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公开(公告)号:CN1914309B
公开(公告)日:2011-03-23
申请号:CN200580004044.0
申请日:2005-01-24
IPC分类号: C11D11/00 , C11D3/20 , C11D3/33 , C11D3/28 , C11D7/26 , C11D7/32 , C11D3/22 , C11D3/34 , C11D7/34
CPC分类号: C11D11/0047 , C11D3/0073 , C11D3/2072 , C11D3/2075 , C11D3/2082 , C11D3/2086 , C11D3/2096 , C11D3/221 , C11D3/28 , C11D3/33 , C11D3/3427 , C11D3/3472 , C11D3/3481 , C11D3/349 , C11D7/264 , C11D7/265 , C11D7/267 , C11D7/3245 , C11D7/3263 , C11D7/3272 , C11D7/3281 , C11D7/34 , C23G1/103
摘要: 本公开内容讨论半导体器件生产过程中对晶片进行化学机械平坦化(CMP)处理后清洗半导体晶片的方法。公开一种用于CMP后清洗含金属、特别是铜互连线的晶片的酸性化学处理剂。在不显著侵蚀金属、不在表面留下沉积物或不给晶片带来大量有机(如碳)污染物的条件下从晶片表面移出淤浆颗粒、特别是铜或其它金属颗粒,同时还能保护金属不被氧化和侵蚀。此外,存在至少一种强螯合试剂来将金属离子络合到溶液中,促使金属从电介质移出,并避免再沉积到晶片上。使用酸性化学处理剂能够使CMP之后所用的清洗溶液的pH与晶片表面所用的最后浆液相匹配。
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公开(公告)号:CN100447295C
公开(公告)日:2008-12-31
申请号:CN01818964.4
申请日:2001-11-06
发明人: 帕纳约蒂斯·科科利奥 , 弗朗索瓦·克雷 , 沃尔夫冈·德林 , 弗兰克·弗尔斯特 , 让-路易·热洛 , 贝恩德·马腾斯 , 斯特凡娜·梅朗 , 埃卡德·普林茨 , 让-伊夫·托内利耶 , 阿兰·维莱姆特
CPC分类号: C23C16/45519 , C23C16/4412 , C23C16/455 , C23C16/45563 , C23C16/545 , G05D7/0676
摘要: 本发明涉及一种装置的优化,在这个装置中进行一种需要控制一个室内的气体环境的作业,作业在存在一种能够放出排放物的气体混合物的情况下进行,优化通过在室外有一个防止空气进入室内的入口装置(5)和一个防止气体排放物排出的出口装置(8)以及一个抽吸装置(4)得到,抽吸装置(4)包括流量调节装置(42),以便保持室内外的压差近似为零。本发明在工业上用于一种行进基质的表面处理。
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公开(公告)号:CN100342082C
公开(公告)日:2007-10-10
申请号:CN03823316.9
申请日:2003-09-17
发明人: V·S·M·桑德拉姆 , D·杜阿特 , S·费希尔
IPC分类号: D21H23/08
摘要: 二氧化碳可以用来调整造纸组合物的电性能。所述造纸组合物可以包含胶体相,水相和任选的纸浆纤维。其值可以进行调整的电性能的例子包括:ζ电位,电荷需要量,电导率,和流动电位。可以在许多不同的位置将二氧化碳引入造纸过程,包括碳酸钙浆液,纸浆纤维浆,稀释的纸浆纤维浆,废纸,和白水中。当预定基于电性能的值或值的范围,如最佳值或范围时,引入二氧化碳可以用来对该值进行调整,以致使其更接近预定值。
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公开(公告)号:CN101008471A
公开(公告)日:2007-08-01
申请号:CN200710008276.4
申请日:2007-01-26
CPC分类号: F17C13/021 , F17C5/02 , F17C9/00 , F17C2221/01 , F17C2221/03 , F17C2223/0153 , F17C2223/033 , F17C2223/046 , F17C2225/0153 , F17C2225/035 , F17C2225/046 , F17C2227/0121 , F17C2227/0341 , F17C2227/0383 , F17C2250/0408 , F17C2250/0443 , F17C2250/061 , F17C2260/024 , F17C2265/025 , F17C2265/037 , F17C2270/0181 , Y02E60/321
摘要: 本发明涉及一种利用液化气体填充高压气体容器(1)的方法、装置和设备,所述方法包括以下步骤:将该气体容器连接到计量阀(17)并将该计量阀(17)连接到容纳液化气体的第一容器(21),其中所述第一容器(21)位于气体容器(1)上方的一大地高(H)处;打开所述计量阀(17)并容许在对应于所述大地高(H)的静水压力下从所述第一容器(21)向气体容器(1)供给一定量的液化气体;关闭所述计量阀(17)。由于可紧密地控制静水压力,因此可以特别高的计量精度有效地、可再现地、可靠地和经济地填充高压气体容器(1)。
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公开(公告)号:CN1981155A
公开(公告)日:2007-06-13
申请号:CN200580016302.7
申请日:2005-06-09
