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公开(公告)号：CN108007387B
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201711238050.3
申请日：2017-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 基于结构光照明的面形测量装置和方法，属于光学显微成像与测量技术领域。本发明专利的技术特点是：装置包括：结构光照明模块、轴向扫描模块和探测模块。本发明在常规结构光照明显微系统中增加由偏振分光镜、低孔径物镜、管镜和平面反射镜等组成的轴向扫描装置，实现结构光照明条纹在被观测样品空间的高速轴向移动，并且利用窗口傅里叶变换对不同z向位置条纹投影下拍摄的图片进行处理，计算每个子区域图像在投影条纹频率处的相关系数，获取每个横向位置清晰度轴向响应曲线，曲线的峰值位置即为样品该横向位置的相对高度，最终获取样品表面面形。该发明具有装调简单，轴向扫描速度快，测量结果受样品表面反射率差异影响小和信噪比高的优点。
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公开(公告)号：CN108020174A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201711242382.9
申请日：2017-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京锐驰恒业仪器科技有限公司
IPC: G01B11/25
CPC classification number: G01B11/25
Abstract: 基于结构光照明的面形测量装置和方法，属于光学显微成像与测量技术领域。本发明的技术特点是：装置包括：结构光照明模块、轴向扫描模块和探测模块。本发明在常规结构光照明显微系统中增加由偏振分光镜、低孔径物镜、管镜和平面反射镜等组成的轴向扫描装置，实现结构光照明条纹在被观测样品空间的高速轴向移动，并且利用窗口傅里叶变换对不同z向位置条纹投影下拍摄的图片进行处理，计算每个子区域图像在投影条纹频率处的相关系数，获取每个横向位置清晰度轴向响应曲线，曲线的峰值位置即为样品该横向位置的相对高度，最终获取样品表面面形。该发明具有装调简单，轴向扫描速度快，测量结果受样品表面反射率差异影响小和信噪比高的优点。
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公开(公告)号：CN107941770A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201711242152.2
申请日：2017-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G01N21/6458 , G02B21/361
Abstract: 变焦双光子光镊显微成像装置和方法，属于光学显微成像与光学操控技术领域。本发明专利的技术特点是：装置包括：双光子照明模块、双光子扫描模块、双光子探测模块、双光子轴向调焦模块和光镊聚焦模块。本发明在常规双光子显微系统中增加由偏振分光镜、四分之一波片、低孔径物镜、管镜和平面反射镜组成的轴向调焦装置，实现共光路光镊双光子显微镜中双光子焦面的轴向移动，从而抓取悬浮样品实现轴向移动，完成双光子三维层析扫描成像。该发明具有装调简单，变焦与轴向层析速度快，低观测成本低的优点。
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公开(公告)号：CN107861230A
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201711238079.1
申请日：2017-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B21/00
Abstract: 变焦光镊共聚焦显微成像装置及方法，属于光学显微成像与光学操控技术领域。本发明的技术特点是：装置包括：共聚焦照明模块、共聚焦扫描模块、共聚焦探测模块、光镊聚焦模块和光镊轴向调焦模块。本发明在常规光镊显微系统中增加由偏振分光镜、四分之一波片、低孔径物镜、管镜和平面反射镜组成的轴向调焦装置，实现共光路光镊共聚焦显微镜中光镊焦面的轴向移动，从而抓取悬浮样品实现轴向移动，完成共聚焦三维层析扫描成像。该发明具有装调简单，变焦与轴向层析速度快，观测成本低的优点。
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公开(公告)号：CN104296688A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201410617222.8
申请日：2014-11-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于差动双光子方法测量光滑自由曲面样品装置和方法属于光学显微测量领域；该装置包括飞秒激光器、传导光纤、准直物镜、二向色镜、聚焦物镜、镀膜样品、三维微位移载物台、滤光片、收集物镜、分光棱镜、第一针孔、第一光电探测器、第二针孔和第二光电探测器。本发明利用飞秒激光器经传导光纤和准直物镜得到平行光，再经二向色镜和聚焦物镜将光束聚焦到放置在三维微位移载物台上的镀膜样品上，聚焦光斑非线性激发荧光膜发出荧光，经第一光电探测器和第二光电探测器收集后，两路信号进行差分运算得到差动响应曲线，通过差动响应曲线零点确定镀膜样品表面位置。采用发明装置与方法测量光滑自由曲面，可以测量法线与光轴方向夹角大的样品表面形貌。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115343829B
