公开(公告)号：CN107385504A

公开(公告)日：2017-11-24

申请号：CN201710524891.4

申请日：2017-06-30

Applicant: 哈尔滨工业大学 ,  厦门大学

Inventor： 胡振江 ,  闫永达 ,  詹东平 ,  曹永智 ,  赵学森 ,  韩联欢

IPC: C25F7/00 ,  C25F3/02 ,  B23H3/04 ,  B23H3/00 ,  B81C1/00 ,  B81B7/04 ,  B82Y40/00

CPC classification number: C25F7/00 ,  B23H3/00 ,  B23H3/04 ,  B81B7/04 ,  B81C1/00373 ,  B81C2201/0185 ,  B81C2201/0191 ,  B82Y40/00 ,  C25F3/02

Abstract: 基于电化学约束刻蚀的阵列电极及其加工方法。本发明涉及一种基于电化学约束刻蚀的阵列电极及其加工方法。所述的主控制系统将控制信号发送给电化学工作站、阵列电极控制与运动控制系统，所述的电化学工作站、阵列电极控制与运动控制系统再将信号反馈给主控制系统。本发明用于基于电化学约束刻蚀的阵列电极。

公开(公告)号：CN103212973B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201310155810.X

申请日：2013-04-28

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 卢礼华 ,  张庆春 ,  于福利 ,  曹永智 ,  梁迎春

IPC: B23P19/02

Abstract: 一种大口径光学元件的横向在线洁净拆装方法，它涉及一种大口径光学元件的横向洁净拆装方法。本发明为了解决大口径光学聚焦与频率转换系统维护光学元件时间长，装置运行效率低的问题。本发明主要步骤：打开大口径光学聚焦与频率转换系统壳体上的充压接口法兰，将洁净风机与洁净充气接口相连；将拆装装置运输到转换系统附近；启动洁净风机；打开光学元件拆装接口法兰；调整拆装装置位姿，将其连接到光学元件拆装接口法兰上；拔出箱体盖板；通过操作口转移光学元件；插入箱体盖板；将拆装装置拆下；封闭拆装接口法兰口；停止洁净风机；将洁净风机从充压接口法兰上拆除，并封闭充压接口；将转运箱运输回百级洁净实验室进行维修。本发明将光学元件的维护周期从2天缩短到2小时。

公开(公告)号：CN103230900B

公开(公告)日：2015-03-04

申请号：CN201310155856.1

申请日：2013-04-28

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 曹永智 ,  卢礼华 ,  于福利 ,  张庆春 ,  梁迎春

IPC: B08B5/02

Abstract: 一种用于保持大口径光学元件表面洁净的冲扫装置，它涉及一种物理光学技术领域的洁净度保持装置和方法。本发明解决了激光通过光学元件时会产生气溶胶，污染光学元件表面，光学元件表面需要进一步的清理，目前还没有合适的装置来实现保持激光传输光学元件的洁净度问题。用于保持大口径光学元件表面洁净的冲扫装置包括进气端气体输送导管、不锈钢气刀、出气端组件；不锈钢气刀和出气端组件相对应安装在光学组件壳体上，不锈钢气刀和出气端组件的安装位置与光学组件壳体内的大口径光学组件相对应，进气端气体输送导管连接在不锈钢气刀的进气口处。本发明用于保持激光传输光学组件的洁净度。

公开(公告)号：CN103837708A

公开(公告)日：2014-06-04

申请号：CN201210492775.6

申请日：2012-11-27

Applicant: 厦门大学 ,  哈尔滨工业大学

Inventor： 詹东平 ,  韩联欢 ,  袁野 ,  胡振江 ,  曹永智 ,  赵学森 ,  闫永达 ,  田中群

IPC: G01Q30/00 ,  G01Q30/20 ,  G01C9/00

Abstract: 本发明提供了一种电化学体系中工件的水平检测装置、调平装置及调平方法。该水平检测装置包括：宏微位移平台；位移台，固设于宏微位移平台确定的X-Y平面上，可在该X-Y平面上进行位移，电解池与该位移台相对静止；探针电极，固设于宏微位移平台确定的Z方向上，其检测端浸入垂直向下进入电解池内的电解液中，距离电解池内的工件预设距离；以及电化学工作站，其工作电极连接至探针电极，其辅助电极和参比电极均连接浸入电解池内的电解液中，控制工作电极电位恒定，检测该工作电极随位移台的运动而变化的电流信号，获得电流信号曲线，由电流信号曲线的起伏幅度获知电解池内工件的倾斜程度。本发明可提高电解液中工件水平检测的精度。

公开(公告)号：CN103230899A

公开(公告)日：2013-08-07

申请号：CN201310155809.7

申请日：2013-04-28

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 梁迎春 ,  曹永智 ,  于福利 ,  卢礼华 ,  张庆春

IPC: B08B5/02

Abstract: 一种用于冲扫激光传输光学系统中微小颗粒的进气节流板装置，它涉及一种用于冲扫激光传输光学组件中颗粒物的进气节流板装置。本发明为了解决现有的激光传输光学组件中微小颗粒污染和有机物污染对激光的传输质量以及对光学元件损伤问题。冲扫进气口法兰连接在进气板的中心位置上，冲扫进气节流板连接在进气板上，冲扫进气口法兰和冲扫进气节流板分列在进气板的两侧，冲扫进气节流板与进气板之间形成冲扫进气室，冲扫进气节流板上开有多个节流孔，节流孔与进气室连通，冲扫进气口法兰的进气口与进气室连通，冲扫进气节流板的厚度为5mm。本发明用于防止冲扫气体形成紊流，保持激光传输光学组件内部的空气洁净度。