单元、CPU、内部温度传感器和CAN控制器，所述通讯模块包括CAN收发器U4；适用于传感器应用的领域。
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公开(公告)号：CN102507978B
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201110299758.6
申请日：2011-09-29
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及微加速度计，具体为一种基于e指数半导体器件的嵌入式高灵敏度微加速度计。本发明解决了现有微加速度计灵敏度低无法满足测量要求的问题。基于e指数半导体器件的嵌入式高灵敏度微加速度计，包括Si基外延2umGaAs衬底、e指数半导体器件、质量块、检测梁、以及控制孔；其是由包括如下步骤的制造方法制得的：e指数半导体器件的制备：刻蚀出控制孔；将质量块背面进行深槽刻蚀；从基片背面ICP刻蚀控制孔直至穿透，继续ICP刻蚀基片背面形成检测梁，最终释放质量块，形成完整的微加速度计结构。本发明所述的微加速度计具有高灵敏度，有效利用了e指数半导体器件的力电耦合、转换机理，可广泛适用于加速度测量。
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公开(公告)号：CN104121984A
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201410402582.6
申请日：2014-08-16
Applicant: 中北大学
IPC: G01H11/08
Abstract: 本发明涉及矢量水听器，具体是一种高灵敏度谐振式MEMS矢量水听器结构。本发明解决了现有矢量水听器抗干扰能力差、灵敏度低的问题。一种高灵敏度谐振式MEMS矢量水听器结构，包括四梁臂硅微结构、微型柱状体、中心连接体、驱动电极、检测电极；其中，四梁臂硅微结构和中心连接体均位于同一平面；微型柱状体的下端垂直固定于中心连接体的上表面中央；驱动电极的数目、检测电极的数目均为八个；第一个驱动电极铺设于四梁臂硅微结构的前梁臂的上表面左前部；第二个驱动电极铺设于四梁臂硅微结构的前梁臂的上表面左后部。本发明适用于水下声压信号的精确定位和测量。
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