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公开(公告)号：CN118347658A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410717425.8
申请日：2024-06-04
申请人： 兰州空间技术物理研究所
IPC分类号： G01M3/26
摘要： 本申请涉及一种真空全压力与漏率综合校准影响因素测量装置及方法，包括：真空漏孔、静态膨胀系统、第一电容薄膜真空计、第二电容薄膜真空计、第一温度控制系统、第二温度控制系统、第三温度控制系统、多个真空阀门、充气系统、材料测试系统、质谱计、质谱室、抽气系统。本申请所述的一种真空全压力与漏率综合校准影响因素测量装置及方法，可以开展温度、材料出气率、质谱计线性等对真空全压力和漏率影响因素的测量；本申请充分考虑真空全压力与漏率综合校准影响因素，设计出了一套能够实现多个影响因素测量的装置，通过温度变化、材料出气率、质谱计线性等影响因素的测量，为真空全压力与漏率综合校准下限延伸及量限拓展提供了重要依据与保障。
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公开(公告)号：CN114427938B
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202111494803.3
申请日：2021-12-08
申请人： 兰州空间技术物理研究所
IPC分类号： G01M3/20
摘要： 本申请涉及真空泄漏检测技术领域，具体而言，涉及一种多组分质谱泄漏检测装置，包括累积检漏法组件、质谱分析组件、动态检漏法组件以及抽空机组，其中：累积检漏法组件包括累积检漏法接口、累积检漏室以及第一真空计；质谱分析组件包括质谱分析室、四极质谱计以及第二真空计；动态检漏法组件包括动态检漏法接口、动态检漏室以及第三真空计；抽空机组包括涡轮分子泵、吸附泵以及前级机械泵。本申请可以实现多种组分示漏气体的测量，可以满足微小、中等、较大漏率等现有密封器件工业生产过程中的全范围漏率检测需求，既可以提高检测效率，又可以避免较大漏率对微小漏率的干扰，提高产品抗示漏气体中毒能力。
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公开(公告)号：CN112781804B
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202011486930.4
申请日：2020-12-16
申请人： 兰州空间技术物理研究所
IPC分类号： G01M3/26
摘要： 本发明公开了一种SF6漏率标定无级调节装置及方法。本发明通过外接SF6标准气体，采用微调阀实现配气室SF6进气压力的无级调节，由固定流导小孔和动态流量法原理实时、准确计算出产生的SF6标准漏率，能够实现宽范围SF6标准漏率的快速产生和无级调节，具有漏率调节范围宽、调节精度高、使用方便、工作可靠等优点，可以满足高压电气设备中微量SF6泄漏的精确测量和漏率标定需求，且仅需一台SF6标准漏率产生装置就能满足不同SF6漏率范围测试时的高精度漏率标定需求。
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公开(公告)号：CN116929659A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310636161.9
申请日：2023-05-31
申请人： 兰州空间技术物理研究所
摘要： 本申请涉及测量技术领域，具体而言，涉及一种连续膨胀法校准标准漏孔的装置及方法，所述装置包括气体微流量计、监测真空计、质谱仪、校准室、温度计、被校标准漏孔以及抽气系统，其中：气体微流量计、监测真空计、质谱仪以及抽气系统均与校准室连接；被校标准漏孔设置多个，多个被校标准漏孔均与校准室连接。本申请装置结构简单，方法容易实行，成本低，能够用于不同量级、多种校准气体的标准漏孔的校准，延伸了漏率校准范围，并且能够实现同步对多台被校准漏孔进行校准，提高了校准效率。
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公开(公告)号：CN112782264B
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202011464931.9
申请日：2020-12-14
申请人： 兰州空间技术物理研究所
IPC分类号： G01N27/62
摘要： 本发明公开了一种用于密闭空间微量有害气体检测及校准的装置及方法。使用本发明能够用于密闭空间微量有害气体成分及浓度检测及校准，同时给出气体种类、浓度和所处位置；方法简单可行，易操作。本发明由取样管路、取样阀、取样室、质谱室、质谱计等组成的检测系统，能够对密闭空间内的微量有害气体进行巡检，并给出气体成分和浓度值；同时，为避免质谱计随着测量时间的延长和质谱计污染，其灵敏度会降低，导致其检测数据不准确，因而通过校准系统对质谱计进行校准。校准系统通过设置小体积和小孔，使得标准气进样压力衰减至分子流状态，确保微量气体进样过程中各种气体成分比例保持恒定，更加符合检测系统工况，对检测数据校准更为精确。
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公开(公告)号：CN115966454A
