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公开(公告)号：CN103572356A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310304043.4
申请日：2013-07-18
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: C25D21/08 , B08B3/08 , C25D5/12 , C25D17/001 , C25D17/06
Abstract: 一种电镀装置，具有：电镀槽，在其内部保持电镀液；基板输送装置，其从基板盒取出电镀前的基板，将电镀后的基板送回到基板盒；基板保持架，其用密封部件将基板的外周部予以密封并将该基板保持成装拆自如，使基板浸渍在所述电镀槽内的电镀液中；模仿基板，其配置在基板输送装置可存取的位置；以及基板保持架清洗槽，其使在用密封部件将模仿基板的外周部予以密封的状态下保持该模仿基板的基板保持架浸渍在清洗液中，进行清洗。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103361695A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310102661.0
申请日：2013-03-27
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: C25D7/12
CPC classification number: C25D17/06 , C25D17/001 , C25D17/004 , C25D21/12
Abstract: 本发明提供一种电镀方法和电镀方法装置，其能够迅速并可靠地发现密封构件的密封性的重大问题，即使对极微量的泄漏也可在事前或事后可靠发现。该电镀方法中，实施第1阶段泄漏检查，即基板的外周部以密封构件(66，68)密封且基板W由基板架(18)保持，对基板架保持基板时以密封构件密闭的在该基板架的内部形成的内部空间R内进行真空吸引，对该内部空间在规定时间后是否达到规定真空压力进行检查，并且实施第2阶段泄漏检查，即对第1阶段泄漏检查合格了的保持基板的基板架，密封内部空间并检查该内部空间内的压力在规定时间内是否变化了规定值以上。
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公开(公告)号：CN304737051S
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201830140936.3
申请日：2018-04-09
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 1．本外观设计产品的名称：电连接端子。
2．本外观设计产品的用途：用于作为设在衬底镀敷装置的衬底保持器的保持器悬架上的连接端子，其与密封保持器内部的电接点通过布线而连接，在衬底保持器浸渍于镀敷槽时，与设于镀敷槽侧的供电板接触而向密封保持器内部的电接点通电，从而对配置于支承面上的衬底实施镀敷。
3．本外观设计产品的设计要点：在于产品的形状。
4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图1。
5．省略视图：由于左视图与右视图对称，因此省略左视图。-
公开(公告)号：CN304731655S
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201830140064.0
申请日：2018-04-09
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 1．本外观设计产品的名称：电连接端子。
2．本外观设计产品的用途：用于作为设置于衬底镀敷装置的固定保持部件的下部电接点，其与可动保持部件所具有的上部电接点的下端部相抵接并通电，来对配置在支承面上的衬底（晶片）实施镀敷。
3．本外观设计产品的设计要点：在于产品的形状。
4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。
5．省略视图：由于后视图与主视图对称，左视图与右视图对称，因此省略后视图和左视图。 -
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