公开(公告)号：CN109252205A

公开(公告)日：2019-01-22

申请号：CN201811423145.7

申请日：2018-11-27

申请人： 无锡雷德环保设备有限公司

发明人： 潘道定 ,  郭胜

IPC分类号： C25D17/02

CPC分类号： C25D17/02 ,  C25D17/004

摘要： 发明提供一种密封的电镀槽，包括槽体、玻璃盖板、第一密封条，所述槽体为上端开口的方形结构且上边缘设置有所述第一密封条，所述玻璃盖板通过合页连接在所述槽体的长边上。所述槽体由若干个支撑板分割成若干个槽区，每个槽区均设置有所述玻璃盖板，所述支撑板的上部设置有两排第一凹槽，所述第一凹槽内卡入式的设置有第二密封条，所述支撑板的两端通过固定块可拆卸的连接到所述槽体的两对称长边上。本发明电镀槽的槽体的上边缘用第一密封条密封，支撑板上用第二密封条密封，玻璃盖板的四条边被第一密封圈和第二密封圈密封，提高了槽体的密封效果，电镀药水产生的水汽及气味被封闭在槽内不会逸散至车间环境内，有效改善车间的工作环境。

公开(公告)号：CN108441928A

公开(公告)日：2018-08-24

申请号：CN201810152194.5

申请日：2018-02-14

申请人： 发那科株式会社

发明人： 艾敏杰

IPC分类号： C25D17/00 ,  C25D21/00

CPC分类号： B65D90/42 ,  B01J19/087 ,  B01J19/16 ,  B65D88/34 ,  B65D88/36 ,  B65D88/44 ,  C25D17/004 ,  C25D21/00

摘要： 本发明提供一种浮标及蒸发抑制方法。在液体中浮游的浮标(10)具有以从一方向观察的情况下成为正六边形的方式一部分被切掉了的形状的球体(12)。另外，浮标(10)在从一方向观察的情况下，形成为正六边形，因此，能将浮标(10)排列为蜂窝状，能减小液体与空气的接触面积。

公开(公告)号：CN107012495A

公开(公告)日：2017-08-04

申请号：CN201710089748.7

申请日：2012-09-12

申请人： 诺发系统公司

发明人： 何志安 ,  冯敬斌 ,  尚蒂纳特·古艾迪 ,  弗雷德里克·D·威尔莫特

IPC分类号： C25D17/00 ,  C25D7/12 ,  C25D17/06

CPC分类号： C25D17/06 ,  C25D7/12 ,  C25D17/001 ,  C25D17/004 ,  C25D17/005 ,  C25D17/007 ,  C25D17/12 ,  C25D7/123

摘要： 本申请公开了一种用于在夹盘组件中进行电镀期间与晶片啮合以及在电镀期间向该晶片提供电流的杯。该杯可包括弹性密封件，其设置在所述杯上并被配置成在电镀期间与所述晶片啮合，其中一旦啮合，所述弹性密封件基本上将电镀液从所述晶片的周边区域排除，并且其中所述弹性密封件和所述杯是环形的，并且包括一个或多个接触元件，其用于在电镀期间向所述晶片供应电流，该一个或多个接触元件被连接至所述杯上并且从设置在所述弹性密封件上的金属带朝向该杯的中心向内延伸。该杯的凹口区域可具有在该杯的底表面的一部分上的突出物或者绝缘部分，其中该凹口区域与所述晶片内的凹口对齐。

公开(公告)号：CN104047042B

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：CN201310300970.9

申请日：2013-07-17

申请人： 台湾积体电路制造股份有限公司

发明人： 高承远 ,  苏鸿文 ,  蔡明兴

IPC分类号： C25D7/12 ,  C25D5/02 ,  H01L21/288 ,  H01L21/445

CPC分类号： C25D21/12 ,  C25D7/12 ,  C25D7/123 ,  C25D17/001 ,  C25D17/004 ,  C25D17/005 ,  C25D21/10

摘要： 本发明提供了电镀以及实施电镀的装置，其中，在工件上电镀金属层的方法包括将工件的表面暴露于电镀液中，并且将电源负极端的第一电压提供给工件的边缘部分。将第二电压提供给工件的内部部分，其中，内部部分比边缘部分更接近工件的中心。电源的正极端与金属板连接，其中金属板和工件通过电镀液间隔开，并且均与电镀液接触。

公开(公告)号：CN102953104B

公开(公告)日：2017-06-09

申请号：CN201210289735.1

申请日：2012-08-15

申请人： 诺发系统有限公司

发明人： 冯京宾 ,  马歇尔·R·斯托厄尔 ,  弗雷德里克·D·维尔莫特

IPC分类号： C25D7/12

CPC分类号： C25D17/005 ,  C25D7/123 ,  C25D17/001 ,  C25D17/004 ,  C25D17/007 ,  C25D17/06 ,  C25D17/08 ,  Y10T29/49778

摘要： 本申请案揭示用于半导体电镀设备的唇形密封件和接触元件。本文中揭示用于在电镀抓斗中使用的唇形密封件组合件，所述唇形密封件组合件可包含用于拒绝电镀溶液进入半导体衬底的外围区的弹性体唇形密封件以及一个或一个以上电接触元件。所述接触元件可在结构上与所述弹性体唇形密封件集成。所述唇形密封件组合件可包含一个或一个以上柔性接触元件，所述一个或一个以上柔性接触元件的至少一部分可保形地位于所述弹性体唇形密封件的上表面上，且可经配置以弯曲并形成与所述衬底介接的保形接触表面。本文中所揭示的一些弹性体唇形密封件可将衬底支撑、对准并密封于抓斗中，且可包含定位于柔性弹性体支撑边缘上方的柔性弹性体上部分，所述上部分具有顶表面和内侧表面，所述内侧表面经配置以在所述顶表面被压缩后即刻向内移动并对准所述衬底。

