公开(公告)号：CN103917914A

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：CN201280053084.4

申请日：2012-10-23

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 松本直也 ,  泷口优 ,  安藤太郎 ,  大竹良幸 ,  井上卓 ,  大津知子 ,  丰田晴义

IPC: G02F1/01 ,  B23K26/064

CPC classification number: G03H1/08 ,  B23K26/032 ,  G02F2203/12 ,  G02F2203/18 ,  G02F2203/50 ,  G03H1/0808 ,  G03H1/2294 ,  G03H2001/085 ,  G03H2225/32

Abstract: 在使用了空间光调制器的激光的聚光照射的控制中，取得激光的波长数、各个波长的值以及激光的入射条件(步骤S101)，设定聚光点数、以及各个聚光点上的聚光位置、波长、聚光强度(S104)，对于各个聚光点，导出由包含空间光调制器的光学系统赋予激光的失真相位图案(S107)。然后，考虑失真相位图案来设计呈现于空间光调制器的调制图案(S108)。另外，在调制图案的设计中，使用着眼于一个像素中的相位值的影响的设计法并且在评价聚光点上的聚光状态的时候使用加上了失真相位图案的传播函数。由此，实现了能够适当地实现激光的聚光控制的光调制控制方法、程序、装置以及激光照射装置。

公开(公告)号：CN103392147A

公开(公告)日：2013-11-13

申请号：CN201280009021.9

申请日：2012-02-10

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 大津知子 ,  松本直也 ,  泷口优

IPC: G02F1/133 ,  G02F1/13 ,  G09G3/20 ,  G09G3/36

CPC classification number: G02F1/13306 ,  G09G3/3611 ,  G09G2320/0285 ,  G09G2320/041 ,  G09G2360/145

Abstract: 空间光调制装置（1A）具备：液晶层（12），对应于施加电场的大小而调制入射光的相位；温度传感器（17），生成作为对应于液晶层（12）的温度的信号的温度信号（Stemp）；多个像素电极（13a），设置于多个像素的每个像素并将产生施加电场的电压施加于液晶层（12）；驱动装置（20A），将电压提供给多个像素电极（13a）。驱动装置（20A）具有预先存储包含于表示相对于液晶层（12）的基准温度（T0）的温度变化量与液晶层（12）中的相位调制量的变动量的相关的函数中的系数（α）的非挥发性存储元件（23），使用温度信号（Stemp）所表示的温度和系数（α），进行用于修正电压的大小的运算。由此，实现了能够减小必要的存储容量、制作容易而且能够提高相对于所期望的相位调制量的施加电压值的精度的空间光调制装置以及空间光调制方法。

公开(公告)号：CN103370648A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201280009031.2

申请日：2012-02-10

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 大津知子 ,  松本直也 ,  泷口优

IPC: G02F1/133 ,  G02F1/13 ,  G09G3/20 ,  G09G3/36

CPC classification number: G02F1/13306 ,  G02F2203/12 ,  G02F2203/50 ,  G09G3/3611 ,  G09G2320/0285 ,  G09G2320/041 ,  G09G2360/145

Abstract: 空间光调制装置（1A）具备：液晶层（12），对应于施加电场的大小而调制入射光的相位；温度传感器（17），生成作为对应于液晶层（12）的温度的信号的温度信号（Stemp）；多个像素电极（13a），设置于多个像素的每个并将产生施加电场的电压施加于液晶层（12）；驱动装置（20A），将电压提供给多个像素电极（13a）。驱动装置（20A）具有预先存储包含于表示相对于液晶层（12）的基准温度（T0）的温度变化量与液晶层（12）中的相位调制量的变动量的相关的函数中的系数（α）的非挥发性存储元件（23），使用温度信号（Stemp）所表示的温度和系数（α），进行用于修正电压的大小的运算。由此，实现了能够减小必要的存储容量、制作容易而且能够提高相对于所期望的相位调制量的施加电压值的精度的空间光调制装置以及空间光调制方法。

公开(公告)号：CN101712100A

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：CN200910151293.2

申请日：2009-10-09

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 泷口优 ,  松本直也 ,  福智升央 ,  井上卓 ,  竹森民树 ,  向坂直久

IPC: B23K26/06 ,  G03H1/08

CPC classification number: H01S3/0085 ,  B23K26/06 ,  B23K26/352 ,  G02B3/08 ,  G02B5/32 ,  G02B13/22 ,  G03H1/0005 ,  G03H1/08 ,  G03H1/0808 ,  G03H1/2294 ,  G03H2001/0094 ,  G03H2225/32

Abstract: 本发明提供激光加工装置和激光加工方法。激光加工装置(1)具备激光光源(10)、相位调制型的空间光调制器(20)、驱动部(21)、控制部(22)以及成像光学系统(30)。成像光学系统(30)可以是远心光学系统。包含于驱动部(21)中的存储部(21A)存储分别对应于多个基本加工图案的多个基本全息图，并且存储相当于菲涅耳透镜图案的聚光用全息图。控制部(22)并列配置选自由存储部(21A)存储的多个基本全息图中的2个以上的基本全息图，并将聚光用全息图重叠于该并列配置的各个基本全息图上，从而构成整体全息图，将该构成的整体全息图显示于空间光调制器(20)。

公开(公告)号：CN101618637A

公开(公告)日：2010-01-06

申请号：CN200910158707.4

申请日：2009-07-03

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 松本直也 ,  福智升央 ,  向坂直久 ,  井上卓 ,  泷口优

IPC: B41J2/435 ,  G03H1/22

CPC classification number: B41J2/442 ,  B23K26/066 ,  B41J2/465 ,  B41M5/24 ,  G02B26/06 ,  G02B27/42 ,  G02B27/4244 ,  G02B27/425 ,  G03H1/0005 ,  G03H1/0236 ,  G03H1/08 ,  G03H1/0808 ,  G03H1/2286 ,  G03H1/2294 ,  G03H2001/0094 ,  G03H2001/0816 ,  G03H2001/2218 ,  G03H2210/52 ,  G03H2225/32 ,  G03H2240/51 ,  G03H2240/53

Abstract: 本发明提供激光加工装置和激光加工方法。激光加工装置(1)具有激光光源(10)、空间光调制器(20)、驱动部(21)、控制部(22)以及聚光光学系统(30)。控制部(22)在被存储部(21A)存储的多个基本全息图中，选择与加工对象物(91)中的整体加工图案所包含的各基本加工图案相对应的基本全息图；针对该选择的各基本全息图，当设输入到空间光调制器(20)的基本全息图的显示区域中的激光的强度为I，设基本全息图中的激光的衍射效率为η，设与基本全息图相对应的基本加工图案中的聚光点数为n时，以使“Iη/n”的值的偏差变小的方式确定空间光调制器(20)中的基本全息图的显示区域。