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公开(公告)号：CN118391486A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410503926.6
申请日：2024-04-25
申请人： 九未实业(上海)有限公司
摘要： 本发明公开了一种高精度流量比例控制阀装置，包括阀体，所述阀体的本体上设置有调控机构，所述调控机构包括阀杆，所述阀杆的外表面与阀体的内部转动连接，所述阀杆的一端与阀体的本体贯穿转动连接并延伸至阀体的外部，所述阀杆的一端固定连接有转动齿轮，所述转动齿轮的外表面啮合有齿轮组，所述齿轮组的本体贯穿固定连接有连杆，所述连杆的外部设置有转杆，所述阀杆的外表面固定连接有阀板，所述阀板的外表面与阀体的内部活动连接，涉及控制阀技术领域，解决了现有高精度流量控制阀使用时，存在着控制范围有限，导致使用范围受限，且使用固定齿轮传动，导致传动比固定，从而影响整体控制精度的问题。
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公开(公告)号：CN117550558B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202410009504.3
申请日：2024-01-04
申请人： 九未实业(上海)有限公司
IPC分类号： C01B13/11 , B01D46/681 , B01D53/04
摘要： 本发明公开了一种应用于半导体生产用的臭氧发生器，包括机体，所述机体的一侧安装有气体过滤组件，所述气体过滤组件包括进风过滤管，所述进风过滤管的一侧顶部设置有进风口，所述进风过滤管的内侧安装有除尘内筒，所述除尘内筒上安装有除尘活性炭滤芯，所述进风过滤管的另一侧安装有进气扰流管，所述进气扰流管贯穿进风过滤管设置在除尘内筒上；通过设置的该带有气体过滤组件的结构，当使用该装置制取臭氧时，可将气体通过过滤组件，从而将气体中的杂质与异味进行过滤，避免气体中含有杂质进入设备内部，提高臭氧的制取纯度，并且清洁后的灰尘方便收集与排出，增加了该结构的使用寿命，降低了生产成本，提高了该装置的实用性与便捷性。
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公开(公告)号：CN117550558A
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202410009504.3
申请日：2024-01-04
申请人： 九未实业(上海)有限公司
IPC分类号： C01B13/11 , B01D46/681 , B01D53/04
摘要： 本发明公开了一种应用于半导体生产用的臭氧发生器，包括机体，所述机体的一侧安装有气体过滤组件，所述气体过滤组件包括进风过滤管，所述进风过滤管的一侧顶部设置有进风口，所述进风过滤管的内侧安装有除尘内筒，所述除尘内筒上安装有除尘活性炭滤芯，所述进风过滤管的另一侧安装有进气扰流管，所述进气扰流管贯穿进风过滤管设置在除尘内筒上；通过设置的该带有气体过滤组件的结构，当使用该装置制取臭氧时，可将气体通过过滤组件，从而将气体中的杂质与异味进行过滤，避免气体中含有杂质进入设备内部，提高臭氧的制取纯度，并且清洁后的灰尘方便收集与排出，增加了该结构的使用寿命，降低了生产成本，提高了该装置的实用性与便捷性。
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公开(公告)号：CN117532793B
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202410029539.3
申请日：2024-01-09
申请人： 九未实业(上海)有限公司
摘要： 本发明公开了一种半导体设备用的密封垫片生产工艺，涉及密封件制备技术领域，包括如下步骤：S1、选用原材料：首先准备生胶、石墨粉末、防老剂、增强剂和填充剂，然后将选用的原料按照比例投入至混炼机中进行混炼，得到密封垫片原料；S2、模压：将制得的原料投入注胶设备中，上模座与下模座组件合模后，注胶设备通过进料组件向模腔内进行注料，成型后将上模座以及下模座组件拆分进行脱模，该半导体设备用的密封垫片生产工艺，通过双杆液压缸带动第一模座和第二模座向相反方向进行移动，避免密封垫片边缘与模腔粘连，先对密封垫片边缘进行脱模，然后再通过上模座将压板向上移动，即可避免对密封垫片造成损坏，提升产品成型后的质量。
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公开(公告)号：CN117532793A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202410029539.3
申请日：2024-01-09
申请人： 九未实业(上海)有限公司
摘要： 本发明公开了一种半导体设备用的密封垫片生产工艺，涉及密封件制备技术领域，包括如下步骤：S1、选用原材料：首先准备生胶、石墨粉末、防老剂、增强剂和填充剂，然后将选用的原料按照比例投入至混炼机中进行混炼，得到密封垫片原料；S2、模压：将制得的原料投入注胶设备中，上模座与下模座组件合模后，注胶设备通过进料组件向模腔内进行注料，成型后将上模座以及下模座组件拆分进行脱模，该半导体设备用的密封垫片生产工艺，通过双杆液压缸带动第一模座和第二模座向相反方向进行移动，避免密封垫片边缘与模腔粘连，先对密封垫片边缘进行脱模，然后再通过上模座将压板向上移动，即可避免对密封垫片造成损坏，提升产品成型后的质量。
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公开(公告)号：CN221744437U
