一种高精度流量比例控制阀装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118391486A

    公开(公告)日:2024-07-26

    申请号:CN202410503926.6

    申请日:2024-04-25

    IPC分类号: F16K31/53 F16K1/22

    摘要: 本发明公开了一种高精度流量比例控制阀装置,包括阀体,所述阀体的本体上设置有调控机构,所述调控机构包括阀杆,所述阀杆的外表面与阀体的内部转动连接,所述阀杆的一端与阀体的本体贯穿转动连接并延伸至阀体的外部,所述阀杆的一端固定连接有转动齿轮,所述转动齿轮的外表面啮合有齿轮组,所述齿轮组的本体贯穿固定连接有连杆,所述连杆的外部设置有转杆,所述阀杆的外表面固定连接有阀板,所述阀板的外表面与阀体的内部活动连接,涉及控制阀技术领域,解决了现有高精度流量控制阀使用时,存在着控制范围有限,导致使用范围受限,且使用固定齿轮传动,导致传动比固定,从而影响整体控制精度的问题。

    一种应用于半导体生产用的臭氧发生器

    公开(公告)号:CN117550558B

    公开(公告)日:2024-04-26

    申请号:CN202410009504.3

    申请日:2024-01-04

    摘要: 本发明公开了一种应用于半导体生产用的臭氧发生器,包括机体,所述机体的一侧安装有气体过滤组件,所述气体过滤组件包括进风过滤管,所述进风过滤管的一侧顶部设置有进风口,所述进风过滤管的内侧安装有除尘内筒,所述除尘内筒上安装有除尘活性炭滤芯,所述进风过滤管的另一侧安装有进气扰流管,所述进气扰流管贯穿进风过滤管设置在除尘内筒上;通过设置的该带有气体过滤组件的结构,当使用该装置制取臭氧时,可将气体通过过滤组件,从而将气体中的杂质与异味进行过滤,避免气体中含有杂质进入设备内部,提高臭氧的制取纯度,并且清洁后的灰尘方便收集与排出,增加了该结构的使用寿命,降低了生产成本,提高了该装置的实用性与便捷性。

    一种应用于半导体生产用的臭氧发生器

    公开(公告)号:CN117550558A

    公开(公告)日:2024-02-13

    申请号:CN202410009504.3

    申请日:2024-01-04

    摘要: 本发明公开了一种应用于半导体生产用的臭氧发生器,包括机体,所述机体的一侧安装有气体过滤组件,所述气体过滤组件包括进风过滤管,所述进风过滤管的一侧顶部设置有进风口,所述进风过滤管的内侧安装有除尘内筒,所述除尘内筒上安装有除尘活性炭滤芯,所述进风过滤管的另一侧安装有进气扰流管,所述进气扰流管贯穿进风过滤管设置在除尘内筒上;通过设置的该带有气体过滤组件的结构,当使用该装置制取臭氧时,可将气体通过过滤组件,从而将气体中的杂质与异味进行过滤,避免气体中含有杂质进入设备内部,提高臭氧的制取纯度,并且清洁后的灰尘方便收集与排出,增加了该结构的使用寿命,降低了生产成本,提高了该装置的实用性与便捷性。

    一种质量流量控制器调节系统
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118331334A

    公开(公告)日:2024-07-12

    申请号:CN202410503910.5

    申请日:2024-04-25

    IPC分类号: G05D7/06

    摘要: 本发明公开了一种质量流量控制器调节系统,本发明涉及质量流量控制器技术领域,解决了现有的质量流量控制器调节系统中,在测量与控制中存在一定的限制,主要是对于非常低的流量水平,质量流量控制器可能难以精确测量和控制流量,同时由于信号微弱和系统噪声导致的在对气体流量进行测量时出现测量精度不准的问题,本发明通过流量传感器直接测量到的与气体流量大小相关的物理量,并通过信号转化模块提高信号的幅度,使其更适合于后续的处理和分析,通过处理识别模块有助于识别信号去除噪音,保留低频的有效流量信号,从而有效地解决由于信号微弱和系统噪声导致的在对气体流量进行测量时出现测量精度不准的问题。

    一种恒温型高精度气体流量传感器

    公开(公告)号:CN118032081B

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202410430841.X

    申请日:2024-04-11

    IPC分类号: G01F15/04 G01F1/86

    摘要: 本发明涉及气体传感器技术领域,具体涉及一种恒温型高精度气体流量传感器,包括壳体;所述壳体内设有进气室、换热室以及测量室;所述壳体设有与进气室连通的进气口以及与测量室连通的出气口;所述换热室设于进气室与测量室之间;所述换热室内设有换热单元;所述换热片设有加热件。本发明通过改变第一偏心件在第一渐开线槽的位置,从而能够改变测量气体在第一换热槽经过的路程,从而改变了测量气体的加热时间,以使得传感器能够适应不同流量不同流速的测量气体。