CPC分类号: F17C5/02 , F17C5/06 , F17C7/04 , F17C9/02 , F17C2201/0104 , F17C2201/0128 , F17C2201/058 , F17C2205/0323 , F17C2221/016 , F17C2221/03 , F17C2223/0123 , F17C2223/0138 , F17C2223/035 , F17C2225/0161 , F17C2225/0176 , F17C2225/033 , F17C2227/0337 , F17C2227/0341 , F17C2250/043 , F17C2270/0181
摘要: 在利用气体或气体混合物填充压力容器(1)、特别是安全气囊系统中的压力容器的方法中,将一种或多种低温固化气体和可选的低温液化气体引入压力容器(1)中。
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公开(公告)号:CN1320951C
公开(公告)日:2007-06-13
申请号:CN200380106527.2
申请日:2003-12-15
摘要: 本发明涉及一种生产具有受控的氢气和一氧化碳含量的气体气氛的方法(以及相关的设备),其中:(a)在低于1200℃的温度、3-20巴的压力以及氧气或含氧气体存在下进行至少一种烃的部分催化氧化(22),以产生氢气(H2)和一氧化碳(CO),(b)得到包含至少氢气(H2)和一些一氧化碳(CO)的气体混合物,(c)通过在压力(24)下直接与水接触而将从步骤(b)得到的气体混合物瞬时冷却到-20℃至+80℃的温度,在步骤(b)和/或步骤(c)得到压力为3-20巴的气体混合物,其特征在于所述的催化氧化反应和冷却步骤(c)在同一个容器(31)中进行,并在催化反应和冷却这两个区域之间具有小于几十毫秒,优选小于50毫秒的气体传输时间。
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公开(公告)号:CN1975415A
公开(公告)日:2007-06-06
申请号:CN200610163511.0
申请日:2003-04-02
IPC分类号: G01N33/00
摘要: 本发明公开了制备含有反应气体和基质气体的组合物的制品的方法。制造方法优选采用沸石从反应气体中和基质气体中去除水分,然后或者在已经预先真空烘焙并钝化的容器中,或者在注入该容器前,合并已减湿的气体。本发明生成具有改善存放期的稳定的标准气体组合物。
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公开(公告)号:CN1319916C
公开(公告)日:2007-06-06
申请号:CN200380104077.3
申请日:2003-10-27
IPC分类号: C07C7/144
摘要: 一种使用聚酰亚胺膜从烯烃和链烷烃的混合物中分离或富集烯烃的方法。该方法非常适用于从丙烯/丙烷的混合物中分离丙烯。该新方法的膜对实际的工业生产条件下气体混合物中烃组分的塑化作用表现出良好的耐受性。
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公开(公告)号:CN1965205A
公开(公告)日:2007-05-16
申请号:CN200580018048.4
申请日:2005-05-30
IPC分类号: F25J3/04
CPC分类号: B01J19/32 , B01J2219/32213 , B01J2219/32227 , B01J2219/32237 , B01J2219/32248 , B01J2219/32262 , B01J2219/32408 , B01J2219/3281 , B01J2219/3325 , Y10T29/49396
摘要: 该蒸馏塔包括由条形成的交叉波状填料模块,所述条具有限定通道(14)的波纹,每个通道都位于两个主波峰(12;10)之间,并且每个通道都具有两个通过上主波峰(10;12)连接在一起的通道侧边(16)。所述条(2)包括反向部(22),所述反向部位于其中一个通道(14)的横截面内并包括沿与所述上主波峰(10;12)相反的方向取向的第一中间波峰(26)。所述反向部(22)包括沿所述上主波峰(10;12)的方向取向的第二中间波峰(28;30)。以上适用于空气蒸馏设备。
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公开(公告)号:CN1953855A
公开(公告)日:2007-04-25
申请号:CN200580015362.7
申请日:2005-05-03
CPC分类号: B28B3/20 , B01D53/228 , B01D67/0041 , B01D69/088 , B01D69/12 , B01D71/024 , B01D2323/12 , B01D2323/18 , B28B3/2636 , B29C47/0023 , B29C47/065
摘要: 本发明涉及支承式管状陶瓷膜的制备,该瓷膜包括相对于轴线(x)同轴的两个层,即第一支承材料(S)层和第二活性材料(M)层,该方法的特征在于它包括以下连续的步骤:步骤(a),利用同时共挤出同轴地形成支承材料(S)的糊料(PS)和活性材料(M)的糊料(PM),该支承材料(S)的糊料(PS)沿轴线(x)具有流速VS,而该活性材料(M)的糊料(PM)沿轴线(x)具有流速VM,此处VS=VM;步骤(b),对步骤(a)中形成的共挤出物进行干燥;步骤(c),除去在步骤(b)中干燥的共挤出物中的粘结剂;步骤(d),通过热处理共烧结在步骤(c)中得到的制品的两个同轴层。本发明还涉及用于执行步骤(a)的装置。
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