3D沟槽电极检测器
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102695967A

    公开(公告)日:2012-09-26

    申请号:CN201080058021.9

    申请日:2010-10-15

    发明人: 李正

    IPC分类号: G01T1/24 H01L21/02

    摘要: 本发明披露了一种三维(3D)沟槽检测器以及制造该检测器的方法。3D沟槽检测器包括:具有彼此相隔一主体厚度的第一表面和第二表面的半导体材料的主体,3D沟槽形式的第一电极、以及3D柱形式的第二电极。第一电极和第二电极沿主体厚度延伸至主体中。第一电极和第二电极彼此相隔预定电极距离,并且第一电极大致上沿两个电极延伸到主体中的整个距离环绕第二电极,使得这两个电极基本上彼此同心。制造方法包括围绕主体外围掺杂第一窄且深的区域,以形成第一电极,并且在主体的中心掺杂第二窄且深的区域,以形成第二电极。