    一种用于气体混合输送管道的循环采样装置

    公开(公告)号:CN118548440A

    公开(公告)日:2024-08-27

    申请号:CN202411029608.7

    申请日:2024-07-30

    摘要: 本发明公开了一种用于气体混合输送管道的循环采样装置,包括混合管道本体,所述混合管道本体顶面的两侧均设置有采样机构,且采样机构包括储存筒以及连通于混合管道本体顶面的L形抽样管,所述L形抽样管的一端通过第一伸缩管连通有插管,所述储存筒表面的一侧连通有进气管,所述插管的一端位于进气管的内部,所述进气管的一端设置有启闭件,本发明涉及气体采样技术领域。该用于气体混合输送管道的循环采样装置,通过插管以及启闭件的设置,能够将混合管道本体内部的气体排入至储存筒的内部,无气体外溢,并且人员在拿取储存筒时能够自动对进气管进行封闭,防止样本气体泄漏,从而达到保护样本气体的作用。

    一种恒温型高精度气体流量传感器

    公开(公告)号:CN118032081A

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202410430841.X

    申请日:2024-04-11

    IPC分类号: G01F15/04 G01F1/86

    摘要: 本发明涉及气体传感器技术领域,具体涉及一种恒温型高精度气体流量传感器,包括壳体;所述壳体内设有进气室、换热室以及测量室;所述壳体设有与进气室连通的进气口以及与测量室连通的出气口;所述换热室设于进气室与测量室之间;所述换热室内设有换热单元;所述换热片设有加热件。本发明通过改变第一偏心件在第一渐开线槽的位置,从而能够改变测量气体在第一换热槽经过的路程,从而改变了测量气体的加热时间,以使得传感器能够适应不同流量不同流速的测量气体。

    一种半导体设备用的密封垫片生产工艺

    公开(公告)号:CN117532793B

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN202410029539.3

    申请日:2024-01-09

    摘要: 本发明公开了一种半导体设备用的密封垫片生产工艺,涉及密封件制备技术领域,包括如下步骤:S1、选用原材料:首先准备生胶、石墨粉末、防老剂、增强剂和填充剂,然后将选用的原料按照比例投入至混炼机中进行混炼,得到密封垫片原料;S2、模压:将制得的原料投入注胶设备中,上模座与下模座组件合模后,注胶设备通过进料组件向模腔内进行注料,成型后将上模座以及下模座组件拆分进行脱模,该半导体设备用的密封垫片生产工艺,通过双杆液压缸带动第一模座和第二模座向相反方向进行移动,避免密封垫片边缘与模腔粘连,先对密封垫片边缘进行脱模,然后再通过上模座将压板向上移动,即可避免对密封垫片造成损坏,提升产品成型后的质量。

    一种半导体设备用的密封垫片生产工艺

    公开(公告)号:CN117532793A

    公开(公告)日:2024-02-09

    申请号:CN202410029539.3

    申请日:2024-01-09

    摘要: 本发明公开了一种半导体设备用的密封垫片生产工艺,涉及密封件制备技术领域,包括如下步骤:S1、选用原材料:首先准备生胶、石墨粉末、防老剂、增强剂和填充剂,然后将选用的原料按照比例投入至混炼机中进行混炼,得到密封垫片原料;S2、模压:将制得的原料投入注胶设备中,上模座与下模座组件合模后,注胶设备通过进料组件向模腔内进行注料,成型后将上模座以及下模座组件拆分进行脱模,该半导体设备用的密封垫片生产工艺,通过双杆液压缸带动第一模座和第二模座向相反方向进行移动,避免密封垫片边缘与模腔粘连,先对密封垫片边缘进行脱模,然后再通过上模座将压板向上移动,即可避免对密封垫片造成损坏,提升产品成型后的质量。

    一种用于多种气体输送流量控制的气柜

    公开(公告)号:CN218409541U

    公开(公告)日:2023-01-31

    申请号:CN202222668188.X

    申请日:2022-10-11

    摘要: 本实用新型公开了一种用于多种气体输送流量控制的气柜,涉及气柜技术领域,包括柜体,所述柜体前端上部安装有盖板,所述柜体前端下部转动连接有防护门,所述柜体内壁中部安装有安装板,所述安装板上端安装有储气室,所述储气室前端安装有三个进气控制阀,所述储气室后端安装有三个出气控制阀,所述出气控制阀延伸至柜体后方,所述柜体内腔下壁安装有三个电动推杆,三个所述电动推杆输出端均贯穿安装板并延伸至储气室内部,所述柜体上端安装有三个报警灯。本实用新型通过设置三个气仓用于存储不同种类的气体,增加了气柜的适用范围,通过设置电动推杆、活动板确保气体输出压力的稳定,便于进行气体流量控制。