-
公开(公告)号：CN1176406C
公开(公告)日：2004-11-17
申请号：CN02116681.1
申请日：2002-04-15
申请人： 清华大学
摘要： 阵列式集成电路扫描光刻用的工作台运动控制方法及系统属于微细工程，尤其涉及集成电路光刻扫描技术领域，其特征在于：计算机根据从激光干涉仪得到的工作台位置坐标信号，向脉冲计数器发出开始或停止计数信号。脉冲计数器把工作台一定位移内得到的脉冲数反馈回计算机，从而得到工作台的瞬间运动速度，工作台匀加速和匀减速运动中，对工作台一定位置的瞬间速度和标准速度进行比较；工作台匀速运动中，对两个相邻区间脉冲数获得的工作台运动速度和加速度进行计算，分别根据以上两种情况得到对工作台加速度或速度进行控制的信号，再分别通过调整电机驱动电压来控制工作台速度。它简单易行，控制精度高，保证工作台匀速段速度变化误差小于1%，提高了电路图形的光刻质量。
-
公开(公告)号：CN1142546C
公开(公告)日：2004-03-17
申请号：CN01139829.9
申请日：2001-11-30
申请人： 清华大学
摘要： 基于相变材料的多阶存储光盘读写系统属于光存储技术领域，其特征在于，它含有：纵向写光路，横向读光路，位于读光路分光镜上方的直接相位检测装置及多阶光盘；写光路依次设置写激光器，准直透镜，分光镜和聚光镜；读光路依次设置读激光器，准直透镜，分光镜，Wollaston棱镜和写光路中的分光镜和聚光镜，写、读激光器各位于相应分光镜焦点上；直接相位检测装置含有：把输入光分为I、II两束的分光镜，依次向后设在光路I上的1/4波片、半波片、入射角为45度的偏振分光镜，依次设在光路II上的反射镜中密滤镜、半波片，入射角为45°的偏振分光镜，接收聚焦后的上述偏振分光镜输出的4重光的光电探测器。它可充分利用现有技术及工艺而提供一种结构简单，能实现高密度存储和高数据传输率的多阶光盘读写系统。
-
公开(公告)号：CN1460997A
公开(公告)日：2003-12-10
申请号：CN03121143.7
申请日：2003-03-28
申请人： 清华大学
IPC分类号： G11B7/0045 , G11B7/125 , G11B7/26
摘要： 多阶母盘刻录的控制方法及刻录用的激光器驱动装置，属于母盘刻录中的微细工程技术领域。其特征在于，本控制方法是在传统的二阶母盘刻录控制方法的基础上，增加了多阶功率的选通控制和多阶功率的大小稳定控制，本发明还根据该控制方法设计了激光器驱动装置，它采用了一个能实现多阶功率选通和调节的驱动电路，该驱动电路含有一个由三极管电阻网络和差分运算放大器构成的功率选通调节电路和一个功率放大电路。本控制方法能够有效控制在母盘上进行的多阶刻录，本激光器驱动装置能够改变流过激光器的电流，使激光器发出不同功率的激光，从而在母盘感光层上刻录下不同灰度的信号，实现多阶刻录。
-
公开(公告)号：CN1447313A
公开(公告)日：2003-10-08
申请号：CN03121945.4
申请日：2003-04-18
申请人： 清华大学
摘要： 基于双折射原理的多阶光存储方法和多阶只读光盘结构，属于光盘存储技术领域。其特征是，所述存储方法是当线偏振的入射光通过记录层后，其偏振状态发生变化，利用记录层上不同深度的记录坑点，使得入射光在记录层中经过的路径长度不同，得到不同的反射光偏振状态，检测反射光的不同偏振状态，得到反映不同记录坑点深度的多阶信号，即可进行多阶光盘存储。利用干涉检测的方法，可以得到16阶以上的存储效果。本发明所述的多阶光盘是只读式的，可以有效地提高光盘的存储密度和存储容量。
-
公开(公告)号：CN1441412A
公开(公告)日：2003-09-10
申请号：CN03102682.6
申请日：2003-02-14
申请人： 清华大学
IPC分类号： G11B7/0045 , G11B7/125 , G11B7/24
摘要： 多波长多阶只读光盘的母盘刻录和制造方法，属于高密度数字光存储技术和微细加工技术领域，其特征在于：它是一种利用记录材料对应的选择吸收特性，用多波长刻录激光进行多路并行刻录，并在每一层上多阶存储的方法，它依次包含以下步骤：在玻璃盘基上旋涂由多种波长激光一一对应的多种光致变色材料混合而成的感光层；多种波长的刻录激光通过复消色差物镜聚焦在同一感光层上，进行多路并行刻录；改变曝光区域光致变色材料对特定波长激光的吸收率，并按吸收率的高低分阶以记录数据；对感光层进行固定处理；在感光层上再旋涂一层透明的固化介质层；把固化介质层和感光层从玻璃盘基上一起剥离；在感光层上甩涂保护层，三者组成的掩膜即为母盘。
