公开(公告)号：CN101687302A

公开(公告)日：2010-03-31

申请号：CN200880024274.7

申请日：2008-07-08

申请人： 卡尔蔡司SMT股份公司

发明人： 拉尔夫·阿诺德 ,  斯蒂芬·舒尔特 ,  伯恩德·多尔班德

IPC分类号： B24B13/06

CPC分类号： G01B9/021 ,  G01B9/02039 ,  G01B11/2441 ,  G01M11/025 ,  G01M11/0271 ,  Y10T29/49771

摘要： 提供对准至少两个波形整形元件的方法、测量光学表面从目标形状的偏差的方法、以及用于干涉测量光学表面从目标形状的偏差的测量设备。波形整形元件的每一个包括用于将入射光的波前的部分与目标形状的相应部分相适应的衍射测量结构，对准至少两个波形整形元件的方法包括如下步骤：向波形整形元件中的第一者提供衍射对准结构；将波形整形元件彼此相对布置，从而在测量设备的操作期间，入射光束的独立的光束子集穿过每一衍射测量结构；以及，通过对连续与衍射对准结构和第二波形整形元件相互作用的对准光进行评估，所述第一波形整形元件以及所述波形整形元件中的第二个关于彼此对准。

公开(公告)号：CN1168971C

公开(公告)日：2004-09-29

申请号：CN99105149.1

申请日：1999-04-21

申请人： 株式会社理光

发明人： 森田展弘

IPC分类号： G01N21/43

CPC分类号： G01N21/23 ,  G01J4/04 ,  G01M11/025 ,  G01M11/0271 ,  G01M11/0285

摘要： 本发明涉及双折射测定方法及其装置，该装置包括照射光学系、照射侧移位机构、偏振光元件、回转装置、回转角检测装置、受光元件、成像光学系及运算装置。调整照射光学系位置，以发散光照射被检透镜，使偏振光元件回转，透过偏振光元件的光成像在受光元件上，根据偏振光元件回转角度及受光元件的受光输出，计算被检透镜的双折射。能得到光学畸变影响小的光弹性干涉条纹像，也能很容易地对应被检透镜种类的变更。

公开(公告)号：CN1427242A

公开(公告)日：2003-07-02

申请号：CN02156997.5

申请日：2002-12-23

申请人： 三星电子株式会社

发明人： 金兑熙 ,  詹姆斯·H·伯奇

IPC分类号： G01B9/023

CPC分类号： G01M11/025 ,  G01B9/021 ,  G01M11/0271

摘要： 本发明提供了一种用于测量非球面的方法和装置。非球面测量装置包括：产生入射光的干涉仪；具有非球面的测试件，入射光被该测试件反射成测试光；设置在入射光光路上的第一光学元件，至少有一个带有全息图的表面，用于把入射光向测试件衍射；和设置在第一光学元件后面的第二光学元件，把入射光透向非球面，并具有一个凹面，以便减小测试光从非球面反射后进入全息图的入射角。或者，可以用带有全息图和凹面的单光学元件代替单独的第一和第二光学元件。可以利用本装置精确地测量非球面。

公开(公告)号：CN85106007A

公开(公告)日：1987-02-25

申请号：CN85106007

申请日：1985-08-06

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 伍树东 ,  陈祥桢 ,  陶琇

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01M11/00

CPC分类号： G01M11/0271 ,  G01J9/02 ,  G01J2009/0261 ,  G01M11/005

摘要： 偏振条纹扫描数字干涉仪是用于光学检验的仪器，它利用起偏器、偏振小孔、四分之一波片组成的位相偏振编码器将被测的位相分布φ(X、Y)编码为不同偏振角分布φ(X、Y)/2，通过旋转检编器进行条纹扫描，其干涉图由电视摄像机接收，送入微机进行数据处理。发明还提供了利用该仪器测量透镜，球面和平面等光学元件的实用光路。该发明的特点是结构简单，操作方便，在一般环境条件下工作，可获得高精密的测量。