公开(公告)号：CN210084937U

公开(公告)日：2020-02-18

申请号：CN201920895399.2

申请日：2019-06-14

Applicant: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司

Inventor： 李刚 ,  刘迪 ,  胡维 ,  吕萍

IPC: B81B7/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  G01L1/16 ,  G01L9/06

Abstract: 本实用新型提供一种背孔引线式压力传感器，其使用通孔引线技术制备压力传感器，实现无打线贴片封装，减小了压力传感器的封装尺寸；同时压力传感器的压阻位于密封腔内，导电垫也通过通孔与外部结构电连接，受外界环境影响较小，器件稳定性好，可用于液体或恶劣环境中压力的监测。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN209787132U

公开(公告)日：2019-12-13

申请号：CN201920462832.3

申请日：2019-04-08

Applicant: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司

Inventor： 李刚 ,  吕萍 ,  胡维

IPC: H03H9/02 ,  H03H3/02

Abstract: 本实用新型涉及一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：衬底，表面具有各向同性刻蚀腔；位于所述衬底之上的具有开口的压电震荡堆层，所述开口与所述各向同性刻蚀腔连通，至少部分所述压电震荡堆层位于所述各向同性刻蚀腔之上。本实用新型的技术方案的体声波谐振器在衬底表面具有更大的腔体，以更有利于散热。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利