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公开(公告)号:CN103201681A
公开(公告)日:2013-07-10
申请号:CN201180052361.5
申请日:2011-10-18
申请人: 原子能和能源替代品委员会
IPC分类号: G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号: B23K26/02 , B41J2/442 , B41J2/465 , G03F7/20 , G03F7/2053 , G03F7/70383 , H01L21/0272 , H01L21/0275
摘要: 本发明的一般领域为光刻系统领域,该光刻系统用于应用激光剥离技术在包括一个或多个平面光敏层的平面衬底(1)上生产电子部件。根据本发明的系统是激光直写系统。其包括光学或机械装置,所述光学或机械装置配置为使光束(F)的有用部分在光敏层的平面上倾斜,以便在所述层内产生凹入剖面,所述光束的有用部分为实际上有助于产生所述剖面的光束的部分。在本发明的优选的实施方案中,该系统包括用于部分遮挡所述光束的装置(50),所述装置位于聚焦光学器件(23)附近。
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公开(公告)号:CN102990223A
公开(公告)日:2013-03-27
申请号:CN201210336568.1
申请日:2012-09-12
申请人: 株式会社迪思科
发明人: 能丸圭司
CPC分类号: B23K26/04 , B23K26/02 , B23K26/0622 , B23K26/08 , B23K26/0853 , B23K26/0876 , B23K2101/40 , B41J2/1634 , B41J2/465
摘要: 本发明的激光加工装置具有:卡盘台;激光光线照射构件;加工进给构件;X轴方向位置检测构件,其检测卡盘台移动位置;以及控制构件,激光光线照射构件具有:脉冲激光光线振荡构件;聚光器,其具有对脉冲激光光线进行会聚而照射到保持在卡盘台上的被加工物的聚光透镜;以及压电电机,其使聚光器与Z轴方向成规定角度(α)来位移,控制构件针对脉冲激光光线的重复频率,控制在压电电机上施加的高频电流的频率和电压,在将卡盘台在X轴方向上加工进给时,通过在将聚光器在X轴方向上移动Δx并在Z轴方向上移动Δz,使通过聚光透镜聚光的脉冲激光光线的聚光点在保持在卡盘台上的被加工物的规定区域的厚度方向上位移。
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公开(公告)号:CN101208634A
公开(公告)日:2008-06-25
申请号:CN200680022797.9
申请日:2006-06-21
申请人: 富士胶片株式会社
CPC分类号: B41J2/465 , G02B26/0833 , G03F7/70291 , G03F7/70508
摘要: 一种制作帧数据的装置,上述帧数据用于通过使排列有多个描绘元件群的空间光调制元件在扫描方向上移动、且根据该移动将帧数据输入到空间光调制元件形成图像时,其中,根据在和上述扫描方向对应的副扫描方向以及与该副扫描方向垂直的主扫描方向上将像素数据二维状配置的图像数据,制作帧数据时,分别检测出描绘元件群(圆1~圆24)的至少一部分描绘元件的描绘点的位置,根据检测出的各描绘点的位置制作帧数据。
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公开(公告)号:CN100333917C
公开(公告)日:2007-08-29
申请号:CN03801518.8
申请日:2003-08-14
申请人: 西铁城时计株式会社
摘要: 在装备有由液晶像素的单个阵列构成的液晶快门的彩色液晶曝光装置中,通过减少在液晶快门中控制液晶像素所需的控制IC的数量来实现成本的降低。在相对移动期间用于曝光光敏部件的液晶曝光装置包括:发出多种有色光束的彩色光源;具有沿垂直于相对运动方向排列的多个液晶像素的液晶快门以及用于将彩色光源从一种有色光切换到另一种并且驱动多个液晶像素的驱动电路,其中多个液晶像素分为N个液晶像素一组的多个像素组,在每个像素组中排列的N个液晶像素在垂直于相对运动方向的方向彼此偏移预定的距离,并且驱动电路以时分方式同时驱动在多个像素组中具有相同偏移位置的多个液晶像素。
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公开(公告)号:CN1721996A
公开(公告)日:2006-01-18
申请号:CN200510078177.4
申请日:2005-06-16
申请人: 富士胶片株式会社
IPC分类号: G03F7/20
CPC分类号: H04N1/19 , B41J2/465 , H04N1/00734 , H04N1/00745 , H04N1/1008 , H04N1/1906 , H04N1/193 , H04N1/1933 , H04N1/195 , H04N1/19573 , H04N2201/0436
摘要: 一种多重描绘形式的描绘装置以及描绘方法。装入曝光装置(描绘装置)的各曝光头(30)的矩形的二维像素阵列,以相对扫描方向成规定的设定倾斜角度的方式,相对感光材料(12)的感光面安装。与各像素阵列的中心附近的像素列相对应的代表光点列的曝光面上的实际倾斜角度,是通过缝隙和光检测器的组进行测定。根据测定的实际倾斜角度,代表光点列附近的区域中,以进行将曝光的冗长或者不足抑制到最小限度的接近理想的多重曝光的方式,选择像素阵列上的使用像素。仅实际动作选择的使用像素,将各曝光头(30)相对移动载物台(14)移动的同时,进行曝光处理。由此,可以减轻由描绘头的安装角度误差以及图形变形引起的清晰度或者浓度的不均匀。
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公开(公告)号:CN1637458A
公开(公告)日:2005-07-13
申请号:CN200410103606.4
申请日:2004-12-27
申请人: 精工爱普生株式会社
