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公开(公告)号：CN118247350A
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202410562422.1
申请日：2024-05-08
申请人： 合肥工业大学
摘要： 本发明涉及轴类零件形状误差检测领域，具体公开了一种圆柱度误差评定方法及终端设备、存储介质，所述方法通过自适应粒子群优化算法找到以圆柱轴线为基准的圆柱坐标绕三坐标测量机坐标系X轴和Y轴的两个最优旋转角度，使得圆柱轴线与三坐标测量机坐标系Z轴平行，然后通过坐标变换将三维圆柱坐标旋转投影为二维圆坐标，最后再次利用自适应粒子群优化算法计算投影的二维圆坐标的最小区域圆度误差，此时两个最优旋转角度对应的投影坐标的最小区域圆度误差等同于最小区域圆柱度误差。该方案无需寻找理想圆柱轴线方程，减少了优化参数个数，同时提高了计算精度和计算效率。
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公开(公告)号：CN115752255A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211481925.3
申请日：2022-11-24
申请人： 合肥工业大学
摘要： 本发明公开了一种符合阿贝原则的三维精密测量系统，包括三维宏动台、六自由度微动台、激光测长测角系统、三维反射镜组、低膨胀计量框架、二维微调机构、触发测头或切削刀具以及连接机构；激光测长测角系统实现载物台六自由度测量，三轴激光干涉仪作为x向，y向，z向长度基准通过二维微调机构确保测量光束相互垂直并相交于测量触发点，锁定三轴长度基准与触发点的相对位置，建立三维计量系统，工作模式为载物台运动，计量系统固定，确保在运动过程中，任一被测点始终位于长度基准或延长线上。本发明中，测角仪实时反馈载物台角运动，控制微动台进行角运动误差补偿，宏微协同运动实现大行程与高分辨力的测量效果，通过触发被测对象实现测量。
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公开(公告)号：CN113726216B
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202111007628.0
申请日：2021-08-30
申请人： 合肥工业大学
摘要： 本发明涉及一种非同频双定子驱动压电马达，属于压电电机技术领域。包括定子机构、动子机构和底板；定子机构由第一压电定子和第二压电定子组成；两个定子的结构相同、方向相反，且对称固定设于底板上；动子机构包括动子和动子座，动子机构配合设于第一压电定子和第二压电定子之间的底板上；动子的两侧分别通过摩擦界面与第一压电定子和第二压电定子耦合接触。本发明通过直流静态、低频准静态和高频谐振态的跨频段激励，使得马达在直流静态下进行微位移补偿，准静态下完成高分辨率驱动，并实现降低或提高步进位移和驱动速度，在谐振态下完成快速粗定位，从而实现兼顾高速、高分辨率和高精度的跨尺度输出。本发明有效降低了波形定子设计复杂度。
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公开(公告)号：CN113566853A
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202110839109.4
申请日：2021-07-23
申请人： 合肥工业大学
IPC分类号： G01D5/26
摘要： 本发明公开了一种提高干涉测量系统抗测量镜偏摆能力的方法，干涉测量系统由激光光源、干涉光路、参考镜、测量镜、光电检测器以及信号处理模块所组成；通过包括光电检测、I/V转换、差分放大、直流自动补偿、正交化及正则化的信号处理方式对干涉信号进行在线自适应处理，得到两路等幅正交干涉电压信号，实现对干涉信号中幅值、相位以及直流偏移误差的补偿，间接提高测量镜的抗偏摆能力。本发明在提高测量系统测量精度的同时，能有效提高测量系统抗测量镜偏摆的能力，扩大测量行程。
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公开(公告)号：CN110501098A
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201910893549.0
申请日：2019-09-20
申请人： 合肥工业大学
IPC分类号： G01L1/16
摘要： 本发明公开了一种基于双压力膜和弱耦合谐振系统的高灵敏微压传感器，包括压力膜层和石英谐振层，压力膜层设置有两个压力膜和两个偏置凸台，用来传递待测压力；所述的石英谐振层上设置有弱耦合谐振系统和一对激励及检测电极，所述的弱耦合谐振系统包含两个双端固支石英梁和一根弱耦合梁，其中第一双端固支石英梁两端的锚点与压力膜层上的偏置凸台接合，用于承受由待测压力引起的压缩应力，所述的激励及检测电极用于驱动两双端固支石英梁发生谐振。利用两个石英梁振动不平衡所引起的模态局部化效应，并检测二者的振幅比作为输出量即可获取待测压力值。本发明解决了传统谐振压力传感器微压测量灵敏度低的难题，具有灵敏度高、抗干扰能力强等优点。
