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公开(公告)号：CN100517343C
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN03125536.1
申请日：2003-09-25
申请人： 大日本屏影象制造株式会社
CPC分类号： G06Q10/10 , G06F3/1205 , G06F3/1275 , G06F3/1285
摘要： 工作流程生成装置预先将工作流程生成用的规则(311)和与构成工作流程的各处理的执行有关的环境信息(312)存入辅助存储装置中，通过用户操作，指定由作为最终成果的胶片、印刷版、印刷物等图象记录媒体的属性值组成的输出要件(310)后，通过对该输出要件(310)的各属性值应用工作流程生成规则(311)，决定为制作满足该输出要件(310)的图象记录媒体所必要的处理，同时设定必要的各处理的参数值。而且，按照这些规则的适用结果，一边考虑环境信息(312)，一边生成工作流程，生成与该工作流程对应的记录单(321～323)。
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公开(公告)号：CN100454138C
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：CN200410102034.8
申请日：2003-03-26
申请人： 大日本屏影象制造株式会社
CPC分类号： H04N1/08 , H04N1/00639 , H04N1/0869 , H04N1/0882
摘要： 图象记录器包括一用于在一块印片上冲出一孔的冲孔装置。该冲孔装置具有6个可移动的冲孔器。冲孔器能冲出不同形状的孔。一具有所需形状的冲头移动到朝向一印片的位置，该印片位于一进料/卸料装置的一上料盘上。当印片由冲头冲出孔以后，该印片就被输送到一转鼓上。这样当装在转鼓上的印片冲出增大时，允许在印片上的冲孔位置有变化而不需要增加冲孔器的数量。如果冲孔标准发生冲突，则图象记录器允许所需的冲孔器定位在要求的位置。
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公开(公告)号：CN100445985C
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：CN200510071204.5
申请日：2002-09-06
申请人： 大日本屏影象制造株式会社
CPC分类号： Y02P90/02
摘要： 一种衬底加工设备和一种信息存储服务器，经网络互连。衬底加工设备的存储部分存储设置信息和控制程序，根据设置信息和控制程序控制衬底加工设备的操作。衬底加工设备根据进程发送备份指令命令。响应该指令命令，衬底加工设备产生存储在上述存储部分中的指定信息的副本并将复制信息经网络发送到信息存储服务器。信息存储服务器将收到的复制信息存储在硬盘中作为备份数据。信息存储服务器也可以只存储复制信息的差异数据。因此，可以有效备份用于控制衬底加工设备操作的信息。
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公开(公告)号：CN100385609C
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN02142579.5
申请日：2002-09-06
申请人： 大日本屏影象制造株式会社
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： G05B19/41865 , G05B19/418 , G05B2219/31333 , G05B2219/31379 , Y02P90/14 , Y02P90/18 , Y02P90/185 , Y02P90/20 , Y02P90/86
摘要： 一种衬底加工设备和一种信息存储服务器，经网络互连。衬底加工设备的存储部分存储设置信息和控制程序，根据设置信息和控制程序控制衬底加工设备的操作。衬底加工设备根据进程发送备份指令命令。响应该指令命令，衬底加工设备产生存储在上述存储部分中的指定信息的副本并将复制信息经网络发送到信息存储服务器。信息存储服务器将收到的复制信息存储在硬盘中作为备份数据。信息存储服务器也可以只存储复制信息的差异数据。因此，可以有效备份用于控制衬底加工设备操作的信息。
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公开(公告)号：CN100359635C
公开(公告)日：2008-01-02
申请号：CN200410006779.4
申请日：2004-02-26
申请人： 大日本屏影象制造株式会社
CPC分类号： H01L21/67207 , H01L21/67028 , H01L21/6719 , H01L21/67757
摘要： 根据本发明的基板处理装置被气密性部件包围，其内部空间进一步用气密性部件分割成水洗干燥处理室，第一药液处理室，第二药液处理室，基板搬运室。向各室运入运出基板用的开口部能够用备有密闭机构的开闭机构打开和关闭。因此，能够在与包含氧的外部气体隔离的环境中进行正在处理当中的基板的搬运，可以抑制搬运过程中的基板表面的不需要的氧化膜及水渍的发生。此外，可以减少为了不使含有药液的气氛向装置外部扩散用的排气量。