CPC分类号: H04N1/1135 , B41J2/465 , B41J2/471 , G02B26/0841 , G02B26/085 , G02B26/10 , H04N1/12 , H04N2201/0082 , H04N2201/0446
摘要: 本发明提供一种可使光束在被扫描面上高速扫描的光扫描装置及使用该装置的图像形成装置。其中,来自激光光源(62)的光束与偏转镜面(651)的面法线(NL)成锐角(γ)而从摆动轴方向(副扫描方向Y)向偏转镜面(651)入射,由此在主扫描方向(X)扫描光束。如此沿摆动轴方向使光束向偏转镜面(651)入射,可使主扫描方向(X)上的可动板(653)长度较小。此外由第一光学系统(63)将向偏转镜面(651)入射的光束整形为在主扫描方向(X)延伸的细长截面形状,另一方面将可动板(653)加工成在主扫描方向(X)延伸的细长形状。因此,可动板(653)重量减轻,可比现有装置更高速且稳定地摆动可动板(653)。
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公开(公告)号:CN1550902A
公开(公告)日:2004-12-01
申请号:CN200410035361.6
申请日:1999-03-02
申请人: 微激光系统公司
发明人: 托布约姆·桑德斯特罗姆
IPC分类号: G03F7/20 , G02B26/06 , H01L21/027 , G03F1/00
CPC分类号: G03F7/70725 , B23K26/032 , B23K26/064 , B23K26/0648 , B41J2/465 , G02B26/0833 , G02B26/0841 , G02B27/0043 , G02B27/4205 , G03F7/2022 , G03F7/70041 , G03F7/70283 , G03F7/70291 , G03F7/704 , G03F7/70475 , G09G3/2007 , G09G3/346 , H04N1/195 , H04N5/7458 , H04N2201/0414
摘要: 本发明涉及到一种用来在对辐射敏感的工件上产生诸如光掩模、显示屏或微光学器件之类的图形的装置。此装置包含辐射源和具有多个调制元件/象素的空间调制器。它还包含将驱动信号馈送到调制器的电子数据处理和发送系统、用来移动所述工件的精密机械系统、以及对工件的运动、到调制器的信号馈送和辐射的强度进行协调以便将分图形顺序产生的分图象缝合成所述图形的电子控制系统。根据本发明,驱动信号能够将调制元件设定到多于2的多个状态。
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公开(公告)号:CN1173234C
公开(公告)日:2004-10-27
申请号:CN99803476.2
申请日:1999-03-02
申请人: 微激光系统公司
发明人: 托布约姆·桑德斯特罗姆
IPC分类号: G03F7/20 , G03F7/207 , G02B26/00 , G03F1/00 , H01L21/027
CPC分类号: G03F7/70725 , B23K26/032 , B23K26/064 , B23K26/0648 , B41J2/465 , G02B26/0833 , G02B26/0841 , G02B27/0043 , G02B27/4205 , G03F7/2022 , G03F7/70041 , G03F7/70283 , G03F7/70291 , G03F7/704 , G03F7/70475 , G09G3/2007 , G09G3/346 , H04N1/195 , H04N5/7458 , H04N2201/0414
摘要: 本发明涉及到一种用来在工件上产生诸如半导体芯片上的图形之类的具有极高分辨率的图形的装置。此装置包含用来发射EUV波长范围的电磁辐射源、具有多个象素的空间调制器(SLM)、接受待要写入的图形的数字表述、从中提取分图形序列、将所述分图形转换成调制器信号并将所述信号馈送到调制器的电子数据处理和发送系统、用来彼此相关地移动所述工件和/或投影系统的精密机械系统。它还包含对工件的运动、到调制器的信号馈送和辐射的强度进行协调以便将分图象缝合在一起形成所述图形的电子控制系统。
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公开(公告)号:CN1159628C
公开(公告)日:2004-07-28
申请号:CN98804174.X
申请日:1998-04-14
申请人: 迪科公司
发明人: 汉宁·汉宁森
IPC分类号: G03F7/207 , G03B27/72 , G02F1/1335 , F21S2/00
CPC分类号: B41J2/465 , B41J2/451 , G02B6/0008
摘要: 本发明涉及至少一个发光器,所述发光器被设置成通过一个微型快门装置照明至少一个照明面,所述的微型快门装置包括至少一个微型快门,每一个微型快门包括一个贯穿照明孔和一个与贯穿照明孔相关联的能电驱动的光阑部件(4),发光器(1)的至少一个被设置成能经过一个第一透镜装置照明至少两个微型快门,所述透镜装置包括相对于每一微型快门设置的至少一个微透镜,以便由一个发光器或多个发光器发出的光聚焦在各个微型快门中。根据本发明,能用空前高的、均匀的照明强度实现在照明面上照明整个非常大的区域。
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公开(公告)号:CN1437057A
公开(公告)日:2003-08-20
申请号:CN03104359.3
申请日:2003-02-08
申请人: 三菱电机株式会社
IPC分类号: G02F1/1335 , G02F1/1343 , B41J2/445 , H01L21/3205
CPC分类号: B41J2/465 , G02F1/133512 , G06K15/1252
摘要: 在传统的遮光膜及电极图案的形成方法中,由于要在玻璃基体基片的整个面上形成金属膜,多余地使用金、铂等昂贵的金属膜,造成浪费,并且需要进行三道光掩模致使制造工序较多、制造成本增加。本发明采用金膜形成遮光膜(6a)与电极覆膜(7c),并在形成遮光膜(6a)与电极覆膜(7c)时,只在需要的部分印刷有机金胶,经焙烧后同时形成。
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