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202211671588.4
申请日：2022-12-25
申请人： 兰州空间技术物理研究所
摘要： 本申请涉及真空计量技术领域，具体而言，涉及一种空间质谱计测量及校准装置，包括高压气瓶、混合腔室以及超高真空腔室，其中：高压气瓶为多个，多个高压气瓶均与混合腔室连接；超高真空腔室包括依次连接的第一超高真空腔室、第二超高真空腔室以及第三超高真空腔室；混合腔室通过微调阀与第二超高真空腔室连通，通过截止阀与第一超高真空腔室连通；第一超高真空腔室的进口设置有脉冲弹簧阀和电离电极；第二超高真空腔室的进口设置有锥形孔，第二超高真空腔室的内部设置有脉冲电极；第三超高真空腔室内部设置有离子检测器。本申请不仅可以实现单一气体平衡态的校准，还可以模拟空间复杂气体的环境，实现分子束流、离子束流的测量与校准。
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公开(公告)号：CN112820618B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202011467195.2
申请日：2020-12-14
申请人： 兰州空间技术物理研究所
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 本发明公开了一种微型溅射离子泵等离子体诊断装置。本发明通过设置一个密闭空间，引用朗缪尔探针，配合采用固定流导法，实现了对微型溅射离子泵正常工作时的内部空间电子温度和电子数密度进行检测。同时，利用电机、丝杠、滑块、朗缪尔探针之间的配合，实现了朗缪尔探针在容纳泵腔体内上下移动，进而实现了测量泵内部不同位置的电子温度和电子数密度。此外，通过引入气体微流量计，实现对容纳泵腔体及测试罩内部的压力调节，实现获得不同压力下的电子温度和电子数密度。
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公开(公告)号：CN112781786B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202011468250.X
申请日：2020-12-14
申请人： 兰州空间技术物理研究所
IPC分类号： G01L21/30
摘要： 本发明公开了一种利用超冷原子测量超高或极高真空的装置及检测方法。利用第一性原理等物质的本征物理特性及定义出发，利用基于量子理论的中性气体－超冷原子碰撞理论能够实现超高或极高真空的绝对测量，使其成为具有自校准特性的超高或极高真空测量量子基准，不需要和其它标准进行比对校准，而且测量下限不受限制，可以实现10－9Pa及以下的宇宙空间极高真空精确测量。
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公开(公告)号：CN114326482A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111472284.0
申请日：2021-12-06
申请人： 兰州空间技术物理研究所
IPC分类号： G05B19/042 , G01L21/30
摘要： 本申请涉及真空测量技术领域，具体而言，涉及一种真空计控制系统，包括高压电源模块、微弱离子流检测模块、控制板、以及人机交互界面，其中：高压电源模块与微弱离子流检测模块、控制板、以及人机交互界面分别连接，为微弱离子流检测模块、控制板、以及人机交互界面供电；高压电源模块与控制板之间、微弱离子流检测模块与控制板之间、控制面板与人机交互界面之间分别通讯，进行信息交互。本申请的真空计控制系统，电压电流输出控制精度高、灯丝发射控制精确高、微弱电流采集精度高，真正实现10‑9Pa的测量下限，满足不同电离真空计的控制要求。
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公开(公告)号：CN114318233A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111519069.1
申请日：2021-12-10
申请人： 兰州空间技术物理研究所
IPC分类号： C23C14/16 , C23C14/35 , C22C16/00 , C22C1/08 , B22F3/11 , B01J20/28 , B01J20/02 , B01J20/32 , B01J20/30
摘要： 本发明提供一种具有薄膜镀层的吸气剂及其制备方法和应用，涉及新材料领域。该具有薄膜镀层的吸气剂，包括吸气剂基材及其表面的薄膜镀层，吸气剂基材的原料包括Zr粉和ZrVFe合金粉末，薄膜镀层为Ni层。Ni层可使H2分子在吸气剂表面的解离能降低，提高吸气剂的吸气性能，也可有效阻止O2等活性气体对吸气剂基材的氧化，从而降低吸气剂的激活温度。本发明提供的具有薄膜镀层的吸气剂可以在300～450℃烘烤过程中实现激活，能够很好地避免在激活过程中对器件的损伤。吸气剂激活后在室温条件下具有良好的吸气性能，可吸收电真空器件中的活性气体，提供器件封离后所需的真空度，保证器件的寿命及稳定性和可靠性。
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