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202211046963.6
申请日：2022-08-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种平场远心管镜，包括从物侧到像侧沿光轴依次设置的光阑、第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜，第一透镜和第二透镜相胶合，第三透镜和第四透镜相胶合；第一透镜为具有负光焦度的正弯月透镜；第二透镜为具有负光焦度的负弯月透镜；第三透镜为具有正光焦度的正弯月透镜；第四透镜为具有正光焦度的弯月透镜；第五透镜为具有正光焦度的双凸透镜；第六透镜为具有正光焦度的弯月透镜。该管镜在主光线在像面上的倾斜角度小于0.1°，各种像差得到很好矫正，且结构简单，设计合理，易于制造。
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公开(公告)号：CN117521351B
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202311435898.0
申请日：2023-10-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种大口径非球面的轨迹规划设计方法，它涉及一种轨迹规划设计方法。本发明为了解决现有非规则表面或非球面测量技术的测量精度和效率较低的问题。本发明首先根据回转件的面型方程建立面型模型，用做路径规划的基础；然后通过预扫确定轨迹扫描的范围和回转件的曲率、半径和高度等信息；再根据测量要求确定螺线扫描的上升速度和回转速度后，通过路径规划算法给出轨迹扫描中各途径点的空间坐标；最后对离散的轨迹扫描进行平滑处理后，发送给运动执行机构。本发明属于光学精密测量技术领域。
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公开(公告)号：CN117517318B
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202311425900.6
申请日：2023-10-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/88 , G02B21/06 , G02B21/10 , G02B26/10 , G02B6/02 , G02B27/10 , G02B27/30 , G02F1/01 , G01N21/49 , G01N21/01
Abstract: 基于涡旋分量排序的暗场共焦显微测量装置及方法，它涉及一种暗场共焦显微测量装置及方法。本发明为了解决传统共焦显微测量的亚表面缺陷无损检测技术检测维度单一，无法实现缺陷的复杂几何特性表征及物理特性分析，亚表面缺陷判定准确率不足的问题。本发明所述测量装置包括高斯照明模块、涡旋排序模块、线阵探测模块和三维位移台；待测样品设置在三维位移台上，所述高斯照明模块发射的激光照射在待测样品上，待测样品的反射光经由所述高斯照明模块和所述涡旋排序模块后由所述线阵探测模块接收。本发明属于光学精密测量技术领域。
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公开(公告)号：CN116482107B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202310253087.2
申请日：2023-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于涡旋二向色性的暗场共焦显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。包括阵列涡旋光产生模块、阵列涡旋光照明模块和阵列暗场共焦探测模块；阵列涡旋光产生模块的阵列涡旋波片生成涡旋光照明阵列涡旋光照明模块的样品，阵列暗场共焦探测模块提取散射信号，并对相反阶数涡旋光照明下的收集的散射信号作差。直接分析一阶涡旋照明下的散射信号，可提取亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；分析相反阶涡旋光照明下的散射信号差值，可获取微纳结构的手性信息。
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公开(公告)号：CN118379467A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410616864.X
申请日：2024-05-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出一种并行共焦扫描的多点云融合方法，所述方法包括：对由单组虚拟针孔掩膜得到的散乱稀疏点云进行重整，得到规则密集点云；根据不同组针孔的位置信息，得到不同组点云的相对位置关系；根据位置关系对规则密集点云重新编号，并根据要求扩展点云x、y轴，变为规则稀疏点云；将所有规则稀疏点云进行叠加，得到含多组数据的规则密集点云。本发明实现了散乱点云的规则化，并实现多组点云之间的准确融合配准，为实现更高精度的三维形貌还原提供支持。
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