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公开(公告)号：CN117928396B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202311490573.2
申请日：2023-11-08
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种测量透明材料厚度和折射率的方法及装置，在被测透明材料的上方设置光源、色散探头、光谱仪，下方设置反射板；光源发出的复色光波经过色散探头散色，第一光波和第二光波分别聚焦于被测透明材料的上表面和下表面并被反射回色散探头；光谱仪接收反射回来的第一光波和第二光波，并通过计算机分别测得第一光波和第二光波的位移数据l(λ1)、l(λ2)；控制色散探头在其光轴方向上位移，使第二光波聚焦于反射板的表面；移去被测透明材料，复色光中的第三光波聚焦于反射板的表面，反射板将接收到的第三光波反射回色散探头，并被光谱仪接收，通过计算机测得第三光波的位移数据l(λ3)。本发明具有操作简单，通用型性好、可同时测量厚度和折射率等优点。
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公开(公告)号：CN114692675B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202210207645.7
申请日：2022-03-03
Applicant: 华中科技大学
IPC: G06F18/213 , G06F18/10 , G01B11/24
Abstract: 本申请公开了一种非对称轴向响应信号的峰值位置提取方法，其包括以下步骤：获取光学测量系统采集的非对称轴向响应信号，对所述非对称轴向响应信号的峰值位置进行初定位，得到峰值位置对应的初始波长；非对称轴向响应信号中与理想峰值位置具有相同波长间距处的两个采样点构成一样本对，计算各样本对之间的强度差的总和；将各样本对之间的强度差的总和在x＝0附近用泰勒级数进行逼近，估算峰值定位误差；根据所述峰值定位误差对峰值位置对应的初始波长进行误差补偿；本发明通过计算峰值定位误差来对峰值位置对应的初始波长进行误差补偿，从而提高非对称轴向响应信号的峰值定位的精度，且具有较好的鲁棒性。
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公开(公告)号：CN117704976A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202311658966.X
申请日：2023-12-04
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于白光干涉与白光原子力扫描技术的薄膜厚度与折射率测量方法，包括：S1：获取白光干涉测量模式下，薄膜介质衬底上表面以及薄膜下表面形貌分布；S2：获取白光原子力扫描模式下，薄膜介质衬底上表面以及薄膜上表面形貌分布；S3：基于所述白光原子力扫描模式下获得的形貌分布，对所述白光干涉测量模式下获得的形貌分布标定与校正，获得薄膜厚度和折射率。本发明的于白光干涉与白光原子力扫描技术的薄膜厚度与折射率测量方法，通过结合扫描白光干涉技术测量原理与等效光程原理，完成扫描白光干涉数据标定与校正，得出薄膜材料折射率N。
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公开(公告)号：CN117452024A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311307613.5
申请日：2023-10-10
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种白光干涉原子力探针系统的测量定位与坐标转换方法，该方法应用于白光干涉原子力双模式跨尺度测量系统，包括如下步骤：获取原子力扫描探针针尖与悬臂尖端位置关系的转换矩阵P1；在原子力探针接触测量模式下，获取悬臂尖端的位置坐标，根据所述转换矩阵P1计算得到原子力扫描探针针尖的位置坐标pnw。本发明白光干涉原子力探针系统的测量定位与坐标转换方法实现了模式切换后出现在CCD视场内的原子力探针针尖进行快速、准确的自动定位，得到原子力探针针尖的精确坐标，并且得到两个测量模式下坐标的转换关系，实现在不同目标区域下测量方式的灵活选择，提高测量精度和测量速度。
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公开(公告)号：CN115111991A
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202210617092.2
申请日：2022-06-01
Abstract: 本发明公开了一种狭小空间下动态配合间隙的精密测量方法及设备。该方法包括：为待测零件安装柔性铰链结构，利用柔性铰链结构测量待测零件的间隙，其中，柔性铰链结构的结构参数的确定需考虑到待测零件尺寸、测量空间、固有频率、最大应力、静态误差等限制条件，并且需要对柔性铰链结构的位移放大比进行修正；另外本申请还设计了“轴向双排、周向多点”的传感器布局方法。本发明基于柔性铰链结构的位移导出、放大功能，实现了狭小空间下动态配合间隙的高精度测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114692675A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202210207645.7
