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公开(公告)号：CN113237425A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN202110518658.1
申请日：2021-05-12
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种单摄像头辅助坐标测量机测量微小工件的自动引导方法，利用固定在三坐标测量机基座上的相机针对待测工件和坐标测量机所配测针上的测球进行拍摄获得图像；识别所拍摄图像中的待测工件及测球，引导测球沿测量机X轴、Y轴和Z轴运动，使测球向待测工件移动；根据待测工件与测球的位置关系引导X轴，再根据Tenengrad函数计算图像的清晰程度，引导Y轴、Z轴，将测球引导至测量位置。本发明能够适用于接触式探头测量微型工件，可引导坐标测量机对小孔进行测量，实现快速高精度的全自动引导，使接触式探头在测量工件时能够快速、准确地到达待测工件的测量位置继而实现自动测量。
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公开(公告)号：CN109827680B
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201910209253.2
申请日：2019-03-19
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于CMOS传感器的三维高灵敏度测微力计，是在由上盖板和圆筒体形成的圆筒形内腔中设置测力单元和感测单元；测力单元为一片铍铜簧片，其具有外固定环和通过弹性梁相连的中心盘面，铍铜簧片利用外固定环支撑在上盖板上，在中心盘面的上表面测力探头，在中心盘面的下表面设置第一平面反射镜，第一平面反射镜的反射面水平向下；感测单元是在圆筒形内腔中设置激光器、第二平面反射镜、聚焦透镜和CMOS传感器；激光器的出射光依次经由第二平面反射镜和第一平面反射镜反射后入射到聚焦透镜，聚焦后的出射光入射至CMOS传感器的感光面，以CMOS传感器的输出信号为测微力计的输出检测信号。本发明灵敏度高、量程可调、测量分辨率高、精度高。
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公开(公告)号：CN110501098B
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201910893549.0
申请日：2019-09-20
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明公开了一种基于双压力膜和弱耦合谐振系统的高灵敏微压传感器，包括压力膜层和石英谐振层，压力膜层设置有两个压力膜和两个偏置凸台，用来传递待测压力；所述的石英谐振层上设置有弱耦合谐振系统和一对激励及检测电极，所述的弱耦合谐振系统包含两个双端固支石英梁和一根弱耦合梁，其中第一双端固支石英梁两端的锚点与压力膜层上的偏置凸台接合，用于承受由待测压力引起的压缩应力，所述的激励及检测电极用于驱动两双端固支石英梁发生谐振。利用两个石英梁振动不平衡所引起的模态局部化效应，并检测二者的振幅比作为输出量即可获取待测压力值。本发明解决了传统谐振压力传感器微压测量灵敏度低的难题，具有灵敏度高、抗干扰能力强等优点。
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公开(公告)号：CN110361116B
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201910749657.0
申请日：2019-08-14
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明公开了一种四压力膜结构差动型石英梁谐振压力传感器，包括压力膜层和谐振层；所述压力膜层上形成有第一压力膜、第二压力膜、第三压力膜和第四压力膜，第一压力膜的正面设有第一凸台，第二压力膜的正面设有第二凸台，第三压力膜的正面设有第三凸台，第四压力膜上的正面设有第四凸台；所述谐振层上具有镂空区，所述镂空区中形成有第一锚点、第二锚点、第三锚点、第四锚点、双端固支第一悬空石英梁以及双端固支第二悬空石英梁，各凸台与各锚点接合。本发明通过设计两组石英梁和四个压力膜，改变石英梁在压力膜上的偏置程度，使两组石英梁的谐振频率产生差值，提高传感器的灵敏度，并同时减小因环境温度波动而产生的热误差的影响。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109238084B
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201810988563.4
申请日：2018-08-28
