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公开(公告)号:CN85106007B
公开(公告)日:1988-03-02
申请号:CN85106007
申请日:1985-08-06
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
CPC分类号: G01M11/0271 , G01J9/02 , G01J2009/0261 , G01M11/005
摘要: 偏振条纹扫描数字干涉仪是用于光学检验的仪器,它利用起编器、偏振小孔、菲涅尔相板组成的位相偏振编码器将被测的位相分布φ(X、Y)编码为不同偏振角分布φ(X、Y)/2,通过旋转检编器进行条纹扫描,其干涉图由电视摄像机接收,送入微机进行数据处理。发明提供了测量透镜、球面和平面等光学元件的实用的偏振条纹扫描数字干涉仪。该发明的特点是结构简单,操作方便,在一般环境条件下工作,可获得高精密的测量。
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公开(公告)号:CN85106007A
公开(公告)日:1987-02-25
申请号:CN85106007
申请日:1985-08-06
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
CPC分类号: G01M11/0271 , G01J9/02 , G01J2009/0261 , G01M11/005
摘要: 偏振条纹扫描数字干涉仪是用于光学检验的仪器,它利用起偏器、偏振小孔、四分之一波片组成的位相偏振编码器将被测的位相分布φ(X、Y)编码为不同偏振角分布φ(X、Y)/2,通过旋转检编器进行条纹扫描,其干涉图由电视摄像机接收,送入微机进行数据处理。发明还提供了利用该仪器测量透镜,球面和平面等光学元件的实用光路。该发明的特点是结构简单,操作方便,在一般环境条件下工作,可获得高精密的测量。
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