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202323334489.X
申请日：2023-12-07
申请人： 九未实业(上海)有限公司
摘要： 本实用新型公开了用于臭氧发生器的冷却装置，涉及臭氧设备冷却技术领域，包括安装底板，所述安装底板的顶部设置有防护箱，所述防护箱的内部设置有支撑框，所述支撑框的中间开设有散热槽，且支撑框的顶部设置有臭氧发生器，所述臭氧发生器的两侧均设置有连接管，所述防护箱的内部设置有冷却组件，所述防护箱的顶部设置有安装框，所述安装框的中间设置有换气扇。本实用新型通过设置的冷却组件实现对工作中的臭氧发生器的冷却与散热，通过设置的两个制冷器同步对蓄水箱与循环水箱内部的冷凝水的快速冷却，通过设置的两组U形冷凝管实现对臭氧发生器在工作过程中产生的热量的冷却作用。
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公开(公告)号：CN218077305U
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202222542301.X
申请日：2022-09-26
申请人： 九未实业(上海)有限公司
IPC分类号： B01F25/4314 , B01F35/71 , B01F23/10
摘要： 本实用新型公开了一种混气输送管道结构，涉及混气管道技术领域，包括混气管本体，混气管本体的内壁面上从上往下依次固定安装有一号锥形板、一号螺旋片、混气机构、二号螺旋片和二号锥形板，所述一号锥形板呈倒锥形结构设置且下端设置有开口，所述二号锥形板与一号锥形板形状一致且呈上下对称设置，所述混气管本体的上端和下端分别固定安装有一号锥形管和二号锥形管，所述一号锥形管上穿插固定安装有一组一号进气管，所述一号进气管设置为一组四个且呈环形阵列分布。本实用新型所述的一种混气输送管道结构，能够通入多种不同的气体进行混合，实用性强；同时可以使混气管本体内气体进行三次混合工作，气体混合均匀，提高了混合效果。
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公开(公告)号：CN218089790U
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202222442159.1
申请日：2022-09-15
申请人： 九未实业(上海)有限公司
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/52 , B60K17/04
摘要： 本实用新型公开了一种ALD加热炉，包括加热箱体，所述加热箱体下端前部和下端后部均安装有两个活动轮，后部所述两个活动轮之间共同安装有移动装置，所述加热箱体前端安装有柜门，所述柜门前端右部安装有把手，所述加热箱体右端中部安装有流量调节装置，所述加热箱体上端左部和上端右部共同安装有加热装置。本实用新型所述的一种ALD加热炉，通过流量调节装置电磁流量计对导入反应物的量进行检测，并将信号传递至控制器上，再由控制器控制电动控制阀的开启或者闭合以对导入量进行把控，通过加热装置上的均流板的设计，其能够使气体平稳均匀的流出，进而提高了成膜均匀性，通过移动装置方便加热箱体进行挪动。
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公开(公告)号：CN218032638U
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202222499537.X
申请日：2022-09-21
申请人： 九未实业(上海)有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种改进型特气柜，包括特气柜主体，所述特气柜主体的上端前部固定连接有三个固定管，三个所述固定管的上端均固定连接有连接管，三个所述固定管的外表面前部均贯穿并螺纹连接有阀门结构，所述特气柜主体的上端后部固定连接有排风管，所述特气柜主体的下端前部和下端后部均固定连接有移动结构，两个所述移动结构呈对称分布。本实用新型所述的一种改进型特气柜，通过设置阀门结构和移动结构，手握十字扭杆旋转螺杆，防止手滑，便于控制气体开合，结构简单，操作较为便捷，保证特气柜使用的稳固性，避免可移动的特气柜出现自由移动，便于快速固定特气柜，提高特气柜使用的防移性。
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公开(公告)号：CN218032614U
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202222485396.6
申请日：2022-09-20
申请人： 九未实业(上海)有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种便于检修的特气柜，涉及特气柜技术领域，包括特气柜柜体，所述特气柜柜体的后端通过铰链活动安装有后盖板，所述特气柜柜体的前端中部固定安装有一号隔板，所述特气柜柜体的前端上部固定安装有防护机构，所述特气柜柜体的前端下部通过铰链活动安装有安全门，所述安全门上固定安装有门锁。本实用新型，通过设置防护机构，当需要使用进气控制阀和气体流量控制阀对气体的流量进行控制时，利用把手将防护门打开，即可调节气体流量，还可以观察到输气管路的质量情况，若需要对输气管路进行检修，维修人员可直接将手通过检修槽伸入特气柜柜体内进行检修，使得检修更加简便，使得损坏的零部件能够第一时间得到检修，实用性更高。
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