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种微型圆孔测量的自动导引方法，利用左相机和右相机针对探针和待测圆孔进行拍摄获取左源图和右源图，通过边缘提取生成图像A和图像B；分别对图像A及图像B进行椭圆检测，获取每张图像中探针及圆孔的椭圆轮廓。依据四个椭圆获取四个包络矩形，再依据四个包络矩形截取左源图及右源图中探针和圆孔的影像放大生成四张图像进行边缘提取，保留最外层边缘点得到四个椭圆心坐标，依此获得探针及待测圆孔中心在左源图和右源图中的坐标，最后利用标定的相机参数，获取探针与待测微型圆孔中心的三维距离，驱动三坐标测量机完成导引。本发明实现了探针向微型圆孔中心的自动导引，能极大地提高微型圆孔测量的测量效率。
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公开(公告)号：CN110081823A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201910491629.3
申请日：2019-06-06
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种机床五自由度几何运动误差测量系统，包括激光发射单元、四自由度误差测量单元和滚转误差测量单元；激光发射单元和滚转误差测量端相对基座位置固定，四自由度误差测量单元和滚转误差测量单元中矩形反射镜随载物台移动；四自由度误差测量单元由两个内置二维位移光电传感器感测激光发射单元发出的激光信号，通过两个传感器的输出获得沿机床载物台移动方向上的直线度误差和角度误差；滚转误差测量单元基于激光自准直原理，通过内置的二维位移光电传感器测得沿载物台移动方向上的滚转角误差。本发明通过测量能够获得机床五个自由度的几何运动误差，辅助机床安装、调校时的快速测量。
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公开(公告)号：CN109827680A
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201910209253.2
申请日：2019-03-19
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于CMOS传感器的三维高灵敏度测微力计，是在由上盖板和圆筒体形成的圆筒形内腔中设置测力单元和感测单元；测力单元为一片铍铜簧片，其具有外固定环和通过弹性梁相连的中心盘面，铍铜簧片利用外固定环支撑在上盖板上，在中心盘面的上表面测力探头，在中心盘面的下表面设置第一平面反射镜，第一平面反射镜的反射面水平向下；感测单元是在圆筒形内腔中设置激光器、第二平面反射镜、聚焦透镜和CMOS传感器；激光器的出射光依次经由第二平面反射镜和第一平面反射镜反射后入射到聚焦透镜，聚焦后的出射光入射至CMOS传感器的感光面，以CMOS传感器的输出信号为测微力计的输出检测信号。本发明灵敏度高、量程可调、测量分辨率高、精度高。
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公开(公告)号：CN106767551A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611034239.6
申请日：2016-11-18
Applicant: 合肥工业大学
CPC classification number: G01B11/27 , B81C1/00182 , G01B11/2408 , G01B11/306
Abstract: 本发明公布了一种微纳米测量设备用高精度高灵敏弹性簧片的制作方法，其特征在于：采用化学蚀刻的方法制作高灵敏弹性簧片，包括设计图案、菲林片打印、铍铜片表面处理、贴覆感光膜、加固感光膜、曝光、显影、腐蚀和脱膜九个步骤。本发明的制作方法与传统方法相比，成本较低、方法简单、易于实现、易于加工复杂图案的弹性簧片；且采用本发明方法加工出的弹性簧片的性能参数(如圆度、直线度、边缘粗糙度等参数)优于采用传统方法加工出的弹性簧片。
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公开(公告)号：CN105987668A
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201610021560.4
申请日：2016-01-11
Applicant: 合肥工业大学
CPC classification number: G01B11/02 , G01B11/0608
Abstract: 本发明公开了一种基于图像处理的手机壳内部尺寸测量装置，在中间支撑框上设置四个横放的固定板，固定板用来固定基于弹性机构的测头单元。在测头单元的转接杆正前方设置一CCD，CCD通过尾部的外螺纹与CCD固定板的螺纹孔连接，CCD固定板通过两端的螺纹孔与支腿连接。测量手机壳侧面阶高和槽深时的测头单元将转接杆设置在测量杆尾部。在基于弹性机构的测头单元正上方设置一大市场CCD，CCD通过尾部的外螺纹与CCD固定板的螺纹孔连接，CCD固定板通过两端的螺纹孔与上支撑框连接。本发明能够获得高精度、高灵敏度的探测效果，可以测量非接触方法难以测量的深孔、台阶等尺寸；同时具有高稳定性、低成本且装调方便的优势。
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