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公开(公告)号：CN1240488C
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：CN03148098.5
申请日：2003-06-27
申请人： 大日本屏影象制造株式会社
发明人： 芳谷光明
IPC分类号： B08B3/02 , B05B7/04 , H01L21/304
摘要： 提供不产生颗粒等再附着的利用高压流体喷出进行的基板清洗装置。将进行清洗处理的处理容器设计为高压喷出清洗流体(11)、(12)进行清洗处理的第1收容容器(3)和其外侧的第2收容容器(4)的双层构造。并且，利用管喷射器(7)向基板W的传送通道上的第1收容容器(3)的开口部(3a)、(3b)与基板W之间形成的间隙喷出纯水，在该间隙上形成水封(13)，抑制清洗流体(11)、(12)的漏出。清洗流体(11)、(12)的气体介质，因为即使从第1收容容器(3)漏出也可从第(2)收容容器(4)排出，所以气体介质中含有的颗粒等不会再附着到基板等上。
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公开(公告)号：CN1238763C
公开(公告)日：2006-01-25
申请号：CN03108534.2
申请日：2003-03-26
申请人： 大日本屏影象制造株式会社
摘要： 一种外鼓型的图象记录器，该记录器包括一个位于转鼓上方并且具有上料盘和下料盘的进料/卸料装置。该上料盘这样倾斜，使得其在图象记录器主体的正面上的边缘是向下的或者处于较低的高度。为了把一个印片放在上料盘上，该印片通过该料盘的下边缘送到该料盘上。该上料盘具有一个用来提升印片的可移动的抽吸垫。该外鼓型的图象记录器可以方便地把一个大尺寸的图象记录材料或印片通过该倾斜的料盘的上边缘送到该料盘上。
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公开(公告)号：CN1716114A
公开(公告)日：2006-01-04
申请号：CN200510084449.1
申请日：2003-03-26
申请人： 大日本屏影象制造株式会社
IPC分类号： G03G15/00
CPC分类号： B41C1/1083 , B65H29/16 , B65H29/241 , B65H2405/35 , B65H2406/342 , B65H2701/1928
摘要： 一种外鼓型的图象记录器，该记录器包括一个位于转鼓上方并且具有上料盘和下料盘的进料/卸料装置。该上料盘这样倾斜，使得其在图象记录器主体的正面上的边缘是向下的或者处于较低的高度。为了把一个印片放在上料盘上，该印片通过该料盘的下边缘送到该料盘上。该上料盘具有一个用来提升印片的可移动的抽吸垫。该外鼓型的图象记录器可以方便地把一个大尺寸的图象记录材料或印片通过该倾斜的料盘的上边缘送到该料盘上。
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公开(公告)号：CN1235267C
公开(公告)日：2006-01-04
申请号：CN03120119.9
申请日：2003-03-07
申请人： 大日本屏影象制造株式会社
CPC分类号： H01L21/6715 , G03F7/162
摘要： 执行基片旋转步骤以便使基片以100rpm至500rpm的第一旋转速度在平行于其主平面的平面中旋转。然后，执行第一施用步骤以便通过在从喷嘴输送处理溶液的同时使喷嘴从与旋转中的基片的一个边缘相对的位置移至与基片的旋转中心相对的位置而向基片表面供应处理溶液。接着，执行第二施用步骤以便通过在从喷嘴输送处理溶液的同时使喷嘴停止于与旋转中的基片的旋转中心相对的位置上而向基片表面供应处理溶液。最后，执行薄膜厚度调整步骤以便停止从喷嘴输送处理溶液，并使基片以比第一旋转速度更快的第二旋转速度在平行于其主平面的平面中旋转。
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公开(公告)号：CN1694224A
公开(公告)日：2005-11-09
申请号：CN200510076024.6
申请日：2002-07-05
申请人： 大日本屏影象制造株式会社
摘要： 一种衬底处理系统，具有衬底处理转置和信息存储服务器和支持计算机，分别连接于网络。衬底处理装置中产生故障时，警报处理部提取必要的关联日志(log)文件并存储在信息存储服务器的固定盘上。另外，通过故障信息生成部生成故障信息，最终作为故障信息数据库存储在信息存储服务器的固定盘上。这些关联日志文件和故障信息数据库可通过装置信息公开部从远处的支持计算机阅览。由此，可即刻阅览关联日志文件和故障信息数据库。即提供在衬底处理装置产生故障时，从远处即时阅览运转信息的衬底处理系统。
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