申请日：2022-03-03
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本申请公开了一种非对称轴向响应信号的峰值位置提取方法，其包括以下步骤：获取光学测量系统采集的非对称轴向响应信号，对所述非对称轴向响应信号的峰值位置进行初定位，得到峰值位置对应的初始波长；非对称轴向响应信号中与理想峰值位置具有相同波长间距处的两个采样点构成一样本对，计算各样本对之间的强度差的总和；将各样本对之间的强度差的总和在x＝0附近用泰勒级数进行逼近，估算峰值定位误差；根据所述峰值定位误差对峰值位置对应的初始波长进行误差补偿；本发明通过计算峰值定位误差来对峰值位置对应的初始波长进行误差补偿，从而提高非对称轴向响应信号的峰值定位的精度，且具有较好的鲁棒性。
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公开(公告)号：CN114137713A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202111361367.2
申请日：2021-11-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供一种无标记厚样本的实时定量相位成像方法和系统，其中上述方法主要包括如下步骤：采集待检测样品反射的光场；对光场执行衍射光调制；每个周期的衍射光的振幅近似相等；获取检测端的强度图案信号及横向剪切方向的目标差分相位；执行衍射光调制的至少四个不同参数的移相处理获得至少四个强度图案信号；依据强度图案信号计算获得横向剪切方向的差分相位和；对差分相位和执行傅里叶变换，获取横向剪切方向的测量相位。按照本发明实现的成像方法和系统，能够使得横向剪切方向的分辨率更加均匀，并且无需改变差分方向和照明方向即可获取二维相位图，并且结构简单，结合本发明中的成像计算方法，能够显著提高计算效率和成像速度。
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公开(公告)号：CN113959364A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202111230974.5
申请日：2021-10-22
Applicant: 华中科技大学 , 中国人民解放军91550部队
Abstract: 本发明公开了一种三频相位展开方法及测量装置。所述三频相位展开方法，是将预先设计的六幅条纹图分别投影到待测物体上，分别获取对应的六个被调制条纹图的图像信号，根据所述图像信号进行相位求解和展开，其中所述六幅条纹图被分为高频、中频和低频三组，高频组包括三幅三步相移条纹图，中频组包括两幅两步相移条纹图，低频组包括一幅单频条纹图。本发明兼顾了测量精度和速度，和标准三频三步相移法相比减少了三幅所需投影条纹图，提高了测量速度，和标准双频三步相移法相比提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN112577406B
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202011588939.6
申请日：2020-12-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种多探针电容位移传感器和表面测量方法，属于精密位移和表面测量相关技术领域。装置包括多探针测头、计量单元和直线直驱电机，多探针测头采用阵列式铰链结构支承阵列式探针，每个探针连接片上的铰链结构的导电膜，与上方的固定板上的导电膜构成电容位移计量单元，结合固定板上的激光干涉计量单元，则可以获得探针的位移。直线直驱电机驱动整个多探针测头，水平位移机构带动被测件进行二维位移，可以实现表面形貌的大量程多探针扫描测量。本发明装置结构简单，操作简单，测量精度和效率高。
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公开(公告)号：CN111664346B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202010541445.6
申请日：2020-06-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提出一种适用于大尺度长周期无油条件下的超滑结构，包括树脂基材质的上基底和下基底，所述上、下基底相接触的摩擦面上均设有若干条形通道或异形凹槽；所述摩擦面弹性模量为1.0‑10GPa，体弹模量为1.0‑10GPa，剪切模量为0.3‑2.0GPa，泊松比为0.2‑0.7。本发明利用结构与材料本征特性实现超滑性能，突破了对超滑状态对晶体特定结晶状态需求的限制。其摩擦系数可低至10‑3数量级，可适用于大尺度、长周期、高载荷、无油条件下的机械往复运动、循环周期运动、微动运动、冲击运动等，可应用于机械、电子、模具、航空航天等领域，减少能源消耗和因摩擦引起的机械故障。
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