一种静态漏率测量装置及方法

    公开(公告)号:CN114674501B

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202111607172.1

    申请日:2021-12-25

    IPC分类号: G01M3/20

    摘要: 本申请涉及测量技术领域,具体而言,涉及一种静态漏率测量装置及方法,所述装置包括标准漏孔、集气系统、供气系统、非蒸散性吸气剂泵以及真空泵,其中:待测件设置在集气系统内部,标准漏孔与集气系统连接;供气系统与待测件连接;非蒸散性吸气剂泵与集气系统连接;真空泵分别与集气系统和待测件连接。本申请简单易行,成本低,能够用于不同量级、多种示漏气体的待测件校准,延伸了漏率测量范围,可实现同步对多台待测件进行测量,提高了测量效率,还实现了对不同形状、不同尺寸的待测件的总漏率的测量以及对待测件整体密封性能的评价,保证了待测件的可靠性。

    四极质谱计高压射频升压方法、装置、存储介质和终端

    公开(公告)号:CN118248524A

    公开(公告)日:2024-06-25

    申请号:CN202410103913.X

    申请日:2024-01-25

    IPC分类号: H01J49/42 H02M1/00 G01N27/62

    摘要: 本申请涉及一种四极质谱计高压射频升压方法、装置、存储介质和终端。其中,所述方法包括:获取射频电源的射频频率及电压的数字信号;根据所述射频频率及电压的数字信号,得到所述射频电源的模拟信号;根据所述模拟信号和频率控制指令,产生所述射频电源的正弦波信号;根据所述正弦波信号和电压控制指令进行射频电压放大操作,得到所述射频电源的最终输出电压。本申请能够产生1.3MHz的射频交流频率,且稳定性小于1.0×10‑5MHz,同时可产生最高4300V的电压峰峰值,能够实现四极质谱计1~1024amu的离子扫描范围。

    一种基于电子轨迹积分法的电离规灵敏度数值计算方法

    公开(公告)号:CN113656995B

    公开(公告)日:2024-03-26

    申请号:CN202110761560.9

    申请日:2021-07-06

    摘要: 本发明公开了一种基于电子轨迹积分法的电离规灵敏度数值计算方法,构建电离规三维结构模型,利用有限元方法对所述模型进行有限元划分,确定边界条件后,通过求解泊松方程计算所述模型的空间电磁场分布,然后利用四阶龙格库塔法计算电磁场空间的电子运动轨迹和离子运动轨迹,根据离子运动轨迹,统计分析获得有效电离区域,从而计算得到分布于有效电离区域中的有效电子轨迹,最后将有效电子轨迹微分为若干段,计算每段长度及与之对应的电离截面,再根据灵敏度物理定义,积分计算获得灵敏度数值;本发明能够实现电离规高精度灵敏度数值计算。

    一种防爆型电容压力传感器
    84.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117309223A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202311218624.6

    申请日:2023-09-20

    IPC分类号: G01L9/12 G01L7/08 G01L19/06

    摘要: 本申请涉及一种防爆型电容压力传感器,包括:进气管、端盖、防爆壳、电容压力传感器、连接线缆、插头、电路板,其中:所述进气管安装在所述电容压力传感器上;所述电容压力传感器通过所述进气管与所述端盖进行固定;所述端盖与所述防爆壳连接;所述电容压力传感器、所述电路板、所述连接线缆均放置于所述防爆壳内部;所述连接线缆与所述插头连接,所述插头固定在所述防爆壳后端。本申请所述的一种防爆型电容压力传感器,使得传感器测量电路以及接线端全部置于防爆壳体内,与外部气体环境进行了有效隔离,显著提升了电容薄膜真空计在具有爆炸性混合物及爆炸性气体环境中的使用安全性。

    一种便携式极高真空量子测量装置及应用方法

    公开(公告)号:CN117213707A

    公开(公告)日:2023-12-12

    申请号:CN202311056222.0

    申请日:2023-08-21

    IPC分类号: G01L21/00

    摘要: 本申请涉及真空测量技术领域,具体而言,涉及一种便携式极高真空量子测量装置及应用方法,所述装置包括壳体、把手以及光栅磁光阱系统,其中:把手设置在壳体的顶部,光栅磁光阱系统设置在壳体的内部;壳体的外壁与光栅磁光阱系统的腔体上设置有8个对应的接口,分别为:3个激光入口,用于对接激光调偏整形模块;相机安装口,用于对接CMOS相机模块;接线口,用于对接线缆组件;真空接口,用于对接待测真空;真空泵安装口,用于对接非蒸发型吸气泵;观察口,用于对接观察窗端盖。本申请所采用的量子真空测量真空度的方法无需校准,准确度高,时空可复现性优秀;可以有效降低冷原子囚禁系统的体积,系统可靠度高、抗干扰能力强。

