具有浸渗性的高密度脆性材料构造体

    公开(公告)号:CN113950764B

    公开(公告)日:2025-03-11

    申请号:CN202080039682.0

    申请日:2020-05-27

    Abstract: 提供一种高密度的氧化物陶瓷构造体,其不需要以往在制作高密度的氧化物陶瓷构造体时所需的烧结处理、真空、减压下的工艺、原料微粒的破碎等,能够抑制伴随这些的晶体内的缺陷生成、内部应力的产生,并且能够浸渗分散在液体的硅油、树脂、聚合物、溶剂中的纳米颗粒。一种高致密凝聚体,其特征在于,其是脆性材料微粒的高致密凝聚体,在构成所述高致密凝聚体的脆性材料微粒间具有颗粒彼此间相互接合的界面和不接合的空隙,所述空隙相对于所述高致密凝聚体整体的体积比例即空隙率为20%以下,并且,与所述高致密凝聚体的表观的外表面连通的空隙的体积相对于所述高致密凝聚体的整体的空隙体积之比为65%以上。

    微波等离子体CVD装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119318072A

    公开(公告)日:2025-01-14

    申请号:CN202380045281.X

    申请日:2023-06-05

    Abstract: 微波等离子体CVD装置(1)具备:腔室(10A);载置台(110A),在俯视腔室(10A)时设于腔室(10A)的中心部;同轴构造部(80A),包括在俯视腔室(10A)时位于腔室(10A)的中心部且与腔室(10A)的内部共振模式的对称轴的轴向平行的中心导体(81)、以及位于中心导体(81)的周围的外部导体(82);多个微波导入端口(20)、(20)、…,设于腔室(10A)的同轴构造部(80A),以与腔室(10A)的内部共振模式相匹配的方式耦合;以及微波导入窗(30A),一边将腔室(10A)与波导部(40A)压力隔离,一边使微波透过。

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