-
公开(公告)号：CN1121030C
公开(公告)日：2003-09-10
申请号：CN00124422.1
申请日：2000-09-01
申请人： 清华大学
摘要： 本发明涉及一种多层三维存储光学头，该光学头中，激光器、倍频器、准直镜和两个分光镜构成主光轴。物镜、右侧分光镜、辅助准直镜、辅助激光器同光轴安装，该光轴与主光轴成90°角。被读写盘片置于物镜的相对于分光镜的另一侧，另一准直镜和另一激光器与左侧分光镜同光轴安装，该光轴与主光轴成90°角，构成付光轴。联动调焦机构同时与两个准直镜相连。使用本发明可对多层三维光盘进行并行读写，有效提高光盘数据读写速率和存储容量。
-
公开(公告)号：CN1434443A
公开(公告)日：2003-08-06
申请号：CN03119279.3
申请日：2003-03-07
申请人： 清华大学
IPC分类号： G11B7/26 , G11B7/0045 , G03F7/00
摘要： 灰度记录方式只读光盘的复制方法属于高密度数字光存储领域，其特征在于：先把对不同波长的光反应不同的感光材料均匀涂在压制好的盘基上，以预先制造好的母盘为掩膜，用1∶1的曝光法进行曝光；然后，把曝光后的盘片上的感光层进行固定，成为信息记录层；最后分别把反射层和保护层旋涂在信息记录层上，完成灰度记录方式只读光盘的复制。所述的1∶1曝光法可以是反射式的，也可以是接近式的。它解决了灰度记录技术中的只读光盘复制问题。
-
公开(公告)号：CN1410988A
公开(公告)日：2003-04-16
申请号：CN02153871.9
申请日：2002-12-06
申请人： 清华大学
摘要： 光盘阵列库结构，属于海量光存储技术领域中的存储设备制造领域。本发明是为了在设备结构简单，成本较低的条件下，实现光盘的同步加载/卸载，解决一个光盘库中机械手的竞争问题。本发明公开了一种光盘阵列库结构，包括光盘架、驱动器和机械手，其特征在于：该结构包括由光盘架驱动装置驱动的光盘架，在所述光盘架上均匀排列的光盘夹，以垂直于光盘架方向放置于光盘夹中的光盘和N对一一对应的机械手和驱动器；所述的N对机械手和驱动器分布在所述光盘架的旁边，所述机械手位于与其对应的驱动器和光盘架之间。本发明中机械手与驱动器一一对应，使光盘阵列库结构大大简化，实现了单光盘库内对应光盘的同时加载/卸载，从而提高了效率，降低了成本。
-
公开(公告)号：CN1374564A
公开(公告)日：2002-10-16
申请号：CN02116681.1
申请日：2002-04-15
申请人： 清华大学
摘要： 阵列式集成电路扫描光刻用的工作台运动控制方法及系统属于微细工程,尤其涉及集成电路光刻扫描技术领域,其特征在于:计算机根据从激光干涉仪得到的工作台位置坐标信号,向脉冲计数器发出开始或停止计数信号。脉冲计数器把工作台一定位移内得到的脉冲数反馈回计算机,从而得到工作台的瞬间运动速度,工作台匀加速和匀减速运动中,对工作台一定位置的瞬间速度和标准速度进行比较;工作台匀速运动中,对两个相邻区间脉冲数获得的工作台运动速度和加速度进行计算,分别根据以上两种情况得到对工作台加速度或速度进行控制的信号,再分别通过调整电机驱动电压来控制工作台速度。它简单易行,控制精度高,保证工作台匀速段速度变化误差小于1%,提高了电路图形的光刻质量。
-
公开(公告)号：CN1352456A
公开(公告)日：2002-06-05
申请号：CN01139830.2
申请日：2001-11-30
申请人： 清华大学
IPC分类号： G11B7/24
摘要： 具有多层可重写相变记录层的多层多阶光盘属于光学数据存储技术领域,其特征在于:盘有透明的衬底,激光从该衬底入射。该衬底支承着至少两个空间上被此隔开但紧靠的多层记录叠层,也可只支承一个多层记录叠层。每个叠层中都包括可重写相变材料制的有效记录层。所有记录叠层都位于光盘系统的物镜焦深范围内,通过调节激光的功率而在不同的记录叠层和记录叠层的组合上记录数据,就可实现多层多阶存储。它具有分层结构简单、存取读出容易、制造工艺简便等优点。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
121 条记录 (耗时 0.044 秒)