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公开(公告)号：CN107175194B
公开(公告)日：2019-02-12
申请号：CN201710399333.X
申请日：2017-05-31
申请人： 合肥工业大学
摘要： 本发明公开了一种一维闭环微纳米振动台，是以铍铜簧片作为弹性部件，在铍铜簧片的上表面设置工作台面构成弹性结构，使工作台面仅能在竖直方向形成振动位移；在工作台面的底面设置转接板，转接板与压电陶瓷致动器的位移输出头呈T形连接，由压电陶瓷致动器通过转接板驱动工作台面竖向运动；利用迈克尔逊干涉仪实时检测转接板的运动状态作为检测信号，信号处理及控制系统根据检测信号对压电陶瓷致动器输出控制信号，实现实验台的闭环控制。本发明能够获得高精度的微纳振动，同时具有振幅和频率范围宽、输出振动重复性高、成本低、装调方便以及可以闭环控制等优势。
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公开(公告)号：CN115183930B
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202210735203.X
申请日：2022-06-27
申请人： 合肥工业大学
IPC分类号： G01L5/166
摘要： 本发明公开了一种三维微摩擦力和粘附力的测量装置，包括减震基座、宏动位移台、支架I、微动位移台、支架II，通过宏动位移台和微动位移台能够对悬臂进行三维方向上的弹性系数标定，支架I的内侧设置有固定相机和四象限光电探测器；支架II的内侧设置有悬臂，悬臂前端设置有探针，微动位移台上设置有载物台和单轴微力传感器，悬臂上方的支架II内侧设置有激光器。本发明还公开了一种三维微摩擦力和粘附力的测量方法。本发明较好的解决了传统粘附力和摩擦力测量装置无法对三维条件下的粘附力和摩擦力进行测量的技术瓶颈，能够对深孔等更为复杂的表面结构进行力学测量，具有测量分辨率高、灵敏度性能好等优点。
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公开(公告)号：CN117129110A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202311089363.2
申请日：2023-08-28
申请人： 合肥工业大学
摘要： 本发明公开了一种超高灵敏度的MEMS微压传感器，包括基座，两个谐振梁，两个调谐电极、两个弱耦合梁以及四个相同的压力膜。调谐电极用于调节谐振梁的刚度，实现两个谐振梁的固有频率相等；两个弱耦合梁采用对称的“S”型分布，提升了传感器微压测量灵敏度和品质因子。通过MEMS微压传感器，采用分段幅值比差值的检测方法即可实现待测压力的超高灵敏度检测。本发明的超高灵敏度的MEMS微压传感器，可用于航空航天等领域的微压测量，具有超高的灵敏度，且检测范围广，品质因数高，稳定性好。
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公开(公告)号：CN115912988A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211704155.4
申请日：2022-12-29
申请人： 合肥工业大学
摘要： 本发明公开了一种用于压电致动器的电荷泵校正驱动方法，是利用基准电压模块产生正负基准电压；利用逻辑比较模块产生基准电压模块的控制信号f1；利用开关电容模块控制压电致动器两端电荷量的变化速率；利用迟滞校正模块产生变化的电压信号控制压频转换模块；利用压频转换模块产生开关电容模块的控制信号f2；其中，迟滞校正模块的校正参数由经典电荷泵驱动的输出迟滞曲线进行二阶多项式拟合得到。本发明能实现输出位移范围与频率的简单可调，在驱动电压范围为0到100V范围时能在经典电荷泵驱动的基础上将压电致动器的迟滞大幅降低至0.47％以下，从而能明显改善压电致动器的迟滞非线性，具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN113067497B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202110326662.8
申请日：2021-03-26
申请人： 合肥工业大学
摘要： 本发明公开了一种压电陶瓷驱动器的迟滞分割建模与补偿方法，其步骤包括：S1：利用电压放大器放大数模转换器输出的模拟电压，驱动压电陶瓷驱动器运动；S2:加载压电陶瓷驱动器至极限电压，得到其迟滞主环曲线；S3：利用S2已完成的迟滞主环，对压电陶瓷驱动器加载其他输入电压(其电压包含在主环电压范围内)，所形成的迟滞次环都可由迟滞主环得到；S4：利用高阶有理分式逼近模型中的迟滞主环，通过递推算法完成迟滞分割建模与补偿。本发明能够准确描述迟滞非线性的数学模型，并开发出一种模型简单、并且精度高的压电陶瓷驱动器迟滞模型，从而为研究压电陶瓷驱动器在超精密位移驱动系统的精确控制奠定模型基础。
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