    一种空间用高压气瓶高效安全检漏平台及方法

    公开(公告)号:CN116659762A

    公开(公告)日:2023-08-29

    申请号:CN202310644574.1

    申请日:2023-05-31

    IPC分类号: G01M3/20 G01M3/22

    摘要: 本申请涉及航天产品安全技术领域,具体而言,涉及一种空间用高压气瓶高效安全检漏平台及方法,所述平台包括充气系统、集气室、高压气瓶、标准漏孔、真空规、检漏系统以及抽真空系统,其中:高压气瓶设置在集气室的内部,充气系统、标准漏孔、真空规、检漏系统以及抽真空系统均设置在集气室的外部;充气系统通过第一截止阀与高压气瓶连接;标准漏孔通过第二截止阀与集气室连接;真空规通过第三截止阀与集气室连接;抽真空系统通过第四截止阀与集气室连接;检漏系统通过第五截止阀与集气室连接。本申请降低了集气室内示漏气体的本底浓度,采用温度补偿或修正的方式对漏率检测结果进行了校准,提高了高压气瓶漏率测量结果的准确性。

    一种保护IE514分离规不受湿度影响的装置及方法

    公开(公告)号:CN114323421B

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202111513436.7

    申请日:2021-12-08

    IPC分类号: G01L21/00 G01L27/00

    摘要: 本申请涉及超高真空比对校准系统技术领域,具体而言,涉及一种保护IE514分离规不受湿度影响的装置及方法,所述保护IE514分离规不受湿度影响的装置包括真空室、以及分别与所述真空室连接的第一截止阀、第二截止阀、以及第三截止阀,其中:真空室通过第一截止阀连接用于真空室内气体置换的高纯氮气瓶;真空室通过第二截止阀连接用于真空室抽真空的机械泵;IE514分离规放置于真空室内,真空室经第三截止阀接校准系统。本申请通过将IE514分离规放置于真空室内,并将真空室的湿度控制在IE514分离规允许的湿度范围内,实现IE514分离规不受外界湿度的影响,为提供IE514分离规提供良好工作环境,进而解决了相关技术中IE514分离规受湿度影响严重的技术问题。

    一种复合式MEMS真空规及其制作方法

    公开(公告)号:CN116007831A

    公开(公告)日:2023-04-25

    申请号:CN202211662335.0

    申请日:2022-12-24

    IPC分类号: G01L21/00 B81C1/00

    摘要: 本申请涉及真空计量技术领域,具体而言,涉及一种复合式MEMS真空规及其制作方法,所示真空规包括MEMS电容薄膜真空规和MEMS皮拉尼真空规,其中:电容薄膜真空规和皮拉尼真空规设置在同一硅基底上;电容薄膜真空规包括真空参考腔和电容间隙,真空参考腔与电容间隙之间的硅基底上设置有感压薄膜,电容间隙内设置有固定电极;皮拉尼真空规包括承载膜、压敏电阻、引出电极以及参考电阻,承载膜设置在硅基底上,下方设置有腔体,压敏电阻设置在承载膜上,引出电极和参考电阻均设置在硅基底上,压敏电阻和参考电阻均与引出电极连接。本申请结合MEMS电容薄膜真空规和MEMS皮拉尼真空规,采用一个传感器就可以同时精确测量待测气体的真空压力和待测气体的种类。

    一种用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置及方法

    公开(公告)号:CN115808272A

    公开(公告)日:2023-03-17

    申请号:CN202211533826.5

    申请日:2022-12-01

    IPC分类号: G01M3/20

    摘要: 本申请涉及测量仪器检漏技术领域,具体而言,涉及一种用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置及方法,所述装置包括伺服机构、密封夹具、氦质谱检漏仪以及标准漏孔,其中:密封夹具设置多个,每个密封夹具内部设置一种电容薄膜真空计的零部件;每个密封夹具的一端通过电磁阀与伺服机构连接,另一端通过电磁阀和波纹管与氦质谱检漏仪连接;标准漏孔通过第一手动截止阀与氦质谱检漏仪连接。本申请伺服机构按照智能化设计,各部件具有自适应功能,各设定参数均通过多次试验获得,可靠性较高,通过伺服机构的操控实现密封夹具对零部件的锁紧和密封,避免了密封不严和漏气现象,避免了检漏过程中人工安装检漏工装的返工现象,极大地提高了检漏效率。

    一种便携式量子真空测量装置
    90.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114323420A

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN202111473375.6

    申请日:2021-12-09

    IPC分类号: G01L21/00

    摘要: 本申请涉及真空计量技术领域,具体而言,涉及一种便携式量子真空测量装置,包括测量探头、参考腔体、检测光路模块、参考光路模块以及拍频检测模块,其中:测量探头与检测光路模块连接;参考腔体与参考光路模块连接;检测光路模块和参考光路模块均与拍频检测模块连接。本申请基于激光干涉法的便携式量子真空计的压力测量范围为粗低真空(10Pa‑105Pa),其上限可以更高,可以通过气体分子极化率、磁化率与折射率之间的物理关系,进行原位的量子真空测量,有效降低装置的测量不确定度,其次,由于其本身是原级量子真空测量装置,其测量值即为真空度真值,因此无需进行周期性校准,提升了装置的使用效率。