公开(公告)号：CN103426831B

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201310183105.0

申请日：2013-05-17

申请人： 应用材料公司

发明人： 诺兰·L·齐默曼 ,  乔治·马汀格 ,  格雷戈里·J·威尔逊 ,  埃里克·A·英格哈特 ,  拉姆齐·巴拉穆鲁加恩

IPC分类号： H01L23/16

CPC分类号： C25D17/004 ,  C25D17/001 ,  C25D17/002 ,  F16J15/00 ,  F16J15/025 ,  F16J15/16 ,  F16J15/3204 ,  F16J15/3236

摘要： 本发明提供一种用于电化学处理器的密封环，所述密封环在按压抵靠晶片表面时不横向滑移或偏转。所述密封环可在处理器的转子上，其中密封环具有外壁，所述外壁通过末端接合至尖端圆弧。所述外壁可为直壁。相对刚性的支撑环可附接至密封环，以提供更精确的密封尺寸。也可使用在晶片表面上横向地滑移或偏转的刀口密封环。在这些设计中，滑移是大体上均匀且一致的，从而产生改进的性能。

公开(公告)号：CN103031580B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201210354922.3

申请日：2012-09-12

申请人： 诺发系统公司

发明人： 何志安 ,  冯敬斌 ,  尚蒂纳特·古艾迪 ,  弗雷德里克·D·威尔莫特

IPC分类号： C25D7/12 ,  H01L21/288

CPC分类号： C25D17/06 ,  C25D7/12 ,  C25D17/001 ,  C25D17/004 ,  C25D17/005 ,  C25D17/007 ,  C25D17/12

摘要： 本申请公开了一种用于在夹盘组件中进行电镀期间与晶片啮合以及在电镀期间向该晶片提供电流的杯。该杯可包括弹性密封件，其设置在所述杯上并被配置成在电镀期间与所述晶片啮合，其中一旦啮合，所述弹性密封件基本上将电镀液从所述晶片的周边区域排除，并且其中所述弹性密封件和所述杯是环形的，并且包括一个或多个接触元件，其用于在电镀期间向所述晶片供应电流，该一个或多个接触元件被连接至所述杯上并且从设置在所述弹性密封件上的金属带朝向该杯的中心向内延伸。该杯的凹口区域可具有在该杯的底表面的一部分上的突出物或者绝缘部分，其中该凹口区域与所述晶片内的凹口对齐。

公开(公告)号：CN106337198A

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：CN201610542720.X

申请日：2016-07-11

申请人： 应用材料公司

发明人： 兰迪·A·哈里斯 ,  迈克尔·温德姆

IPC分类号： C25D7/12 ,  C25D17/08

CPC分类号： C25D17/001 ,  C25D17/004 ,  C25D17/005 ,  C25D17/06 ,  C25D7/12 ,  C25D17/08

摘要： 晶片被放置到电镀系统内的卡盘组件中。所述卡盘组件包括背板组件，所述背板组件可与环接合。轮毂可提供在所述背板组件的一侧上，用以将所述卡盘组件附接到用于电镀晶片的处理器的转子。晶片板可提供在所述背板组件的另外一侧上。所述环具有接触指，所述接触指电连接到环形母线，并且其中所述环形母线在所述环被接合到所述背板组件时，通过所述背板组件电连接到所述处理器中的电源。位于所述环上的晶片密封件覆盖在所述接触指上。卡盘密封件可围绕周边提供。电触点和密封件的维护由所述处理器远程执行。

公开(公告)号：CN104685111B

公开(公告)日：2016-09-21

申请号：CN201380051932.2

申请日：2013-09-16

申请人： 安美特德国有限公司

发明人： R.劳恩布施 ,  C.托马斯 ,  R.魏因霍尔德 ,  H.克林格尔

IPC分类号： C25D17/00 ,  C25D17/06 ,  H01L21/67

CPC分类号： C25D17/06 ,  C25D7/12 ,  C25D17/001 ,  C25D17/004 ,  H05K3/007 ,  Y10T29/49117

摘要： 一种用于产品(5)的处理的保持装置，该保持装置包括第一保持部分(41)和第二保持部分(42)。第一保持部分(41)包括至少一个第一电接触元件(13)，以用于建立与产品(5)的第一侧(6)的接触。第二保持部分(42)包括至少一个第二电接触元件(14)，以用于建立与产品(5)的第二侧(7)的接触，该第二侧与第一侧(6)相反地放置。第一保持部分(41)和第二保持部分(42)以如下方式布置：它们可以以可分开方式紧固至彼此以用于保持产品(5)。产品密封件(15、16)和壳体密封件(17)在处理状态下提供密封布置来防止流体渗透到至少一个第一电接触元件(13)和至少一个第二电接触元件(14)中。

公开(公告)号：CN105483808A

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201510936326.X

申请日：2015-12-16

申请人： 无锡福镁轻合金科技有限公司

发明人： 丁汉林

IPC分类号： C25D17/02 ,  C25D21/04

CPC分类号： C25D17/02 ,  C25D17/004 ,  C25D21/04

摘要： 本发明公开了一种能够收集有害气体的电镀槽，包括：电镀槽本体、连接轴、密封门盖、把手、气体收集口和集气处理罐，所述的电镀槽本体通过所述的连接轴与所述的密封门盖相连接，所述的密封门盖上设置有所述的把手，所述的密封门盖上设置有所述的气体收集口，所述的气体收集口上连接有所述的集气处理罐。通过上述方式，本发明能够收集槽内有害气体，减少了对工人的身体健康的危害，也减少了大气污染。